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1. 发明专利

TWI701386B 附除害功能之乾式真空泵有权
简体标题：附除害功能之干式真空泵
公开(公告)号：TWI701386B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW106116110
申请日：2017-05-16
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：吉田真也 , YOSHIDA, NAOYA , 青木康照 , AOKI, YASUTERU , 細谷和正 , HOSOTANI, KAZUMASA , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO
IPC分类号： F04C25/02 , F04C29/12

2. 发明专利

TW201811420A 排氣處理裝置用之燃燒器頭及其製造方法，以及排氣處理裝置用的燃燒室、其製造方法及維護方法审中-公开
简体标题：排气处理设备用之燃烧器头及其制造方法，以及排气处理设备用的燃烧室、其制造方法及维护方法
公开(公告)号：TW201811420A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106128092
申请日：2017-08-18
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮崎一知 , MIYAZAKI, KAZUTOMO , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 柏木誠司 , KASHIWAGI, SEIJI , 細谷和正 , HOSOTANI, KAZUMASA , 江田健 , EDA, TAKESHI
IPC分类号： B01D53/34 , B01D53/68 , F23G7/06
摘要：本發明之課題在於提供一種用以實現容易維護之排氣處理裝置的燃燒器頭及其製造方法，以及具有此種燃燒器頭的排氣處理裝置用的燃燒室、其製造方法及維護方法。本發明之解決手段係提供一種燃燒器頭，該燃燒器頭係藉由安裝於燃燒室本體之上部來構成排氣處理裝置用的燃燒室，該燃燒器頭具備：殼體，其具有下方有開口的圓筒部，且設置有用以與前述燃燒室本體以能夠卸下之方式緊固連結的緊固連結部；燃料用噴嘴，其將燃料吹入於前述圓筒部內；助燃性氣體用噴嘴，其將助燃性氣體吹入於前述圓筒部內；處理氣體用噴嘴，其將處理氣體吹入於前述圓筒部內；以及導燃器，其對前述燃料及/或前述助燃性氣體點火。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种用以实现容易维护之排气处理设备的燃烧器头及其制造方法，以及具有此种燃烧器头的排气处理设备用的燃烧室、其制造方法及维护方法。本发明之解决手段系提供一种燃烧器头，该燃烧器头系借由安装于燃烧室本体之上部来构成排气处理设备用的燃烧室，该燃烧器头具备：壳体，其具有下方有开口的圆筒部，且设置有用以与前述燃烧室本体以能够卸下之方式紧固链接的紧固链接部；燃料用喷嘴，其将燃料吹入于前述圆筒部内；助燃性气体用喷嘴，其将助燃性气体吹入于前述圆筒部内；处理气体用喷嘴，其将处理气体吹入于前述圆筒部内；以及导燃器，其对前述燃料及/或前述助燃性气体点火。

3. 发明专利

TWI672440B 附除害功能的真空泵及排氣系統有权
简体标题：附除害功能的真空泵及排气系统
公开(公告)号：TWI672440B
公开(公告)日：2019-09-21
申请号：TW104108049
申请日：2015-03-13
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：岩崎弘一 , IWASAKI, KOICHI , 古田拓己 , FURUTA, HIROKI , 石川敬一 , ISHIKAWA, KEIICHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI
IPC分类号： F04B37/14 , F04B53/20 , F04D29/70

4. 发明专利

TW201802357A 附除害功能之乾式真空泵审中-公开
简体标题：附除害功能之干式真空泵
公开(公告)号：TW201802357A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106116110
申请日：2017-05-16
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：吉田真也 , YOSHIDA, NAOYA , 青木康照 , AOKI, YASUTERU , 細谷和正 , HOSOTANI, KAZUMASA , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO
IPC分类号： F04C25/02 , F04C29/12
摘要：本發明提供一種容易維護的除害系統。所提供之附除害功能之乾式真空泵(10)係具備：乾式泵(1)，將來自工具(200)的排出氣體進行真空排氣；除害部(2)，將藉由前述乾式泵(1)所真空排氣的排出氣體進行除害；以及流路(3)，將前述乾式泵(1)與前述除害部(2)直接連結成不能裝拆。
简体摘要：本发明提供一种容易维护的除害系统。所提供之附除害功能之干式真空泵(10)系具备：干式泵(1)，将来自工具(200)的排出气体进行真空排气；除害部(2)，将借由前述干式泵(1)所真空排气的排出气体进行除害；以及流路(3)，将前述干式泵(1)与前述除害部(2)直接链接成不能装拆。

