专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201833521A 進行時間解析干涉測量方法及裝置审中-公开
简体标题：进行时间解析干涉测量方法及设备
公开(公告)号：TW201833521A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW107108251
申请日：2018-03-12
申请人：柏林工業大學 , TECHNISCHE UNIVERSITAET BERLIN
发明人：雷曼麥克 , LEHMANN, MICHAEL , 尼爾曼朵爾 , NIERMANN, TORE , 華格內爾特歐迦 , WAGNER, TOLGA
IPC分类号： G01J9/02 , G01B9/025
摘要：本發明的實施例涉及一種進行時間解析干涉測量的方法，該方法包括下列步驟：生成至少兩個相干波，使該至少兩個相干波重疊並產生干涉圖樣，在給定曝光時間內測量干涉圖樣，由此形成測量干涉值，以及分析測量干涉值並且從測量干涉值中提取振幅和/或相位資訊。在曝光時間的至少一個時間段（以下稱為受干擾時間段）中，干涉圖樣被有意干擾或破壞，使得對應的測量干涉值描述受干擾或受破壞的干涉圖樣。在曝光時間的至少一個其他時間段（以下稱為未受干擾時間段）中，干涉圖樣未受干擾或至少與受干擾時間段相比受到較少干擾，使得對應的測量干涉值描述未受干擾或干擾較少的干涉圖樣。在整個給定曝光時間期間被測量的測量干涉值被濾波，其中在至少一個受干擾時間段測量的這些干涉值被減少、抑制或丟棄。經濾波的干涉值被分析，並且振幅和/或相位資訊從經濾波的干涉值中被提取。
简体摘要：本发明的实施例涉及一种进行时间解析干涉测量的方法，该方法包括下列步骤：生成至少两个相干波，使该至少两个相干波重叠并产生干涉图样，在给定曝光时间内测量干涉图样，由此形成测量干涉值，以及分析测量干涉值并且从测量干涉值中提取振幅和/或相位信息。在曝光时间的至少一个时间段（以下称为受干扰时间段）中，干涉图样被有意干扰或破坏，使得对应的测量干涉值描述受干扰或受破坏的干涉图样。在曝光时间的至少一个其他时间段（以下称为未受干扰时间段）中，干涉图样未受干扰或至少与受干扰时间段相比受到较少干扰，使得对应的测量干涉值描述未受干扰或干扰较少的干涉图样。在整个给定曝光时间期间被测量的测量干涉值被滤波，其中在至少一个受干扰时间段测量的这些干涉值被减少、抑制或丢弃。经滤波的干涉值被分析，并且振幅和/或相位信息从经滤波的干涉值中被提取。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式