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1. 发明专利

TWI591754B 由靜電夾頭移除受損的環氧樹脂之方法有权
简体标题：由静电夹头移除受损的环氧树脂之方法
公开(公告)号：TWI591754B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：TW102134150
申请日：2013-09-23
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：侍宏 , SHIH, HONG , 黃拓川 , HUANG, TUOCHUAN , 方彥 , FANG, YAN , 拉庫克斯克里夫 , LACROIX, CLIFF , 牛頓尼爾 , NEWTON, NEAL , 察翠瑞許 , CHHATRE, RISH
IPC分类号： H01L21/683 , B29B17/00
CPC分类号： H01L21/6833 , B08B1/00 , B08B5/00 , B08B5/02 , B08B7/00 , B08B7/0071

2. 发明专利

TWI595590B 彈性帶之安裝治具及其使用方法有权
简体标题：弹性带之安装治具及其使用方法
公开(公告)号：TWI595590B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW101141882
申请日：2012-11-09
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID , 李成 , LEE, SUNG , 海伯丹 , HABER, DAN
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/67069 , H01L21/6719 , Y10T29/49826 , Y10T29/49863 , Y10T29/53 , Y10T29/53657

3. 发明专利

TW201535582A 用於彈性材料帶之安裝固定架审中-公开
简体标题：用于弹性材料带之安装固定架
公开(公告)号：TW201535582A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：TW103143772
申请日：2014-12-16
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/70 , H01L21/67126 , H01L21/68785 , Y10T29/4987 , Y10T29/53657
摘要：本發明係關於一種安裝固定架，其用以將一彈性材料帶安裝在圍繞一半導體基板支架的一安裝槽內，該半導體基板支架用於在一電漿處理腔室內支撐一半導體基板，該安裝固定架包含：一圈環，具有位於該圈環之一外緣上的一垂直延伸部，並且用以容納該彈性材料帶；以及一底板，設置成與該圈環附接，該底板具有複數徑向延伸部，該等徑向延伸部用以在與該半導體基板支架中之安裝孔相對應的位置容納複數機械式扣件。
简体摘要：本发明系关于一种安装固定架，其用以将一弹性材料带安装在围绕一半导体基板支架的一安装槽内，该半导体基板支架用于在一等离子处理腔室内支撑一半导体基板，该安装固定架包含：一圈环，具有位于该圈环之一外缘上的一垂直延伸部，并且用以容纳该弹性材料带；以及一底板，设置成与该圈环附接，该底板具有复数径向延伸部，该等径向延伸部用以在与该半导体基板支架中之安装孔相对应的位置容纳复数机械式扣件。

4. 发明专利

TW201421610A 由靜電夾頭移除受損的環氧樹脂之方法审中-公开
简体标题：由静电夹头移除受损的环氧树脂之方法
公开(公告)号：TW201421610A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102134150
申请日：2013-09-23
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：侍宏 , SHIH, HONG , 黃拓川 , HUANG, TUOCHUAN , 方彥 , FANG, YAN , 拉庫克斯克里夫 , LACROIX, CLIFF , 牛頓尼爾 , NEWTON, NEAL , 察翠瑞許 , CHHATRE, RISH
IPC分类号： H01L21/683 , B29B17/00
CPC分类号： H01L21/6833 , B08B1/00 , B08B5/00 , B08B5/02 , B08B7/00 , B08B7/0071
摘要：用以從靜電夾頭移除環氧樹脂帶之方法包含將該靜電夾頭固定在維修夾具中、對該環氧樹脂帶施加熱源以破壞使該環氧樹脂帶固定在該靜電夾頭之複數黏性接合、在該環氧樹脂帶中形成孔洞且將該環氧樹脂帶從該靜電夾頭上拉除。亦描述用以從靜電夾頭移除環氧樹脂帶之系統。
简体摘要：用以从静电夹头移除环氧树脂带之方法包含将该静电夹头固定在维修夹具中、对该环氧树脂带施加热源以破坏使该环氧树脂带固定在该静电夹头之复数黏性接合、在该环氧树脂带中形成孔洞且将该环氧树脂带从该静电夹头上拉除。亦描述用以从静电夹头移除环氧树脂带之系统。

