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1. 发明专利

TW201801230A 基板懸浮搬送裝置审中-公开
简体标题：基板悬浮搬送设备
公开(公告)号：TW201801230A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106108651
申请日：2017-03-16
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：濱川健史 , HAMAKAWA, KENJI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 森俊裕 , MORI, TOSHIHIRO , 岡本貫志 , OKAMOTO, KANJI , 伊藤俊文 , ITO, TOSHIFUMI
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B05C13/02
CPC分类号： B65G49/06 , B05C13/02 , G02F1/13 , H01L21/027 , H01L21/677
摘要：本發明提供一種基板懸浮搬送裝置，其可避免裝置構成之複雜化，不會引起成本上升，可使懸浮之基板容易地保持於固定高度。本發明之基板懸浮搬送裝置具備：懸浮平台，其使基板懸浮；基板保持單元，其保持由懸浮平台而懸浮之基板；及搬送驅動部，其於由基板保持單元保持有基板之狀態下，使基板保持單元移動，藉此使基板於搬送方向上移動；且基板保持單元具有吸附基板之複數個吸附部、及將該等所有的吸附部以排列於搬送方向之狀態安裝之保持框部，保持框部係經由升降部而設置於搬送驅動部，形成為藉由使升降部動作而使保持框部進行升降動作，從而使所有的吸附部相對於基板進行相接/分離動作。
简体摘要：本发明提供一种基板悬浮搬送设备，其可避免设备构成之复杂化，不会引起成本上升，可使悬浮之基板容易地保持于固定高度。本发明之基板悬浮搬送设备具备：悬浮平台，其使基板悬浮；基板保持单元，其保持由悬浮平台而悬浮之基板；及搬送驱动部，其于由基板保持单元保持有基板之状态下，使基板保持单元移动，借此使基板于搬送方向上移动；且基板保持单元具有吸附基板之复数个吸附部、及将该等所有的吸附部以排列于搬送方向之状态安装之保持框部，保持框部系经由升降部而设置于搬送驱动部，形成为借由使升降部动作而使保持框部进行升降动作，从而使所有的吸附部相对于基板进行相接/分离动作。

2. 发明专利

TW201533755A 透明導電膜之形成方法及薄膜加熱乾燥裝置审中-公开
简体标题：透明导电膜之形成方法及薄膜加热干燥设备
公开(公告)号：TW201533755A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW104101120
申请日：2015-01-13
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：內潟外茂夫 , UCHIKATA, TOMOO , 山下元氣 , YAMASHITA, GENKI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE
IPC分类号： H01B1/24 , H01B5/14 , H01B13/00
摘要：本發明提供一種於使用PEDOT/PSS形成透明導電膜之情形時可提高電導電性之透明導電膜之形成方法及透明導電膜(薄膜)乾燥裝置。本發明之透明導電膜之形成方法係藉由於腔室內對塗膜進行加熱乾燥處理而使上述塗膜乾燥，從而於被處理基材上形成透明導電膜者，該塗膜係藉由將使作為溶劑之水含有包含聚乙二氧基噻吩(PEDOT)與聚苯乙烯磺酸(PSS)之導電性高分子材料而成之塗佈材料塗佈於被處理基材上而形成，且上述加熱乾燥處理構成為如下：於進行於上述溶劑之沸點以上之乾燥溫度下保持、且於腔室內抑制上述塗膜之溶劑之蒸發之乾燥延遲處理之後，進行促進溶劑之蒸發之乾燥促進處理。
简体摘要：本发明提供一种于使用PEDOT/PSS形成透明导电膜之情形时可提高电导电性之透明导电膜之形成方法及透明导电膜(薄膜)干燥设备。本发明之透明导电膜之形成方法系借由于腔室内对涂膜进行加热干燥处理而使上述涂膜干燥，从而于被处理基材上形成透明导电膜者，该涂膜系借由将使作为溶剂之水含有包含聚乙二氧基噻吩(PEDOT)与聚苯乙烯磺酸(PSS)之导电性高分子材料而成之涂布材料涂布于被处理基材上而形成，且上述加热干燥处理构成为如下：于进行于上述溶剂之沸点以上之干燥温度下保持、且于腔室内抑制上述涂膜之溶剂之蒸发之干燥延迟处理之后，进行促进溶剂之蒸发之干燥促进处理。

