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1. 发明专利

TWI407264B 微影機台及其應用有权
简体标题：微影机台及其应用
公开(公告)号：TWI407264B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW098107718
申请日：2009-03-10
申请人：財團法人國家實驗研究院 , NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATOIRES
发明人：黃健朝 , 陳俊淇 , 施錫龍 , 吳政三 , 楊富量
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/2022 , C23C14/048 , C23C16/047 , G03F7/20 , G03F7/203 , G03F7/2059 , H01L21/0337 , H01L21/31105 , H01L21/3213 , Y10T428/24612 , Y10T428/24802

2. 发明专利

TW201504767A 一種晶圓步進曝光裝置及一種晶圓步進曝光方法审中-公开
简体标题：一种晶圆步进曝光设备及一种晶圆步进曝光方法
公开(公告)号：TW201504767A
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW102125792
申请日：2013-07-18
申请人：財團法人國家實驗研究院 , NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
发明人：施錫龍 , SHY, SHYI LONG
IPC分类号： G03F7/20
摘要：本發明提供一種晶圓步進曝光裝置，應用於晶圓及光罩，晶圓表面具有光阻層，且晶圓之複數個區域中之一的尺寸與光罩之圖案區相仿，裝置包括晶圓承載台、光罩承載台以及光源。晶圓承載台用以固定晶圓；光罩承載台用以固定光罩，且與晶圓承載台間可進行相對運動，用以使光罩之圖案區對準該等區域中之一，其中，固定有光罩之光罩承載台與固定有晶圓之晶圓承載台直接接觸或僅具有空隙；光源提供光線，用以穿過光罩之圖案區而對光阻層進行曝光。另外，本發明另提供一種晶圓步進曝光方法。
简体摘要：本发明提供一种晶圆步进曝光设备，应用于晶圆及光罩，晶圆表面具有光阻层，且晶圆之复数个区域中之一的尺寸与光罩之图案区相仿，设备包括晶圆承载台、光罩承载台以及光源。晶圆承载台用以固定晶圆；光罩承载台用以固定光罩，且与晶圆承载台间可进行相对运动，用以使光罩之图案区对准该等区域中之一，其中，固定有光罩之光罩承载台与固定有晶圆之晶圆承载台直接接触或仅具有空隙；光源提供光线，用以穿过光罩之图案区而对光阻层进行曝光。另外，本发明另提供一种晶圆步进曝光方法。

3. 发明专利

TW201033746A 微影機台及其應用审中-公开
简体标题：微影机台及其应用
公开(公告)号：TW201033746A
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：TW098107718
申请日：2009-03-10
申请人：財團法人國家實驗研究院
发明人：黃健朝 , 陳俊淇 , 施錫龍 , 吳政三 , 楊富量
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/2022 , C23C14/048 , C23C16/047 , G03F7/20 , G03F7/203 , G03F7/2059 , H01L21/0337 , H01L21/31105 , H01L21/3213 , Y10T428/24612 , Y10T428/24802
摘要：本發明提供一種微影機台及其應用，其包含有一用以產生一電子束或離子束之電子束或離子束產生器；一用以承載一基材之基材承載台；以及一前驅氣體注入器，其係於基材上方注入一前驅氣體。本發明係利用電子束或離子束誘發位於基材上的前驅氣體反應、沉積於基材上，以達成單一步驟完成於基材上形成微影圖案層的製作，並有效利用電子束或離子束與前驅氣體之特性，達到高微影解析能力與避免污染物殘留。
简体摘要：本发明提供一种微影机台及其应用，其包含有一用以产生一电子束或离子束之电子束或离子束产生器；一用以承载一基材之基材承载台；以及一前驱气体注入器，其系于基材上方注入一前驱气体。本发明系利用电子束或离子束诱发位于基材上的前驱气体反应、沉积于基材上，以达成单一步骤完成于基材上形成微影图案层的制作，并有效利用电子束或离子束与前驱气体之特性，达到高微影解析能力与避免污染物残留。

4. 发明专利

TWI584075B 一種晶圓步進曝光裝置及一種晶圓步進曝光方法有权
简体标题：一种晶圆步进曝光设备及一种晶圆步进曝光方法
公开(公告)号：TWI584075B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102125792
申请日：2013-07-18
申请人：財團法人國家實驗研究院 , NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
发明人：施錫龍 , SHY, SHYI LONG
IPC分类号： G03F7/20

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