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2. 发明专利

TW313626B 照明裝置失效
简体标题：照明设备
公开(公告)号：TW313626B
公开(公告)日：1997-08-21
申请号：TW085103444
申请日：1996-03-22
申请人：琳得科公司
发明人：小林健治 , 黑川修二
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/8806
摘要：一種照明裝置１，有一凸透鏡11設置為致使其光軸相對於一觀測部份３a( 例如半導體基片或類似部份)之法線成一角度θ，而有一攝影機５設於反射光線之路徑上。一發光部份13設於沿透鏡11之光軸時，便發生亮場照明。如果轉動旋鈕29，發光部份13便沿一滾珠螺桿25移動，從而使照明自亮場照明改變為暗場照明。轉動旋鈕37時，如果發光部份13移動接近透鏡11，射出透鏡11之光將會發散，如果發光部份13自透鏡11移開，將會會聚，如果發光部份13位於透鏡11之焦點，則將2會平行。以此方式改變發光部份13之位置，可改變照明角度及照明角度分布，並且根據物體３之光學特徵調整發光部份13之位置，藉以可獲得高對比影像。也可使用致動器，微電腦或類似裝置，藉以自動完成此等調整。
简体摘要：一种照明设备１，有一凸透镜11设置为致使其光轴相对于一观测部份３a( 例如半导体基片或类似部份)之法线成一角度θ，而有一摄影机５设于反射光线之路径上。一发光部份13设于沿透镜11之光轴时，便发生亮场照明。如果转动旋钮29，发光部份13便沿一滚珠螺杆25移动，从而使照明自亮场照明改变为暗场照明。转动旋钮37时，如果发光部份13移动接近透镜11，射出透镜11之光将会发散，如果发光部份13自透镜11移开，将会会聚，如果发光部份13位于透镜11之焦点，则将2会平行。以此方式改变发光部份13之位置，可改变照明角度及照明角度分布，并且根据物体３之光学特征调整发光部份13之位置，借以可获得高对比影像。也可使用致动器，微电脑或类似设备，借以自动完成此等调整。

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