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    • 3. 发明专利
    • 積體電路可靠度測試方法
    • 集成电路可靠度测试方法
    • TW201346290A
    • 2013-11-16
    • TW101116024
    • 2012-05-04
    • 瑞鼎科技股份有限公司RAYDIUM SEMICONDUCTOR CORPORATION
    • 黃耀生HUANG, YAO SHENG謝其文HSIEH, CHI WEN
    • G01R31/28
    • 本發明提供一種積體電路可靠度測試方法,包含下列步驟:於晶圓基板形成複數個積體電路;將晶圓基板置入測試裝置,使複數個積體電路與測試裝置之測試電路耦接;提供測試條件給測試機台,測試條件包含常態操作溫度、壓力操作溫度、常態操作電壓、壓力操作電壓、活化能以及機台參數;使用測試機台以測試條件同時地對複數個積體電路進行測試,並持續測試時間;當複數個積體電路經過測試時間仍全部正確運作時,提供信心參數值;以及根據測試條件包含之各條件之數值以及信心參數值獲得積體電路預估壽命。
    • 本发明提供一种集成电路可靠度测试方法,包含下列步骤:于晶圆基板形成复数个集成电路;将晶圆基板置入测试设备,使复数个集成电路与测试设备之测试电路耦接;提供测试条件给测试机台,测试条件包含常态操作温度、压力操作温度、常态操作电压、压力操作电压、活化能以及机台参数;使用测试机台以测试条件同时地对复数个集成电路进行测试,并持续测试时间;当复数个集成电路经过测试时间仍全部正确运作时,提供信心参数值;以及根据测试条件包含之各条件之数值以及信心参数值获得集成电路预估寿命。
    • 8. 发明专利
    • 積體電路晶圓切割方法 INTEGRATED CIRCUIT WAFER DICING METHOD
    • 集成电路晶圆切割方法 INTEGRATED CIRCUIT WAFER DICING METHOD
    • TW201137960A
    • 2011-11-01
    • TW099112292
    • 2010-04-20
    • 瑞鼎科技股份有限公司
    • 黃耀生
    • H01L
    • H01L21/78
    • 本發明提供一種積體電路晶圓切割方法,包含以下步驟:於晶圓基板形成複數個積體電路;於積體電路上方形成圖案化保護層;以及使用圖案化保護層做為遮罩,蝕刻穿晶圓基板,以形成複數個積體電路晶粒。其中,圖案化保護層較佳係光阻。圖案化保護層之形成步驟包含:形成光阻層以覆蓋晶圓基板;使用光罩,對光阻層進行曝光;以及對光阻層進行顯影,以形成圖案化保護層。蝕刻步驟包含使用乾式或濕式蝕刻製程。
    • 本发明提供一种集成电路晶圆切割方法,包含以下步骤:于晶圆基板形成复数个集成电路;于集成电路上方形成图案化保护层;以及使用图案化保护层做为遮罩,蚀刻穿晶圆基板,以形成复数个集成电路晶粒。其中,图案化保护层较佳系光阻。图案化保护层之形成步骤包含:形成光阻层以覆盖晶圆基板;使用光罩,对光阻层进行曝光;以及对光阻层进行显影,以形成图案化保护层。蚀刻步骤包含使用干式或湿式蚀刻制程。
    • 10. 发明专利
    • 半導體電路 SEMICONDUCTOR CIRCUIT
    • 半导体电路 SEMICONDUCTOR CIRCUIT
    • TW201037814A
    • 2010-10-16
    • TW098111821
    • 2009-04-09
    • 瑞鼎科技股份有限公司
    • 黃耀生楊景榮
    • H01L
    • 本發明提出一種半導體電路。半導體電路包含基材、介電層、多晶矽層以及電壓源線。介電層設置於基材上。多晶矽層設置於介電層上。多晶矽層其具有第一摻雜區、第二摻雜區以及介於第一摻雜區與第二摻雜區之間的本質區。電壓源線通過多晶矽層上方。多晶矽層透過第一摻雜區、第二摻雜區以及本質區形成穩壓電容,穩壓電容用以對應穩定該電壓源線之通過電壓,進而提高半導體電路的穩定性。
    • 本发明提出一种半导体电路。半导体电路包含基材、介电层、多晶硅层以及电压源线。介电层设置于基材上。多晶硅层设置于介电层上。多晶硅层其具有第一掺杂区、第二掺杂区以及介于第一掺杂区与第二掺杂区之间的本质区。电压源线通过多晶硅层上方。多晶硅层透过第一掺杂区、第二掺杂区以及本质区形成稳压电容,稳压电容用以对应稳定该电压源线之通过电压,进而提高半导体电路的稳定性。