5. 发明专利

TW201334060A 感應耦合電漿室之旋轉閉鎖式氣體注射器組件用窗及安裝配置审中-公开
简体标题：感应耦合等离子室之旋转闭锁式气体注射器组件用窗及安装配置
公开(公告)号：TW201334060A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101139341
申请日：2012-10-24
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32119 , H01J37/321 , H01J37/3244
摘要：一種用於安裝在一感應耦合電漿室的一介電窗的一中心孔的改良氣體注射組件，包括一具有一中心孔的窗以及一圓筒形凹部，圓筒形凹部被配置為接受具有一卡口開口的一環形插入件。氣體注射器組件包括一氣體注射器、一圍繞氣體注射器的射頻遮罩、以及一圍繞射頻遮罩的面板，面板包括其底部的突出部，用以嵌合環形插入件中的卡口開口。窗與氣體注射組件係設計為避免窗的碎裂，其通常由石英製成，且在習知的安裝配置中，窗加工有一卡口開口。由於石英材料的脆性，當氣體注射器組件插入到卡口開口中時，加工的卡口開口會碎裂。
简体摘要：一种用于安装在一感应耦合等离子室的一介电窗的一中心孔的改良气体注射组件，包括一具有一中心孔的窗以及一圆筒形凹部，圆筒形凹部被配置为接受具有一卡口开口的一环形插入件。气体注射器组件包括一气体注射器、一围绕气体注射器的射频遮罩、以及一围绕射频遮罩的皮肤，皮肤包括其底部的突出部，用以嵌合环形插入件中的卡口开口。窗与气体注射组件系设计为避免窗的碎裂，其通常由石英制成，且在习知的安装配置中，窗加工有一卡口开口。由于石英材料的脆性，当气体注射器组件插入到卡口开口中时，加工的卡口开口会碎裂。

6. 发明专利

TWI647784B 用於彈性材料帶之安裝固定架有权
简体标题：用于弹性材料带之安装固定架
公开(公告)号：TWI647784B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW103143772
申请日：2014-12-16
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID
IPC分类号： H01L21/683

7. 发明专利

TWI543254B 感應耦合電漿室之旋轉閉鎖式氣體注射器組件用窗及安裝配置有权
简体标题：感应耦合等离子室之旋转闭锁式气体注射器组件用窗及安装配置
公开(公告)号：TWI543254B
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：TW101139341
申请日：2012-10-24
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32119 , H01J37/321 , H01J37/3244

8. 发明专利

TW201342519A 彈性帶之安裝治具及其使用方法审中-公开
简体标题：弹性带之安装治具及其使用方法
公开(公告)号：TW201342519A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101141882
申请日：2012-11-09
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：察翠瑞許 , CHHATRE, RISH , 史蓋佛大衛 , SCHAEFER, DAVID , 李成 , LEE, SUNG , 海伯丹 , HABER, DAN
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/67069 , H01L21/6719 , Y10T29/49826 , Y10T29/49863 , Y10T29/53 , Y10T29/53657
摘要：提出一種包括安裝治具、複數機械扣件及嵌入工具之套件，其允許彈性帶被放置在半導體基板支座周圍之安裝溝槽中，該放置之方式消除彈性帶之內應力，使得彈性帶具有較長的操作壽命。利用機械扣件將安裝治具固定於基板支座。將彈性帶放置在安裝治具之外周邊並且來回旋轉以消除彈性帶之內應力。使該治具上下顛倒及使彈性帶由該治具垂直地滑落且進入安裝溝槽中。可使用嵌入工具以將彈性帶完全插入安裝溝槽中。
简体摘要：提出一种包括安装治具、复数机械扣件及嵌入工具之套件，其允许弹性带被放置在半导体基板支座周围之安装沟槽中，该放置之方式消除弹性带之内应力，使得弹性带具有较长的操作寿命。利用机械扣件将安装治具固定于基板支座。将弹性带放置在安装治具之外周边并且来回旋转以消除弹性带之内应力。使该治具上下颠倒及使弹性带由该治具垂直地滑落且进入安装沟槽中。可使用嵌入工具以将弹性带完全插入安装沟槽中。

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