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    • 7. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW326564B
    • 1998-02-11
    • TW085109532
    • 1996-08-06
    • 精工愛普生股份有限公司
    • 佐藤久克
    • H01L
    • H01L2224/05H01L2224/48463
    • 本發明之目的在於提供一種能夠高密度地配置接合墊等之外部連接端子的連接領域,且具有高信賴性的半導體裝置及其製造方法。
      在下層電極110與上層電極100之間,在層間絕緣膜130的中央形成通孔,而將層間連接用導電體埋入到該通孔內,此外,接合墊140之球狀部分,由平面來看,則如同完全覆蓋所埋入之導電體120般地被連接到上層電極100。
      根據本構造不會產生段差,且容易確保接合領域,又更容易多層化。又,經由接合線140所進入之水分所產生的惡劣影響則不會及於所埋入的金屬120。
    • 本发明之目的在于提供一种能够高密度地配置接合垫等之外部连接端子的连接领域,且具有高信赖性的半导体设备及其制造方法。 在下层电极110与上层电极100之间,在层间绝缘膜130的中央形成通孔,而将层间连接用导电体埋入到该通孔内,此外,接合垫140之球状部分,由平面来看,则如同完全覆盖所埋入之导电体120般地被连接到上层电极100。 根据本构造不会产生段差,且容易确保接合领域,又更容易多层化。又,经由接合线140所进入之水分所产生的恶劣影响则不会及于所埋入的金属120。