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1. 发明专利

TW201310382A 建立蝕刻側寫資料庫的方法审中-公开
简体标题：创建蚀刻侧写数据库的方法
公开(公告)号：TW201310382A
公开(公告)日：2013-03-01
申请号：TW100130344
申请日：2011-08-24
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：徐旻璁 , HSU, MING TSUNG , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 陳浩然 , CHEN, HAO JAN
IPC分类号： G06Q50/00 , G05B1/00 , H01L21/306
CPC分类号： H01L22/12
摘要：茲提供一種建立蝕刻側寫資料庫的方法。首先，提供包含具有標準蝕刻結構之標準蝕刻側寫群組，與包含偏差蝕刻結構之偏差蝕刻側寫群組。其次，進行遙測步驟，以收集屬於標準蝕刻側寫群組之標準遙測數據，與屬於偏差蝕刻側寫群組之偏差遙測數據。接著，分析遙測數據，以推算蝕刻側寫群組之特性參數。繼續，驗證偏差物理參數。再來，計算偏差特性參數與偏差物理參數間之關連性，以建立包含偏差遙測數據與標準遙測數據之蝕刻側寫資料庫。此等蝕刻側寫資料庫可以用來預測未知蝕刻側寫。
简体摘要：兹提供一种创建蚀刻侧写数据库的方法。首先，提供包含具有标准蚀刻结构之标准蚀刻侧写群组，与包含偏差蚀刻结构之偏差蚀刻侧写群组。其次，进行遥测步骤，以收集属于标准蚀刻侧写群组之标准遥测数据，与属于偏差蚀刻侧写群组之偏差遥测数据。接着，分析遥测数据，以推算蚀刻侧写群组之特性参数。继续，验证偏差物理参数。再来，计算偏差特性参数与偏差物理参数间之关连性，以创建包含偏差遥测数据与标准遥测数据之蚀刻侧写数据库。此等蚀刻侧写数据库可以用来预测未知蚀刻侧写。

2. 发明专利

TWI461871B 多機台之監控方法有权
简体标题：多机台之监控方法
公开(公告)号：TWI461871B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW098106632
申请日：2009-03-02
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：朱怡潔 , CHU, YIJ CHIEH , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 高世昌 , KAO, SHIH CHANG , 陳振豪 , CHEN, CHENG HAO
IPC分类号： G05B19/406
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B2219/31294 , G05B2219/45031 , Y02P90/10

3. 发明专利

TWI388953B 製程參數的監視方法有权
简体标题：制程参数的监视方法
公开(公告)号：TWI388953B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098107808
申请日：2009-03-11
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：李藝鋒 , LEE, YI FENG , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 陳韋郡 , CHEN, WEI JUN
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/31483 , G05B2219/32191 , G05B2219/45031 , H01L22/20 , Y02P90/22

4. 发明专利

TWI388954B 調整晶圓製造優先順序之方法有权
简体标题：调整晶圆制造优先级之方法
公开(公告)号：TWI388954B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098111357
申请日：2009-04-06
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 李藝鋒 , LEE, YI FENG , 陳韋郡 , CHEN, WEI JUN , 高世昌 , KAO, SHIH CHANG , 朱怡潔 , CHU, YIJ CHIEH , 陳振豪 , CHEN, CHENG HAO
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32015 , G05B2219/32016 , G05B2219/32019 , G05B2219/45031 , Y02P90/20

5. 发明专利

TWI462048B 建立蝕刻側寫資料庫的方法有权
简体标题：创建蚀刻侧写数据库的方法
公开(公告)号：TWI462048B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW100130344
申请日：2011-08-24
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：徐旻璁 , HSU, MING TSUNG , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 陳浩然 , CHEN, HAO JAN
IPC分类号： G06Q50/00 , G05B1/00 , H01L21/306
CPC分类号： H01L22/12

6. 发明专利

TWI389050B 尋找產品良率與預防維護兩者間之關聯性的方法有权
简体标题：寻找产品良率与预防维护两者间之关联性的方法
公开(公告)号：TWI389050B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098107805
申请日：2009-03-11
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：李藝鋒 , LEE, YI FENG , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 陳韋郡 , CHEN, WEI JUN , 林宗威 , LIN, TUSNG WEI
IPC分类号： G06Q50/00 , G06F17/18
CPC分类号： G06Q10/06

7. 发明专利

TWI388952B 基於使用者需求之半導體加工排程最佳化規劃方法有权
简体标题：基于用户需求之半导体加工调度最优化规划方法
公开(公告)号：TWI388952B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098104297
申请日：2009-02-11
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：陳韋郡 , CHEN, WEI JUN , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 李藝鋒 , LEE, YI FENG , 林宗威 , LIN, TUSNG WEI
IPC分类号： G05B19/418 , G06Q10/00
CPC分类号： G06N3/126 , G06N7/02

8. 发明专利

TWI416361B 評估用以分析生產良率的資料價值之方法有权
简体标题：评估用以分析生产良率的数据价值之方法
公开(公告)号：TWI416361B
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW098112470
申请日：2009-04-15
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：朱怡潔 , CHU, YIJ CHIEH , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 高世昌 , KAO, SHIH CHANG , 陳振豪 , CHEN, CHENG HAO
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B23/0221

9. 发明专利

TWI399660B 偵測半導體製程變異之方法有权
简体标题：侦测半导体制程变异之方法
公开(公告)号：TWI399660B
公开(公告)日：2013-06-21
申请号：TW097125844
申请日：2008-07-09
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：朱怡潔 , CHU, YIJ CHIEH , 陳俊琦 , CHEN, CHUN CHI , 田昀宗 , TIAN, YUN ZONG , 李藝鋒 , LEE, YI FENG
IPC分类号： G06F19/00 , H01L21/66
CPC分类号： G05B23/024 , G05B23/0294 , G05B2219/37224

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