会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 8. 发明专利
    • 超調控制加熱方法
    • 超调控制加热方法
    • TW201430953A
    • 2014-08-01
    • TW102101700
    • 2013-01-16
    • 生陽新材料科技有限公司ADPV TECHNOLOGY LIMITED
    • 黃世壬HUANG, SHIEZEN, STEVEN賴文波廖科峰陳君健趙子銘任常寶孟良曾昭隆
    • H01L21/324
    • 一種超調控制加熱方法,包含有下列步驟:a)提供密閉之加熱腔體、加熱器以及控制加熱器溫度之溫度控制器,加熱器及受熱物設置於加熱腔體內,且加熱器及受熱物溫度回饋傳輸至溫度控制器;b)設定目標溫度、誤差容許值以及與目標溫度相差在誤差容許值內的有效溫度範圍;c)將加熱器溫度調升至高於有效溫度範圍上限之第一設定溫度;以及d)在受熱物溫度進入有效溫度範圍後,將加熱器溫度調降至第二設定溫度,且加熱器溫度持續高於受熱物溫度;藉此,該方法之加熱效率高、較為節能,並可達到快速加熱之製程條件,且能有效定義出受熱物持溫之時間。
    • 一种超调控制加热方法,包含有下列步骤:a)提供密闭之加热腔体、加热器以及控制加热器温度之温度控制器,加热器及受热物设置于加热腔体内,且加热器及受热物温度回馈传输至温度控制器;b)设置目标温度、误差容许值以及与目标温度相差在误差容许值内的有效温度范围;c)将加热器温度调升至高于有效温度范围上限之第一设置温度;以及d)在受热物温度进入有效温度范围后,将加热器温度调降至第二设置温度,且加热器温度持续高于受热物温度;借此,该方法之加热效率高、较为节能,并可达到快速加热之制程条件,且能有效定义出受热物持温之时间。