专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201705370A 用於加工基板的裝置审中-公开
简体标题：用于加工基板的设备
公开(公告)号：TW201705370A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105103716
申请日：2016-02-04
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 福雷顏斯 , FREY, JENS , 阿美圖瓦布拉瑪烏利 , AMETOWOBLA, MAWULI , 卡培飛利浦 , KAPPE, PHILIP , 布茲尤根 , BUTZ, JUERGEN , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： H01L21/786 , B81C1/00 , H01L21/268 , B23K26/12
CPC分类号： H01L21/6719 , B23K26/1224 , B23K37/047 , B81C1/00 , H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/786
摘要：一種用於加工基板的裝置(100)，其具有：至少一真空室(10)，在其中一規定的氣壓可被調節；用於加熱該基板的加熱構件；及佈置於該真空室(10)外部的雷射構件(20)，其中該雷射構件(20)可相對於該基板運動，其中藉由該雷射構件(20)，該佈置於該真空室(10)內之基板的至少一腔室可透過熔化基板材料而閉鎖。
简体摘要：一种用于加工基板的设备(100)，其具有：至少一真空室(10)，在其中一规定的气压可被调节；用于加热该基板的加热构件；及布置于该真空室(10)外部的激光构件(20)，其中该激光构件(20)可相对于该基板运动，其中借由该激光构件(20)，该布置于该真空室(10)内之基板的至少一腔室可透过熔化基板材料而闭锁。

2. 发明专利

TW201730092A 具有局部定界的雷射再封閉审中-公开
简体标题：具有局部定界的激光再封闭
公开(公告)号：TW201730092A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105140183
申请日：2016-12-06
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/02 , H01L29/84
CPC分类号： B81C1/00293
摘要：本發明提供一種用於製造一微機械組件之方法，該微機械組件具有一基板，且具有連接至該基板並且與該基板圍封一第一空腔之一蓋帽，一第一壓力存在於該第一空腔中且具有一第一化學成分之一第一氣體混合物圍封於該第一空腔中，- 在一第一方法步驟中，在該基板或該蓋帽中形成將該第一空腔連接至該微機械組件之一環境的一接取開口，- 在一第二方法步驟中，調整該第一空腔中之該第一壓力及/或該第一化學成分，- 在一第三方法步驟中，藉由一雷射將能量或熱引入至該基板或該蓋帽之一吸收部分中來封閉該接取開口，其中- 在一第四方法步驟中，形成相對於該基板或該蓋帽之背對該第一空腔之一表面升高且配置於該接取開口之區域中的一結構，以便提供該基板或該蓋帽之一材料區域，該材料區域在該第三方法步驟中轉換成一液態聚集體。
简体摘要：本发明提供一种用于制造一微机械组件之方法，该微机械组件具有一基板，且具有连接至该基板并且与该基板围封一第一空腔之一盖帽，一第一压力存在于该第一空腔中且具有一第一化学成分之一第一气体混合物围封于该第一空腔中，- 在一第一方法步骤中，在该基板或该盖帽中形成将该第一空腔连接至该微机械组件之一环境的一接取开口，- 在一第二方法步骤中，调整该第一空腔中之该第一压力及/或该第一化学成分，- 在一第三方法步骤中，借由一激光将能量或热引入至该基板或该盖帽之一吸收部分中来封闭该接取开口，其中- 在一第四方法步骤中，形成相对于该基板或该盖帽之背对该第一空腔之一表面升高且配置于该接取开口之区域中的一结构，以便提供该基板或该盖帽之一材料区域，该材料区域在该第三方法步骤中转换成一液态聚集体。

