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    • 6. 发明专利
    • 半導體結構及其製造方法
    • 半导体结构及其制造方法
    • TW201633399A
    • 2016-09-16
    • TW104107213
    • 2015-03-06
    • 精材科技股份有限公司XINTEC INC.
    • 孫唯倫SUEN, WEILUEN簡瑋銘CHIEN, WEIMING李柏漢LEE, POHAN劉滄宇LIU, TSANGYU何彥仕HO, YENSHIH
    • H01L21/31H01L21/311H01L29/02
    • 一種半導體結構包含矽基板、保護層、焊墊、絕緣層、佈線層、導電層、阻隔層與導電結構。矽基板具有鏤空區、階梯結構、尖角結構與相對的第一表面與第二表面。階梯結構與尖角結構環繞鏤空區。階梯結構具有朝向鏤空區且依續連接的第一斜面、第三表面與第二斜面。保護層位於矽基板的第一表面上。焊墊位於保護層中,且從鏤空區裸露。絕緣層位於階梯結構的第一斜面、第三表面、第二斜面與第二表面上及尖角結構上。佈線層位於絕緣層上與焊墊上。導電層位於佈線層上。阻隔層覆蓋階梯結構與尖角結構。導電結構位於阻隔層之開口中的導電層上。
    • 一种半导体结构包含硅基板、保护层、焊垫、绝缘层、布线层、导电层、阻隔层与导电结构。硅基板具有镂空区、阶梯结构、尖角结构与相对的第一表面与第二表面。阶梯结构与尖角结构环绕镂空区。阶梯结构具有朝向镂空区且依续连接的第一斜面、第三表面与第二斜面。保护层位于硅基板的第一表面上。焊垫位于保护层中,且从镂空区裸露。绝缘层位于阶梯结构的第一斜面、第三表面、第二斜面与第二表面上及尖角结构上。布线层位于绝缘层上与焊垫上。导电层位于布线层上。阻隔层覆盖阶梯结构与尖角结构。导电结构位于阻隔层之开口中的导电层上。