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2. 发明专利

TW201603101A 檢查裝置审中-公开
简体标题：检查设备
公开(公告)号：TW201603101A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104108926
申请日：2015-03-20
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：林丈英 , HAYASHI, TAKEHIDE , 畠山雅規 , HATAKEYAMA, MASAHIRO , 山口真司 , YAMAGUCHI, SHINJI , 中真人 , NAKA, MASATO
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/185 , H01J37/222 , H01J37/224 , H01J2237/2448 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817
摘要：本發明的目的係在提供一種檢查裝置，其係可以高對比將檢查對象之表面的凹凸之狀態進行檢查。檢查裝置具備：波束產生手段，係使荷電粒子或電磁波之任一者產生並作為波束；1次光學系統，係將波束照射在檢查對象；2次光學系統，係檢測從檢查對象產生之次級帶電粒子；以及畫像處理系統，係根據所檢測之次級帶電粒子而形成畫像。波束之照射能量係被設定在會藉由波束的照射而從檢查對象釋出反射鏡電子作為次級帶電粒子之能量區域。2次光學系統具備：攝像機，係用以檢測次級帶電粒子；數值孔徑，係可沿著光軸方向調整位置；以及透鏡，係使通過數值孔徑之次級帶電粒子在攝像機的像面成像。在畫像處理系統中，在將數值孔徑的位置設為物面進行攝影之孔徑成像條件下形成畫像。
简体摘要：本发明的目的系在提供一种检查设备，其系可以高对比将检查对象之表面的凹凸之状态进行检查。检查设备具备：波束产生手段，系使荷电粒子或电磁波之任一者产生并作为波束；1次光学系统，系将波束照射在检查对象；2次光学系统，系检测从检查对象产生之次级带电粒子；以及画像处理系统，系根据所检测之次级带电粒子而形成画像。波束之照射能量系被设置在会借由波束的照射而从检查对象发佈反射镜电子作为次级带电粒子之能量区域。2次光学系统具备：摄像机，系用以检测次级带电粒子；数值孔径，系可沿着光轴方向调整位置；以及透镜，系使通过数值孔径之次级带电粒子在摄像机的像面成像。在画像处理系统中，在将数值孔径的位置设为物面进行摄影之孔径成像条件下形成画像。

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