3. 发明专利

TW201546473A 感測器裝置，具有至少一磁鐵芯的感測器裝置的製造方法及求出沿至少一空間方向的磁場強度的方法审中-公开
简体标题：传感器设备，具有至少一磁铁芯的传感器设备的制造方法及求出沿至少一空间方向的磁场强度的方法
公开(公告)号：TW201546473A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104105806
申请日：2015-02-24
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：夏茲法蘭克 , SCHATZ, FRANK , 丹那柏格阿娜 , DANNENBERG, ARNE , 布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 帕塔克克里斯堤安 , PATAK, CHRISTIAN , 艾可史坦藍那 , ECKSTEIN, RAINER , 金科塞維奇 , GENCOL, SEVKI , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK
IPC分类号： G01R33/04
CPC分类号： G01R33/04 , G01R33/0011 , G01R33/0052
摘要：一種感測器裝置，其包含至少一佈置在至少一承載面(16)上的磁鐵芯(10)，該至少一磁鐵芯包括至少一軟磁材料(12)，以及，可針對該至少一磁鐵芯分別定義一與該承載面(16)垂直並將該磁鐵芯(10)劃分為具相同質量的兩半的中心縱向平面(18)，其中，以設於該至少一磁鐵芯(10)上、將其環繞及/或與其鄰接之方式佈置有至少一線圈，其中，該至少一磁鐵芯(10)之內部具有若干分區，其用於對該磁鐵芯(10)之再磁化的啟動進行針對性局部控制，具體方式為，待施加的用於磁疇壁遷移的驅動能有所增大。本發明亦有關於一種針對具有至少一磁鐵芯(10)的感測器裝置的製造方法。此外還關於一種求出沿至少一空間方向的磁場強度的方法。
简体摘要：一种传感器设备，其包含至少一布置在至少一承载面(16)上的磁铁芯(10)，该至少一磁铁芯包括至少一软磁材料(12)，以及，可针对该至少一磁铁芯分别定义一与该承载面(16)垂直并将该磁铁芯(10)划分为具相同质量的两半的中心纵向平面(18)，其中，以设于该至少一磁铁芯(10)上、将其环绕及/或与其邻接之方式布置有至少一线圈，其中，该至少一磁铁芯(10)之内部具有若干分区，其用于对该磁铁芯(10)之再磁化的启动进行针对性局部控制，具体方式为，待施加的用于磁畴壁迁移的驱动能有所增大。本发明亦有关于一种针对具有至少一磁铁芯(10)的传感器设备的制造方法。此外还关于一种求出沿至少一空间方向的磁场强度的方法。

4. 发明专利

TWI652493B 感測器裝置，具有至少一磁鐵芯的感測器裝置的製造方法及求出沿至少一空間方向的磁場強度的方法有权
简体标题：传感器设备，具有至少一磁铁芯的传感器设备的制造方法及求出沿至少一空间方向的磁场强度的方法
公开(公告)号：TWI652493B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：TW104105806
申请日：2015-02-24
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：夏茲法蘭克 , SCHATZ, FRANK , 丹那柏格阿娜 , DANNENBERG, ARNE , 布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 帕塔克克里斯堤安 , PATAK, CHRISTIAN , 艾可史坦藍那 , ECKSTEIN, RAINER , 金科塞維奇 , GENCOL, SEVKI , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK
IPC分类号： G01R33/04

5. 发明专利

TW201731760A 具有擴散停止通道的微機械構件审中-公开
简体标题：具有扩散停止信道的微机械构件
公开(公告)号：TW201731760A
公开(公告)日：2017-09-16
申请号：TW106101099
申请日：2017-01-13
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0041 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81B2207/056 , B81B2207/09 , B81C1/00293 , B81C2203/0109 , B81C2203/0118 , B81C2203/0145 , B81C2203/019 , B81C2203/035
摘要：本發明提出一種用於產生具有一基板且具有一蓋之一微機械組件之方法，該蓋連接至該基板且與該基板圍封一第一腔體，存在一第一壓力且具有一第一化學成分之一第一氣體混合物被圍封於該第一腔體中，其中該蓋與該基板圍封一第二腔體，存在一第二壓力且具有一第二化學成分之一第二氣體混合物被圍封於該第二腔體中，其中在一第一方法步驟中，將該第一腔體連接至該微機械組件之一周圍空間之一接取開口係形成於該基板或該蓋中，其中在一第二方法步驟中，該第一壓力及/或該第一化學成分設定於該第一腔體中，其中在一第三方法步驟中，藉由一雷射的輔助將能量或熱引入至該基板或該蓋之一吸收性部分中而封閉該接取開口，其中在一第四方法步驟中，形成經配置實質上介於該第一腔體與該第二腔體之間且意欲用於排出至少該第一氣體混合物之一第一類型之粒子及/或排出至少該第二氣體混合物之一第二類型之粒子的一凹部。
简体摘要：本发明提出一种用于产生具有一基板且具有一盖之一微机械组件之方法，该盖连接至该基板且与该基板围封一第一腔体，存在一第一压力且具有一第一化学成分之一第一气体混合物被围封于该第一腔体中，其中该盖与该基板围封一第二腔体，存在一第二压力且具有一第二化学成分之一第二气体混合物被围封于该第二腔体中，其中在一第一方法步骤中，将该第一腔体连接至该微机械组件之一周围空间之一接取开口系形成于该基板或该盖中，其中在一第二方法步骤中，该第一压力及/或该第一化学成分设置于该第一腔体中，其中在一第三方法步骤中，借由一激光的辅助将能量或热引入至该基板或该盖之一吸收性部分中而封闭该接取开口，其中在一第四方法步骤中，形成经配置实质上介于该第一腔体与该第二腔体之间且意欲用于排出至少该第一气体混合物之一第一类型之粒子及/或排出至少该第二气体混合物之一第二类型之粒子的一凹部。

