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    • 7. 发明专利
    • 用於控制可轉印半導體結構之釋放之系統及方法
    • 用于控制可转印半导体结构之释放之系统及方法
    • TW201730095A
    • 2017-09-01
    • TW105134136
    • 2016-10-21
    • 艾克斯瑟樂普林特有限公司X-CELEPRINT LIMITED
    • 鮑爾 克里斯多夫BOWER, CHRISTOPHER梅特 馬修MEITL, MATTHEW
    • B81C99/00
    • B81C99/008B81C2201/0194B81C2203/054
    • 所揭示技術一般而言係關於用於控制微型裝置之釋放之方法及系統。在將微型裝置轉印至一目的地基板之前,形成其上具有微型裝置之一同質基板。該等微型裝置可分佈於該同質基板上方且藉由一錨結構在空間上彼此分離。該等錨實體連接/固定至該同質基板。繫鏈將每一微型裝置實體固定至一或多個錨,藉此將該微型裝置懸置於該同質基板上面。在特定實施例中,使用單繫鏈設計來控制諸如Si (1 0 0)之一基板上之可釋放結構中之內建應力的鬆弛。單繫鏈設計除其他益處外亦提供以下額外益處:在微裝配程序中,在自同質基板取回時較容易斷開。在特定實施例中,狹窄繫鏈設計用於避免對底切蝕刻前端之釘紮。
    • 所揭示技术一般而言系关于用于控制微型设备之释放之方法及系统。在将微型设备转印至一目的地基板之前,形成其上具有微型设备之一同质基板。该等微型设备可分布于该同质基板上方且借由一锚结构在空间上彼此分离。该等锚实体连接/固定至该同质基板。系链将每一微型设备实体固定至一或多个锚,借此将该微型设备悬置于该同质基板上面。在特定实施例中,使用单系链设计来控制诸如Si (1 0 0)之一基板上之可释放结构中之内置应力的松弛。单系链设计除其他益处外亦提供以下额外益处:在微装配进程中,在自同质基板取回时较容易断开。在特定实施例中,狭窄系链设计用于避免对底切蚀刻前端之钉扎。