5. 发明专利

TWI700387B 真空排氣系統有权
简体标题：真空排气系统
公开(公告)号：TWI700387B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW104117395
申请日：2015-05-29
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：塩川篤志 , SHIOKAWA, ATSUSHI , 杉浦哲郎 , SUGIURA, TETSURO , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI , 京谷敬史 , KYOTANI, TAKASHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 木村憲雄 , KIMURA, NORIO , 石川敬一 , ISHIKAWA, KEIICHI , 大須賀透 , OSUGA, TORU
IPC分类号： C23C16/455 , F04B41/06 , F04B37/14

6. 发明专利

TWI686535B 附除害功能的真空泵有权
公开(公告)号：TWI686535B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW104108050
申请日：2015-03-13
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：古田拓己 , FURUTA, HIROKI , 岩崎弘一 , IWASAKI, KOICHI , 石川敬一 , ISHIKAWA, KEIICHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI
IPC分类号： F04B37/14 , F04B53/20 , F04D29/70

7. 发明专利

TWI680792B 廢氣處理裝置有权
简体标题：废气处理设备
公开(公告)号：TWI680792B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW105117181
申请日：2016-06-01
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮崎一知 , MIYAZAKI, KAZUTOMO , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 篠原豊司 , SHINOHARA, TOYOJI , 柏木誠司 , KASHIWAGI, SEIJI
IPC分类号： B01D53/46 , B01D53/68 , F23G7/06

8. 发明专利

TW201544699A 附除害功能的真空泵审中-公开
公开(公告)号：TW201544699A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104108050
申请日：2015-03-13
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：古田拓己 , FURUTA, HIROKI , 岩崎弘一 , IWASAKI, KOICHI , 石川敬一 , ISHIKAWA, KEIICHI , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 関口信一 , SEKIGUCHI, SHINICHI
IPC分类号： F04B37/14 , F04B53/20 , F04D29/70
CPC分类号： F04B23/04 , B01D53/005 , B01D53/323 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D2257/2025 , B01D2257/2027 , B01D2257/2045 , B01D2257/2047 , B01D2257/2064 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , C23C16/4412 , F04B15/04 , F04B17/03 , F04B49/02 , F04B49/24 , F04D17/168 , F04D19/04 , F05D2260/607 , Y02C20/30 , Y02P70/605
摘要：本發明的目的係在提供一種附除害功能的真空泵，其係廢氣處理之結果所析出之生成物不會逆流到製程腔體而可防止製程腔體的污染，且沖洗用氣體與稀釋用氣體不含在廢氣中而可減少處理氣體量，且減低除害部的氣體處理所需之能源而可圖謀省能源。一種真空泵，係附設有處理廢氣之除害部，該真空泵係包含具備有可從大氣壓排氣之主泵1與使主泵1的排氣速度上升之增壓泵2之乾式真空泵，且至少將一個處理廢氣之除害部3連接在主泵1與增壓泵2之間。
简体摘要：本发明的目的系在提供一种附除害功能的真空泵，其系废气处理之结果所析出之生成物不会逆流到制程腔体而可防止制程腔体的污染，且冲洗用气体与稀释用气体不含在废气中而可减少处理气体量，且减低除害部的气体处理所需之能源而可图谋省能源。一种真空泵，系附设有处理废气之除害部，该真空泵系包含具备有可从大气压排气之主泵1与使主泵1的排气速度上升之增压泵2之干式真空泵，且至少将一个处理废气之除害部3连接在主泵1与增压泵2之间。

