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1. 发明专利

TW201833563A 用於受測裝置的無線操作的晶圓上測試之接點引擎、探針頭組件、探針系統和相關方法审中-公开
简体标题：用于受测设备的无线操作的晶圆上测试之接点发动机、探针头组件、探针系统和相关方法
公开(公告)号：TW201833563A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106141634
申请日：2017-11-29
申请人：美商加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：巴克丹尼爾馬克 , BOCK, DANIEL MARK , 可麗瑞提姆 , CLEARY, TIM
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/302
摘要：用於一受測裝置(DUT)的無線操作的晶圓上測試之接點引擎、探針頭組件、探針系統、以及相關的方法。一種接點引擎係包含一撓性的介電薄膜，其係具有一第一表面與一第二表面、以及複數個探針，其係藉由該撓性的介電薄膜所支承。該複數個探針係被定向以接觸在該DUT上的複數個接點位置。在該複數個探針中的每一個探針係包含一對應的探針尖端，其係從該撓性的介電薄膜的該第二表面突出，並且被配置以電性及實體地接觸該複數個接點位置的一對應的接點位置。該接點引擎進一步包含至少一藉由該撓性的介電薄膜所支承的薄膜天線。一種探針頭組件係包含該接點引擎。一種探針系統係包含該探針頭組件。相關的方法係包含利用該接點引擎的方法。
简体摘要：用于一受测设备(DUT)的无线操作的晶圆上测试之接点发动机、探针头组件、探针系统、以及相关的方法。一种接点发动机系包含一挠性的介电薄膜，其系具有一第一表面与一第二表面、以及复数个探针，其系借由该挠性的介电薄膜所支承。该复数个探针系被定向以接触在该DUT上的复数个接点位置。在该复数个探针中的每一个探针系包含一对应的探针尖端，其系从该挠性的介电薄膜的该第二表面突出，并且被配置以电性及实体地接触该复数个接点位置的一对应的接点位置。该接点发动机进一步包含至少一借由该挠性的介电薄膜所支承的薄膜天线。一种探针头组件系包含该接点发动机。一种探针系统系包含该探针头组件。相关的方法系包含利用该接点发动机的方法。

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