3. 发明专利

TW201420472A 懸浮搬送熱處理裝置审中-公开
简体标题：悬浮搬送热处理设备
公开(公告)号：TW201420472A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102136836
申请日：2013-10-11
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：宮島勇也 , MIYAJIMA, YUYA , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE
IPC分类号： B65G54/00 , B65G51/02
摘要：本發明之目的在於提供一種可以短時間冷卻經加熱之基板之懸浮搬送熱處理裝置。本發明之懸浮搬送熱處理裝置1係排列複數個包含使基板超音波振動懸浮之振動板部、對振動板部賦予超音波振動之超音波產生部、及支持基板之端部且於與基板之懸浮方向垂直之方向上搬送基板之搬送部之懸浮搬送單元，各懸浮搬送單元一面依次使基板超音波振動懸浮一面將基板熱處理而搬送，且具有懸浮搬送單元具備加熱該懸浮搬送單元之振動板部之加熱器部之加熱區域2、與懸浮搬送單元不具備加熱器部之冷卻區域3。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种可以短时间冷却经加热之基板之悬浮搬送热处理设备。本发明之悬浮搬送热处理设备1系排列复数个包含使基板超音波振动悬浮之振动板部、对振动板部赋予超音波振动之超音波产生部、及支持基板之端部且于与基板之悬浮方向垂直之方向上搬送基板之搬送部之悬浮搬送单元，各悬浮搬送单元一面依次使基板超音波振动悬浮一面将基板热处理而搬送，且具有悬浮搬送单元具备加热该悬浮搬送单元之振动板部之加热器部之加热区域2、与悬浮搬送单元不具备加热器部之冷却区域3。

4. 发明专利

TW201636115A 塗布裝置及塗布方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW201636115A
公开(公告)日：2016-10-16
申请号：TW105106883
申请日：2016-03-07
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 池森一博 , IKEMORI, KAZUHIRO
IPC分类号： B05C5/02 , B05B7/04 , B05D1/26 , G03F7/16
摘要：本發明的課題在於不發生凝聚地將混合時容易凝聚的兩種類的液體予以混合，並塗布至基板以形成薄膜。本發明的解決手段為，塗布裝置1係具備有：配管7a，係供給塗布液a；配管7b，係供給塗布液b；混合裝置4，係混合來自配管7a及配管7b的各塗布液a及塗布液b；過濾裝置5，係過濾混合裝置4所產生的混合塗布液c；以及套接管3，係形成有細縫，該細縫係噴出經過混合及過濾的混合塗布液c；從細縫噴出混合塗布液c，藉此對基板W塗布混合塗布液c，而於基板W上形成薄膜。
简体摘要：本发明的课题在于不发生凝聚地将混合时容易凝聚的两种类的液体予以混合，并涂布至基板以形成薄膜。本发明的解决手段为，涂布设备1系具备有：配管7a，系供给涂布液a；配管7b，系供给涂布液b；混合设备4，系混合来自配管7a及配管7b的各涂布液a及涂布液b；过滤设备5，系过滤混合设备4所产生的混合涂布液c；以及套接管3，系形成有细缝，该细缝系喷出经过混合及过滤的混合涂布液c；从细缝喷出混合涂布液c，借此对基板W涂布混合涂布液c，而于基板W上形成薄膜。

5. 发明专利

TWI590367B 懸浮搬送熱處理裝置有权
简体标题：悬浮搬送热处理设备
公开(公告)号：TWI590367B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102136836
申请日：2013-10-11
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：宮島勇也 , MIYAJIMA, YUYA , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06