9. 发明专利

TW201911454A 排氣處理裝置审中-公开
简体标题：排气处理设备
公开(公告)号：TW201911454A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107125183
申请日：2018-07-20
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮崎一知 , MIYAZAKI, KAZUTOMO , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 柏木誠司 , KASHIWAGI, SEIJI
IPC分类号： H01L21/67 , G03F1/68
摘要：本發明提供一種在燃燒式排氣處理裝置中處理含有氫之要處理氣體之際，藉由將要處理氣體及助燃性氣體朝向燃燒室的內周面的切線方向吹入，以形成從燃燒室內壁浮起的兩種混合的圓筒狀混合火焰，而可防止燃燒室的熱損傷之排氣處理裝置。該排氣處理裝置係對含有氫之要處理氣體進行燃燒處理使之無害化之排氣處理裝置，其中，進行含有氫之要處理氣體的燃燒之燃燒室1係構成為圓筒狀的燃燒室1，燃燒室1具備有分別將要處理氣體及助燃性氣體朝向燃燒室的內周面的切線方向吹入之要處理氣體用噴嘴3A及助燃性氣體用噴嘴3B，要處理氣體用噴嘴3A及助燃性氣體用噴嘴3B係位於與燃燒室1的軸線正交之同一平面上。
简体摘要：本发明提供一种在燃烧式排气处理设备中处理含有氢之要处理气体之际，借由将要处理气体及助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入，以形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，而可防止燃烧室的热损伤之排气处理设备。该排气处理设备系对含有氢之要处理气体进行燃烧处理使之无害化之排气处理设备，其中，进行含有氢之要处理气体的燃烧之燃烧室1系构成为圆筒状的燃烧室1，燃烧室1具备有分别将要处理气体及助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入之要处理气体用喷嘴3A及助燃性气体用喷嘴3B，要处理气体用喷嘴3A及助燃性气体用喷嘴3B系位于与燃烧室1的轴线正交之同一平面上。

10. 发明专利

TW201714662A 廢氣處理裝置审中-公开
简体标题：废气处理设备
公开(公告)号：TW201714662A
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW105117181
申请日：2016-06-01
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮崎一知 , MIYAZAKI, KAZUTOMO , 駒井哲夫 , KOMAI, TETSUO , 篠原豊司 , SHINOHARA, TOYOJI , 柏木誠司 , KASHIWAGI, SEIJI
IPC分类号： B01D53/46 , B01D53/68 , F23G7/06
CPC分类号： F23G7/065 , B01D2251/102 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , F01N3/24 , F23C3/00 , F23G7/06 , F23L1/00 , F23M5/08
摘要：本發明係有關一種廢氣處理裝置，其係將從製造半導體元件、液晶、LED等之製造裝置等所排出之廢氣進行燃燒處理而使廢氣無害化之廢氣處理裝置。本發明提供一種廢氣處理裝置，係將處理氣體進行燃燒處理而無害化，其中，燃燒處理氣體之圓筒狀的燃燒室(1)具備：分別將燃料、助燃性氣體與處理氣體朝向燃燒室(1)之內周面的切線方向噴吹之燃料用噴嘴(3A)、助燃性氣體用噴嘴(3B)與處理氣體用噴嘴(3C)；燃料用噴嘴(3A)、助燃性氣體用噴嘴(3B)與處理氣體用噴嘴(3C)位在與燃燒室(1)之軸線正交的同一平面上。
简体摘要：本发明系有关一种废气处理设备，其系将从制造半导体组件、液晶、LED等之制造设备等所排出之废气进行燃烧处理而使废气无害化之废气处理设备。本发明提供一种废气处理设备，系将处理气体进行燃烧处理而无害化，其中，燃烧处理气体之圆筒状的燃烧室(1)具备：分别将燃料、助燃性气体与处理气体朝向燃烧室(1)之内周面的切线方向喷吹之燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)与处理气体用喷嘴(3C)；燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)与处理气体用喷嘴(3C)位在与燃烧室(1)之轴线正交的同一平面上。

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