专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201447964A 電漿處理室元件之溫度控制窗审中-公开
简体标题：等离子处理室组件之温度控制窗
公开(公告)号：TW201447964A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103103603
申请日：2014-01-29
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：布吉麥特 , BUSCHE, MATT , 麥克亞當 , MACE, ADAM , 康麥可 , KANG, MICHAEL , 羅尼亞倫 , RONNE, ALLAN
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32522 , H01J37/32119
摘要：一種感應耦合電漿處理室之溫度控制介電窗，包含：一介電窗，形成電漿處理室頂壁，至少具有第一和第二通道於其中。一液體循環系統，包含：一冷卻液源，在未與通道流體連通的第一閉合迴路中循環；一加熱液源，在與通道流體連通的第二閉合迴路中循環；及第一和一第二熱交換器。冷卻液在可控流率下通過第一熱交換器，及當加熱液通過第一熱交換器接著通過第一通道入口時，加熱液溫度係藉由與冷卻液的熱交換調整。冷卻液在可控流率下通過第二熱交換器，及當加熱液通過第二熱交換器接著通過第二通道之入口時，加熱液之溫度係藉由與冷卻液的熱交換調整。
简体摘要：一种感应耦合等离子处理室之温度控制介电窗，包含：一介电窗，形成等离子处理室顶壁，至少具有第一和第二信道于其中。一液体循环系统，包含：一冷却液源，在未与信道流体连通的第一闭合回路中循环；一加热液源，在与信道流体连通的第二闭合回路中循环；及第一和一第二热交换器。冷却液在可控流率下通过第一热交换器，及当加热液通过第一热交换器接着通过第一信道入口时，加热液温度系借由与冷却液的热交换调整。冷却液在可控流率下通过第二热交换器，及当加热液通过第二热交换器接着通过第二信道之入口时，加热液之温度系借由与冷却液的热交换调整。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式