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2. 发明专利

TW202026372A 用於積層製造製程所生產的研磨墊的前驅物調配物审中-公开
简体标题：用于积层制造制程所生产的研磨垫的前驱物调配物
公开(公告)号：TW202026372A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW109103156
申请日：2015-10-19
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：巴札拉吉菲 , BAJAJ, RAJEEV , 瑞特法德丹尼爾 , REDFIELD, DANIEL , 奧利拉馬韓卓C , ORILALL, MAHENDRA C. , 傅博詣 , FU, BOYI , 裘卡林姆亞敘溫 , CHOCKALINGAM, ASHWIN , 庫馬愛沙瓦尼 , KUMAR, ASHAVANI , 瑞德可佛瑞德C , REDEKER, FRED C. , 帕逖邦德拉納格B , PATIBANDLA, NAG B.
IPC分类号： C09D175/16 , C09D4/02 , C09D4/06 , C09D7/40 , B24B37/20 , B29C64/112 , B33Y70/00 , B33Y80/00 , H01L21/304
摘要：本揭示內容之實施例係關於具有可調諧化學特性、材料特性及結構特性之高級研磨墊，及製造該等研磨墊之新方法。根據本揭示內容之一或多個實施例，已發現具有改良特性之研磨墊可由諸如三維(3D)列印製程之積層製造製程來產生。因此，本揭示內容之實施例可提供具有離散特徵及幾何形狀、由至少兩種不同材料形成之高級研磨墊，該等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反應性稀釋劑及固化劑。舉例而言，該高級研磨墊可藉由自動化依序沉積至少一種樹脂前驅物組成物，繼之以至少一個固化步驟而由複數個聚合物層形成，其中各層可表示至少一種聚合物組成物及/或不同組成物之區域。
简体摘要：本揭示内容之实施例系关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性之高级研磨垫，及制造该等研磨垫之新方法。根据本揭示内容之一或多个实施例，已发现具有改良特性之研磨垫可由诸如三维(3D)打印制程之积层制造制程来产生。因此，本揭示内容之实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成之高级研磨垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可借由自动化依序沉积至少一种树脂前驱物组成物，继之以至少一个固化步骤而由复数个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物及/或不同组成物之区域。

3. 发明专利

TW201910479A 磨料輸送拋光墊及其製作方法审中-公开
简体标题：磨料输送抛光垫及其制作方法
公开(公告)号：TW201910479A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107125825
申请日：2018-07-26
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：裘卡林姆亞敘溫 , CHOCKALINGAM, ASHWIN , 巴札拉吉菲 , BAJAJ, RAJEEV , 庫馬愛沙瓦尼 , KUMAR, ASHAVANI , 瑞特法德丹尼爾 , REDFIELD, DANIEL
IPC分类号： C09K3/14 , C09G1/02 , B24B57/00 , B24B37/20
摘要：本案揭露內容提供磨料輸送（abrasive delivery, AD）拋光墊及該拋光墊之製作方法。一個實施例中，一種形成拋光製品之方法包括：由第一可固化樹脂前驅物組成物形成子拋光元件，以及形成從該子拋光元件延伸的複數個拋光元件。形成該複數個拋光元件包括：由第二可固化樹脂前驅物組成物形成連續聚合物相，以及形成複數個不連續磨料輸送特徵，該等不連續磨料輸送特徵配置於該連續聚合物相內。該子拋光元件是藉由配發該第一可固化樹脂前驅物組成物之複數個第一液滴而形成。該複數個拋光元件是藉由配發該第二可固化樹脂前驅物組成物之複數個第二液滴而形成。一些實施例中，該等不連續磨料輸送特徵包括水溶性材料，該水溶性材料中散佈有磨料顆粒。
简体摘要：本案揭露内容提供磨料输送（abrasive delivery, AD）抛光垫及该抛光垫之制作方法。一个实施例中，一种形成抛光制品之方法包括：由第一可固化树脂前驱物组成物形成子抛光组件，以及形成从该子抛光组件延伸的复数个抛光组件。形成该复数个抛光组件包括：由第二可固化树脂前驱物组成物形成连续聚合物相，以及形成复数个不连续磨料输送特征，该等不连续磨料输送特征配置于该连续聚合物相内。该子抛光组件是借由配发该第一可固化树脂前驱物组成物之复数个第一液滴而形成。该复数个抛光组件是借由配发该第二可固化树脂前驱物组成物之复数个第二液滴而形成。一些实施例中，该等不连续磨料输送特征包括水溶性材料，该水溶性材料中散布有磨料颗粒。

4. 发明专利

TW201622972A 由積層製造製程所生產之硏磨墊审中-公开
简体标题：由积层制造制程所生产之研磨垫
公开(公告)号：TW201622972A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104134235
申请日：2015-10-19
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：巴札拉吉菲 , BAJAJ, RAJEEV , 瑞特法德丹尼爾 , REDFIELD, DANIEL , 奧利拉馬韓卓C , ORILALL, MAHENDRA C. , 傅博詣 , FU, BOYI , 卡那亞尼盧得賈迪許 , KHANNA, ANIRUDDH JAGDISH , 馮傑森G , FUNG, JASON G. , 寇爾內喬瑪利歐 , CORNEJO, MARIO , 裘卡林姆亞敘溫 , CHOCKALINGAM, ASHWIN , 山村麻由費利西亞 , YAMAMURA, MAYU FELICIA , 卡齊瑞迪拉雅娃 , KAKIREDDY, RAGHAVA , 庫馬愛沙瓦尼 , KUMAR, ASHAVANI , 哈利哈蘭文卡泰查蘭 , HARIHARAN, VENKATACHALAM , 敏克葛利格瑞E , MENK, GREGORY E. , 瑞德可佛瑞德C , REDEKER, FRED C. , 帕逖邦德拉納格B , PATIBANDLA, NAG B. , 黃浩智 , NG, HOU TEE , 達文波特羅伯 , DAVENPORT, ROB , 申那艾姆立坦修 , SINHA, AMRITANSHU
IPC分类号： B32B3/10 , B32B27/00 , B24B37/20 , H01L21/304 , B33Y10/00 , B33Y80/00
CPC分类号： B24B37/26 , B24B37/205 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24D18/0045 , B29C64/112 , B33Y80/00
摘要：本揭示內容之實施例係關於具有可調諧化學特性、材料特性及結構特性之高級研磨墊，及製造該等研磨墊之新方法。根據本揭示內容之一或多個實施例，已發現具有改良特性之研磨墊可由諸如三維(3D)列印製程之積層製造製程來產生。因此，本揭示內容之實施例可提供具有離散特徵及幾何形狀、由至少兩種不同材料形成之高級研磨墊，該等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反應性稀釋劑及固化劑。舉例而言，該高級研磨墊可藉由自動化連續沉積至少一種樹脂前驅物組成物，繼之以至少一個固化步驟而由複數個聚合物層形成，其中各層可表示至少一種聚合物組成物及/或不同組成物之區域。
简体摘要：本揭示内容之实施例系关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性之高级研磨垫，及制造该等研磨垫之新方法。根据本揭示内容之一或多个实施例，已发现具有改良特性之研磨垫可由诸如三维(3D)打印制程之积层制造制程来产生。因此，本揭示内容之实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成之高级研磨垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可借由自动化连续沉积至少一种树脂前驱物组成物，继之以至少一个固化步骤而由复数个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物及/或不同组成物之区域。

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