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1. 发明专利

TWI700965B 高效率雷射支持之電漿光源有权
简体标题：高效率激光支持之等离子光源
公开(公告)号：TWI700965B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW105119595
申请日：2016-06-22
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE
IPC分类号： H05G2/00

2. 发明专利

TWI632832B 用於控制一電漿室內之對流的方法及系統有权
简体标题：用于控制一等离子室内之对流的方法及系统
公开(公告)号：TWI632832B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW103118872
申请日：2014-05-29
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW
IPC分类号： H05G2/00 , H05H1/24

3. 发明专利

TWI621153B 用來使用雷射支持之電漿照明輸出對樣本成像之系統與方法有权
简体标题：用来使用激光支持之等离子照明输出对样本成像之系统与方法
公开(公告)号：TWI621153B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW103127980
申请日：2014-08-14
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：碩爾特大衛W , SHORTT, DAVID W. , 藍居史蒂芬R , LANGE, STEVEN R. , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 葛洛斯肯尼斯P , GROSS, KENNETH P. , 趙偉 , ZHAO, WEI , 畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY
IPC分类号： H01J65/04 , H05G2/00
CPC分类号： G21K5/00

4. 发明专利

TW201515058A 用來使用雷射支持之電漿照明輸出對樣本成像之系統與方法审中-公开
简体标题：用来使用激光支持之等离子照明输出对样本成像之系统与方法
公开(公告)号：TW201515058A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103127980
申请日：2014-08-14
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：碩爾特大衛W , SHORTT, DAVID W. , 藍居史蒂芬R , LANGE, STEVEN R. , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 葛洛斯肯尼斯P , GROSS, KENNETH P. , 趙偉 , ZHAO, WEI , 畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY
IPC分类号： H01J65/04 , H05G2/00
CPC分类号： G21K5/00
摘要：本發明揭示使用來自一雷射支持之電漿之VUV光進行一樣本之檢測，其包含：產生包含一第一選定波長或波長範圍之幫浦照明；容納適用於電漿產生之一氣體容積；藉由將該幫浦照明聚焦至該氣體容積中而在該氣體容積內形成一電漿，進而產生包含一第二選定波長或波長範圍之寬頻輻射；使用自該電漿發射之該寬頻輻射經由一照明路徑對一樣本之一表面進行照明；使來自該樣本之一表面之照明集光；將該經集光照明經由一集光路徑聚焦至一偵測器上，以形成該樣本之該表面之至少一部分之影像；及使用一選定清洗氣體沖洗該照明路徑及/或該集光路徑。
简体摘要：本发明揭示使用来自一激光支持之等离子之VUV光进行一样本之检测，其包含：产生包含一第一选定波长或波长范围之帮浦照明；容纳适用于等离子产生之一气体容积；借由将该帮浦照明聚焦至该气体容积中而在该气体容积内形成一等离子，进而产生包含一第二选定波长或波长范围之宽带辐射；使用自该等离子发射之该宽带辐射经由一照明路径对一样本之一表面进行照明；使来自该样本之一表面之照明集光；将该经集光照明经由一集光路径聚焦至一侦测器上，以形成该样本之该表面之至少一部分之影像；及使用一选定清洗气体冲洗该照明路径及/或该集光路径。

5. 发明专利

TW201707519A 高效率雷射支持之電漿光源审中-公开
简体标题：高效率激光支持之等离子光源
公开(公告)号：TW201707519A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105119595
申请日：2016-06-22
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 雪芬尤金 , SHIFRIN, EUGENE
IPC分类号： H05G2/00
摘要：本發明揭示一種用於產生雷射支持之寬頻光之系統，其包含：一泵源(pump source)，其經組態以產生一泵光束；一氣體容納結構，其用於容納一氣體及一多通光學總成。該多通光學總成包含經組態以執行該泵光束複數次穿過該氣體之一部分來支持一發射寬頻光之電漿的一或多個光學元件。該一或多個光學元件經配置以收集透射穿過該電漿之該泵光束之一未吸收部分且將所收集之該泵光束之未吸收部分導引回至該氣體之該部分中。
简体摘要：本发明揭示一种用于产生激光支持之宽带光之系统，其包含：一泵源(pump source)，其经组态以产生一泵光束；一气体容纳结构，其用于容纳一气体及一多通光学总成。该多通光学总成包含经组态以运行该泵光束复数次穿过该气体之一部分来支持一发射宽带光之等离子的一或多个光学组件。该一或多个光学组件经配置以收集透射穿过该等离子之该泵光束之一未吸收部分且将所收集之该泵光束之未吸收部分导引回至该气体之该部分中。