6. 发明专利

TW201708087A 基板懸浮搬送裝置审中-公开
简体标题：基板悬浮搬送设备
公开(公告)号：TW201708087A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105119622
申请日：2016-06-22
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：濱川健史 , HAMAKAWA, KENJI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 森俊裕 , MORI, TOSHIHIRO , 岡本貫志 , OKAMOTO, KANJI
IPC分类号： B65G51/02
摘要：本發明之課題在於提供一種即便是橫斷方向尺寸較大之寬幅基板亦可在高精度地維持平面度下進行搬送之基板懸浮搬送裝置。本發明之基板懸浮搬送裝置設為以下構成：其包含：懸浮平台部，其於搬送方向延伸，且使基板於基板懸浮面上懸浮；及基板保持部，其保持於基板懸浮面上懸浮之基板；且在藉由以保持於上述基板懸浮面上懸浮之狀態之基板之狀態使基板保持部沿著搬送方向移動，將基板以於基板懸浮面上懸浮之狀態進行搬送的基板懸浮搬送裝置中，於懸浮平台部與基板保持部之間包含：輔助懸浮支持部，其係於搬送較基準尺寸之基板於與搬送方向正交之橫斷方向尺寸更大之寬幅基板之情形時，使自基板懸浮面於橫斷方向超出之寬幅基板之超出區域懸浮。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种即便是横断方向尺寸较大之宽幅基板亦可在高精度地维持平面度下进行搬送之基板悬浮搬送设备。本发明之基板悬浮搬送设备设为以下构成：其包含：悬浮平台部，其于搬送方向延伸，且使基板于基板悬浮面上悬浮；及基板保持部，其保持于基板悬浮面上悬浮之基板；且在借由以保持于上述基板悬浮面上悬浮之状态之基板之状态使基板保持部沿着搬送方向移动，将基板以于基板悬浮面上悬浮之状态进行搬送的基板悬浮搬送设备中，于悬浮平台部与基板保持部之间包含：辅助悬浮支持部，其系于搬送较基准尺寸之基板于与搬送方向正交之横断方向尺寸更大之宽幅基板之情形时，使自基板悬浮面于横断方向超出之宽幅基板之超出区域悬浮。

7. 发明专利

TW201537129A 超音波振動加熱乾燥裝置审中-公开
简体标题：超音波振动加热干燥设备
公开(公告)号：TW201537129A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104101116
申请日：2015-01-13
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：山下元氣 , YAMASHITA, GENKI , 內潟外茂夫 , UCHIKATA, TOMOO , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE
IPC分类号： F26B5/02 , B05D3/12
摘要：本發明提供一種超音波振動加熱乾燥裝置，其可均勻地保持振動板部整體之溫度，從而可抑制於基板上之塗佈膜形成乾燥不均。該超音波振動加熱乾燥裝置包括：振動板部，其使基板超音波振動浮起；加熱器部，其對振動板部加熱；及支持構件，其穿過形成於加熱器部之支持貫通孔，並以振動板部與加熱器部對向之方式支持振動板部；且支持構件設為如下構成，即插通於支持貫通孔之部分之至少與支持貫通孔的內周面對向之部分，被較支持構件之放射率高之高放射率構件覆蓋。
简体摘要：本发明提供一种超音波振动加热干燥设备，其可均匀地保持振动板部整体之温度，从而可抑制于基板上之涂布膜形成干燥不均。该超音波振动加热干燥设备包括：振动板部，其使基板超音波振动浮起；加热器部，其对振动板部加热；及支持构件，其穿过形成于加热器部之支持贯通孔，并以振动板部与加热器部对向之方式支持振动板部；且支持构件设为如下构成，即插通于支持贯通孔之部分之至少与支持贯通孔的内周面对向之部分，被较支持构件之放射率高之高放射率构件覆盖。

8. 发明专利

TWI675788B 基板懸浮搬送裝置有权
简体标题：基板悬浮搬送设备
公开(公告)号：TWI675788B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：TW105119622
申请日：2016-06-22
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：濱川健史 , HAMAKAWA, KENJI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 森俊裕 , MORI, TOSHIHIRO , 岡本貫志 , OKAMOTO, KANJI
IPC分类号： B65G51/02