6. 发明专利

TW201730094A 製造微機械裝置的方法审中-公开
简体标题：制造微机械设备的方法
公开(公告)号：TW201730094A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106101097
申请日：2017-01-13
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81C1/00 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/08
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C2201/0177 , B81C2203/0145
摘要：茲提出一種用於製造微機械裝置方法，該微機械裝置具有基板並且具有蓋體，該蓋體被連接到該基板並且與該基板封住第一空腔，第一壓力存在於該第一空腔中，且具有第一化學組成的第一氣體混合物被封入於第一空腔中，其中在第一方法步驟中，進出開口形成於該基板或該蓋體中，進出開口係將該第一空腔連接到微機械裝置的周圍空間，其中在第二方法步驟中，該第一壓力及/或該第一化學組成設置在該第一空腔，其中在第三方法步驟中，藉由雷射的輔助而引入能量或熱量到該基板或該蓋體的吸收部分以密封該進出開口，其中在第四方法步驟中，將第一結晶層或第一非晶層或第一奈米結晶層或第一多晶層沉積或生長在該基板或蓋體的表面，其中在第五方法步驟中，用於接收該第一結晶層或該第一非晶層或該第一奈米結晶層或該第一多晶層之凹部係被引入到該基板或到該蓋體內。
简体摘要：兹提出一种用于制造微机械设备方法，该微机械设备具有基板并且具有盖体，该盖体被连接到该基板并且与该基板封住第一空腔，第一压力存在于该第一空腔中，且具有第一化学组成的第一气体混合物被封入于第一空腔中，其中在第一方法步骤中，进出开口形成于该基板或该盖体中，进出开口系将该第一空腔连接到微机械设备的周围空间，其中在第二方法步骤中，该第一压力及/或该第一化学组成设置在该第一空腔，其中在第三方法步骤中，借由激光的辅助而引入能量或热量到该基板或该盖体的吸收部分以密封该进出开口，其中在第四方法步骤中，将第一结晶层或第一非晶层或第一奈米结晶层或第一多晶层沉积或生长在该基板或盖体的表面，其中在第五方法步骤中，用于接收该第一结晶层或该第一非晶层或该第一奈米结晶层或该第一多晶层之凹部系被引入到该基板或到该盖体内。

7. 发明专利

TWI690479B 用於避免雷射再密封構造突出晶圓表面外的構造與程序有权
简体标题：用于避免激光再密封构造突出晶圆表面外的构造与进程
公开(公告)号：TWI690479B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW105134279
申请日：2016-10-24
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 福雷顏斯 , FREY, JENS , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00

8. 发明专利

TW201726538A 用於避免雷射再密封構造突出晶圓表面外的構造與程序审中-公开
简体标题：用于避免激光再密封构造突出晶圆表面外的构造与进程
公开(公告)号：TW201726538A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105134279
申请日：2016-10-24
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 福雷顏斯 , FREY, JENS , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00293 , B81C1/00325 , B81C2201/013 , B81C2203/0145
摘要：一種製造微機械元件的方法，該微機械元件具有基板及與該基板連接且與該基板包圍第一空穴的罩蓋，其中在該第一空穴中存在第一壓力且包絡具有第一化學組成的第一氣體混合物，其中- 在第一處理步驟中，在該基板中或該罩蓋中構建將該第一空穴與該微機械元件之周圍環境連接在一起的第一入口，其中- 在第二處理步驟中，調節該第一空穴中的該第一壓力及/或該第一化學組成，其中- 在第三處理步驟中，透過用雷射將能量或熱量輸入該基板或該罩蓋之吸收部分來將該入口封閉，其中- 在第四處理步驟中，在該基板或該罩蓋之背離該第一空穴的表面內，在該入口之區域內構建凹槽，以便容置該基板或該罩蓋之在該第三處理步驟中轉化為液態聚集態的材料區域。
简体摘要：一种制造微机械组件的方法，该微机械组件具有基板及与该基板连接且与该基板包围第一空穴的罩盖，其中在该第一空穴中存在第一压力且包络具有第一化学组成的第一气体混合物，其中- 在第一处理步骤中，在该基板中或该罩盖中构建将该第一空穴与该微机械组件之周围环境连接在一起的第一入口，其中- 在第二处理步骤中，调节该第一空穴中的该第一压力及/或该第一化学组成，其中- 在第三处理步骤中，透过用激光将能量或热量输入该基板或该罩盖之吸收部分来将该入口封闭，其中- 在第四处理步骤中，在该基板或该罩盖之背离该第一空穴的表面内，在该入口之区域内构建凹槽，以便容置该基板或该罩盖之在该第三处理步骤中转化为液态聚集态的材料区域。