6. 发明专利

TW201507549A 用於控制一電漿室內之對流的方法及系統审中-公开
简体标题：用于控制一等离子室内之对流的方法及系统
公开(公告)号：TW201507549A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103118872
申请日：2014-05-29
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW
IPC分类号： H05G2/00 , H05H1/24
CPC分类号： H05H1/24 , H01J61/30 , H01J65/04 , H05G2/003 , H05G2/008
摘要：本發明揭示一種用於控制對流之電漿室，其包含一透射元件，該透射元件經組態以從一照明源接收照明以在體積之氣體之一電漿產生區域內產生一電漿。該電漿室亦包含：一頂部流控制元件，其安置於該電漿產生上方，該頂部流控制元件包含一內部通道，其經組態以向上導引該電漿之一捲流；及一底部流控制元件，其安置於該電漿產生區域下方，該底部流控制元件包含一內部通道，其經組態以向上導引氣體朝向該電漿產生區域。該頂部流控制元件及該底部流控制元件配置於該透射元件內，以形成一個或多個氣體返回通道，該等氣體返回通道用於將氣體從該電漿產生區域上方之一區域傳送至該電漿產生區域下方之一區域。
简体摘要：本发明揭示一种用于控制对流之等离子室，其包含一透射组件，该透射组件经组态以从一照明源接收照明以在体积之气体之一等离子产生区域内产生一等离子。该等离子室亦包含：一顶部流控件，其安置于该等离子产生上方，该顶部流控件包含一内部信道，其经组态以向上导引该等离子之一卷流；及一底部流控件，其安置于该等离子产生区域下方，该底部流控件包含一内部信道，其经组态以向上导引气体朝向该等离子产生区域。该顶部流控件及该底部流控件配置于该透射组件内，以形成一个或多个气体返回信道，该等气体返回信道用于将气体从该等离子产生区域上方之一区域发送至该等离子产生区域下方之一区域。

7. 发明专利

TW201448678A 用於控制一光維持電漿中之對流之方法及系統审中-公开
简体标题：用于控制一光维持等离子中之对流之方法及系统
公开(公告)号：TW201448678A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103111853
申请日：2014-03-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 葛洛斯肯恩 , GROSS, KEN , 碩爾特大衛W , SHORTT, DAVID W. , 趙偉 , ZHAO, WEI , 奇瑪吉亞納特 , CHIMMALGI, ANANT , 王金誠 , WANG, JINCHENG
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H01J65/042 , H01J61/28 , H01J61/523 , H01J65/00 , H05H1/24
摘要：一種用於控制一光維持電漿中之對流之系統，其包含：經組態以產生照明之一照明源、包含用於容納一氣體體積之一球管之一電漿室、經配置以將來自該照明源之照明集中於該氣體體積中以便在被容納於該球管內之該氣體體積內產生一電漿之一收集器元件。此外，該電漿室經安置於該收集器元件之一凹形區域內，其中該收集器元件包含一開口，用以將該電漿之一煙流之一部分傳播至在該收集元件之該凹形區域外之一區域。
简体摘要：一种用于控制一光维持等离子中之对流之系统，其包含：经组态以产生照明之一照明源、包含用于容纳一气体体积之一球管之一等离子室、经配置以将来自该照明源之照明集中于该气体体积中以便在被容纳于该球管内之该气体体积内产生一等离子之一收集器组件。此外，该等离子室经安置于该收集器组件之一凹形区域内，其中该收集器组件包含一开口，用以将该等离子之一烟流之一部分传播至在该收集组件之该凹形区域外之一区域。