9. 发明专利

TW201638541A 加熱乾燥裝置审中-公开
简体标题：加热干燥设备
公开(公告)号：TW201638541A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：TW105106884
申请日：2016-03-07
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：濱川健史 , HAMAKAWA, KENJI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 岡本貫志 , OKAMOTO, KANJI
IPC分类号： F26B21/00 , F26B3/20
摘要：本發明提供一種加熱乾燥裝置，係能抑制附著於腔室部內壁的昇華物等混入至塗布膜，而能抑制腔室部的洗淨作業的頻率。加熱乾燥裝置係具備有：腔室部，係收容基板；加熱器部，係加熱形成於基板上的塗布膜；以及排氣部，係將腔室部內排氣；該加熱乾燥裝置係一邊使腔室部內排氣，一邊將載置於腔室部內的基板上的塗布膜加熱並使塗布膜乾燥；該加熱乾燥裝置係構成為於與被載置的基板相對向之對向壁設置有多孔質部，該多孔質部係於至少與基板整面相對向的區域中之多孔質部的表面形成空氣層。
简体摘要：本发明提供一种加热干燥设备，系能抑制附着于腔室部内壁的升华物等混入至涂布膜，而能抑制腔室部的洗净作业的频率。加热干燥设备系具备有：腔室部，系收容基板；加热器部，系加热形成于基板上的涂布膜；以及排气部，系将腔室部内排气；该加热干燥设备系一边使腔室部内排气，一边将载置于腔室部内的基板上的涂布膜加热并使涂布膜干燥；该加热干燥设备系构成为于与被载置的基板相对向之对向壁设置有多孔质部，该多孔质部系于至少与基板整面相对向的区域中之多孔质部的表面形成空气层。

10. 发明专利

TW201637725A 加熱乾燥裝置审中-公开
简体标题：加热干燥设备
公开(公告)号：TW201637725A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：TW105102387
申请日：2016-01-26
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：濱川健史 , HAMAKAWA, KENJI , 奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE , 岡本貫志 , OKAMOTO, KANJI
IPC分类号： B05C9/14 , B05D3/02 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要：本發明之目的在於提供一種加熱乾燥裝置，其對於搬送路徑上之基板亦可抑制於形成於基板上之塗佈膜產生乾燥痕而使其乾燥。本發明之加熱乾燥裝置採用如下構成：其係於一面使基板超音波振動浮起一面搬送基板之搬送裝置之搬送路徑上使基板加熱乾燥者，且包含：加熱部，其使基板上之塗佈膜加熱；腔室蓋部，其係藉由抵接於振動板而形成腔室部，且於腔室部內將基板保持於密封狀態；及排氣部，其將腔室部內排氣；且於腔室蓋部設置有頂板，該頂板係於腔室蓋部抵接於振動板之狀態下，接近於振動板上之基板且與基板整面對向，排氣部係藉由自排氣口將腔室部內排氣而將腔室部內形成為低減壓狀態，且同時藉由使加熱部加熱而使基板上之塗佈膜乾燥。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种加热干燥设备，其对于搬送路径上之基板亦可抑制于形成于基板上之涂布膜产生干燥痕而使其干燥。本发明之加热干燥设备采用如下构成：其系于一面使基板超音波振动浮起一面搬送基板之搬送设备之搬送路径上使基板加热干燥者，且包含：加热部，其使基板上之涂布膜加热；腔室盖部，其系借由抵接于振动板而形成腔室部，且于腔室部内将基板保持于密封状态；及排气部，其将腔室部内排气；且于腔室盖部设置有顶板，该顶板系于腔室盖部抵接于振动板之状态下，接近于振动板上之基板且与基板整面对向，排气部系借由自排气口将腔室部内排气而将腔室部内形成为低减压状态，且同时借由使加热部加热而使基板上之涂布膜干燥。

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