9. 发明专利

TW201237447A 微磁場感測器，微磁場感測器裝置及微磁場檢出方法 MIKRO-MAGNETFELDSENSOR, MIKRO-MAGNETFELDSENSORVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN 审中-公开
简体标题：微磁场传感器，微磁场传感器设备及微磁场检出方法 MIKRO-MAGNETFELDSENSOR, MIKRO-MAGNETFELDSENSORVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN
公开(公告)号：TW201237447A
公开(公告)日：2012-09-16
申请号：TW100142473
申请日：2011-11-21
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司
发明人：萊賢巴哈法蘭克 , 夏茲法蘭克 , 法伯保羅 , 懷斯史堤方 , 帕塔克克里斯堤安 , 尼蒙其斐德列克尼坎
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R33/0005 , G01R33/0206
摘要：一種微磁場感測器，用於將一磁場作三維式的檢出，包含至少三個感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)，各用於測量該磁場的至少一方向，其中至少二個感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設在一第一平面中，且其中至少一第三感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設在一第二平面中，第二平面與第一平面垂直，且其中至少有一感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設成對一第三平面成一銳角(100)或一鈍角(101)，該第三平面對第一及第二平面成垂直。此外關於，一種微磁場感測器裝置，用於將一磁場作三維式的檢出，包含：至少一個依申請專利範圍第1～第5項至少一項的微磁場感測器，以及分析手段(4)，該分析手段與至少一分析感測器配合，以將該至少一微機械式感測器的測量信號分析。此外還包含，一種將一磁場作三維式檢出的方法，包含以下步驟：(S1)：利用各至少一感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)檢出一磁場的各至少一方向，其中至少二個感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設在一第一平面中，且其中至少第三感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設在一第二平面中，該第二平面垂直於第一平面，其中至少一感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)設成對一第三平面成一銳角或鈍度(100)(101)，該第三平面垂直於該第一及第二平面設置；(S2)：將所檢出之磁場方向呈測量之感測器元件(1a)(1b)(1c)(1d)的測量資料形式送到至少一分析手段(4)；及(S3)：利用該分析手段將測量資料分析，以將磁場作三維式檢出。(圖2a)
简体摘要：一种微磁场传感器，用于将一磁场作三维式的检出，包含至少三个传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)，各用于测量该磁场的至少一方向，其中至少二个传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设在一第一平面中，且其中至少一第三传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设在一第二平面中，第二平面与第一平面垂直，且其中至少有一传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设成对一第三平面成一锐角(100)或一钝角(101)，该第三平面对第一及第二平面成垂直。此外关于，一种微磁场传感器设备，用于将一磁场作三维式的检出，包含：至少一个依申请专利范围第1～第5项至少一项的微磁场传感器，以及分析手段(4)，该分析手段与至少一分析传感器配合，以将该至少一微机械式传感器的测量信号分析。此外还包含，一种将一磁场作三维式检出的方法，包含以下步骤：(S1)：利用各至少一传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)检出一磁场的各至少一方向，其中至少二个传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设在一第一平面中，且其中至少第三传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设在一第二平面中，该第二平面垂直于第一平面，其中至少一传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)设成对一第三平面成一锐角或钝度(100)(101)，该第三平面垂直于该第一及第二平面设置；(S2)：将所检出之磁场方向呈测量之传感器组件(1a)(1b)(1c)(1d)的测量数据形式送到至少一分析手段(4)；及(S3)：利用该分析手段将测量数据分析，以将磁场作三维式检出。(图2a)

10. 发明专利

TWI688542B 具有局部定界的雷射再封閉有权
简体标题：具有局部定界的激光再封闭
公开(公告)号：TWI688542B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW105140183
申请日：2016-12-06
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：布萊林阿奇美 , BREITLING, ACHIM , 萊賢巴哈法蘭克 , REICHENBACH, FRANK , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 雅木托尤莉亞 , AMTHOR, JULIA
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/02 , H01L29/84

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式