8. 发明专利

TW201433747A 藉由調節及控制燈具操作溫度以減少熱應力之方法及裝置审中-公开
简体标题：借由调节及控制灯具操作温度以减少热应力之方法及设备
公开(公告)号：TW201433747A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102130919
申请日：2013-08-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：王金誠 , WANG, JINCHENG , 奇瑪吉亞納特 , CHIMMALGI, ANANT , 派提爾瑞吉維 , PATIL, RAJEEV , 金艾瑞克 , KIM, ERIK , 布魯納爾勞德夫 , BRUNNER, RUDOLF , 江坤 , GIANG, QUANG , 威爾森勞倫 , WILSON, LAUREN , 葛洛斯肯恩 , GROSS, KEN , 畢札爾伊利亞 , BEZEL, ILYA , 史考特丹恩 , SCOTT, DAN , 維若尤納斯 , VORA, YOUNUS , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 拉斯法格席德瑞克 , LASFARGUES, CEDRIC
IPC分类号： F21V29/02
CPC分类号： F28C3/04 , F21V19/00 , F21V29/02 , F21V29/503 , F21V29/60
摘要：一流體輸入歧管使注入流體圍繞一燈泡之本體分佈以將該燈泡冷卻至低於一臨限值。該注入流體亦沿該燈泡之表面更均勻地分佈熱量以減少熱應力。該流體輸入歧管可包括一或多個翼片以沿該燈泡之表面導引一實質上層狀流體流，或該流體輸入歧管可包括經定向以產生一實質上層狀流體流之複數個流體注入噴嘴。一輸出部分可經組態以藉由允許注入流體在自該燈泡吸收熱量之後輕易排泄或藉由施加負壓以沿該燈泡之表面主動抽取注入流體且使其排出而促進沿該燈泡之表面之流體流。
简体摘要：一流体输入歧管使注入流体围绕一灯泡之本体分布以将该灯泡冷却至低于一临限值。该注入流体亦沿该灯泡之表面更均匀地分布热量以减少热应力。该流体输入歧管可包括一或多个翼片以沿该灯泡之表面导引一实质上层状流体流，或该流体输入歧管可包括经定向以产生一实质上层状流体流之复数个流体注入喷嘴。一输出部分可经组态以借由允许注入流体在自该灯泡吸收热量之后轻易排泄或借由施加负压以沿该灯泡之表面主动抽取注入流体且使其排出而促进沿该灯泡之表面之流体流。

9. 发明专利

TWI628391B 用於冷卻一燈泡之方法及裝置及用於沿一燈泡之一表面分佈熱量之裝置有权
简体标题：用于冷却一灯泡之方法及设备及用于沿一灯泡之一表面分布热量之设备
公开(公告)号：TWI628391B
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW102130919
申请日：2013-08-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：王金誠 , WANG, JINCHENG , 奇瑪吉亞納特 , CHIMMALGI, ANANT , 派提爾瑞吉維 , PATIL, RAJEEV , 金艾瑞克 , KIM, ERIK , 布魯納爾勞德夫 , BRUNNER, RUDOLF , 江坤 , GIANG, QUANG , 威爾森勞倫 , WILSON, LAUREN , 葛洛斯肯恩 , GROSS, KEN , 畢札爾伊利亞 , BEZEL, ILYA , 史考特丹恩 , SCOTT, DAN , 維若尤納斯 , VORA, YOUNUS , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 拉斯法格席德瑞克 , LASFARGUES, CEDRIC
IPC分类号： F21V29/60 , F21V29/74

10. 发明专利

TWI613936B 用於控制一光維持電漿中之對流之方法及系統有权
简体标题：用于控制一光维持等离子中之对流之方法及系统
公开(公告)号：TWI613936B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW103111853
申请日：2014-03-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢札爾伊爾亞 , BEZEL, ILYA , 斯奇密利尼亞納圖里 , SHCHEMELININ, ANATOLY , 達斯汀馬修 , DERSTINE, MATTHEW , 葛洛斯肯恩 , GROSS, KEN , 碩爾特大衛W , SHORTT, DAVID W. , 趙偉 , ZHAO, WEI , 奇瑪吉亞納特 , CHIMMALGI, ANANT , 王金誠 , WANG, JINCHENG
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H01J65/042 , H01J61/28 , H01J61/523 , H01J65/00 , H05H1/24

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