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    • 1. 发明专利
    • 晶片安裝裝置及其校準方法
    • 芯片安装设备及其校准方法
    • TW523843B
    • 2003-03-11
    • TW090122561
    • 2001-09-12
    • 東麗工程股份有限公司
    • 新井義之山內朗
    • H01L
    • H01L21/67294H01L21/67144H01L21/67248H01L21/67259H01L24/75
    • 本發明之晶片安裝裝置係具備:第1識別機構(3),係用來辨識可保持上方晶片之頭部(2)側之第1識別標記(5)者;第2識別機構(4),係用來辨識可保持下方基板之面(1)(stage)側之第2識別標記(6)者;第3識別機構(18),係當第1識別標記(5)在接近或接觸第2識別標記(6)之狀態時,用來同時辨識兩個識別標記(5)、(6)者;及溫度檢測機構(17),係安裝於第1識別機構(3)或第2識別機構(4)上者;當溫度檢測機構(17)檢測到超過公差之溫度變化時,其可根據前述識別標記之辨識結果加以校準者。本裝置可高精準且高效率地進行校準,而不受機械變形及環境氛圍之溫度變化之影響。
    • 本发明之芯片安装设备系具备:第1识别机构(3),系用来辨识可保持上方芯片之头部(2)侧之第1识别标记(5)者;第2识别机构(4),系用来辨识可保持下方基板之面(1)(stage)侧之第2识别标记(6)者;第3识别机构(18),系当第1识别标记(5)在接近或接触第2识别标记(6)之状态时,用来同时辨识两个识别标记(5)、(6)者;及温度检测机构(17),系安装于第1识别机构(3)或第2识别机构(4)上者;当温度检测机构(17)检测到超过公差之温度变化时,其可根据前述识别标记之辨识结果加以校准者。本设备可高精准且高效率地进行校准,而不受机械变形及环境氛围之温度变化之影响。
    • 2. 发明专利
    • 安裝方法及裝置
    • 安装方法及设备
    • TW497137B
    • 2002-08-01
    • TW090119874
    • 2001-08-14
    • 東麗工程股份有限公司須賀唯知
    • 須賀唯知山內朗新井義之井中千草
    • H01L
    • H01L21/67092Y10T156/10
    • 本發明之安裝方法及裝置,在將多個的被接合物彼此接合時,依序將第1被接合物、第2被接合物以及其保持機構、具有定位基準面的支撐構件彼此分開配置,在調整第2被接合物或其保持機構相對於支撐構件之定位基準面的平行度的同時,也調整第1被接合物或其保持機構相對於第2被接合物、或其保持機構的平行度,在讓第1被接合物接觸到第2被接合物,而將兩個被接合物作假接合後,則讓第2被接合物的保持機構接觸到支撐構件的定位基準面,而將兩個被接合物加壓而作真接合。根據本發明,最後可以以極高的精度達成信賴性高的接合狀態。
    • 本发明之安装方法及设备,在将多个的被接合物彼此接合时,依序将第1被接合物、第2被接合物以及其保持机构、具有定位基准面的支撑构件彼此分开配置,在调整第2被接合物或其保持机构相对于支撑构件之定位基准面的平行度的同时,也调整第1被接合物或其保持机构相对于第2被接合物、或其保持机构的平行度,在让第1被接合物接触到第2被接合物,而将两个被接合物作假接合后,则让第2被接合物的保持机构接触到支撑构件的定位基准面,而将两个被接合物加压而作真接合。根据本发明,最后可以以极高的精度达成信赖性高的接合状态。
    • 4. 发明专利
    • 安裝方法及安裝裝置
    • 安装方法及安装设备
    • TW201824355A
    • 2018-07-01
    • TW106128775
    • 2017-08-24
    • 日商東麗工程股份有限公司TORAY ENGINEERING CO., LTD.
    • 新井義之ARAI, YOSHIYUKI
    • H01L21/18H01L25/13
    • 本發明之課題在於將半導體晶片高精度地穩定安裝至電路基板。具體而言,本發明係一種安裝方法,其特徵在於:其係將第1面被保持於載體基板之切晶後之半導體晶片安裝至載置於載置台之電路基板者,且依序執行如下步驟:黏著片貼附步驟,其係將保持於上述載體基板之上述半導體晶片之與上述第1面為相反側之面即上述第2面貼附於黏著片;載體基板去除步驟,其係將上述載體基板自上述半導體晶片去除;黏著力降低步驟,其係使上述黏著片之黏著力降低;及安裝步驟,其係藉由頭保持上述半導體晶片之上述第1面側,而將上述半導體晶片自上述黏著片剝離,並將上述第2面側接合於上述電路基板,藉此將上述半導體晶片安裝至上述電路基板。
    • 本发明之课题在于将半导体芯片高精度地稳定安装至电路基板。具体而言,本发明系一种安装方法,其特征在于:其系将第1面被保持于载体基板之切晶后之半导体芯片安装至载置于载置台之电路基板者,且依序运行如下步骤:黏着片贴附步骤,其系将保持于上述载体基板之上述半导体芯片之与上述第1面为相反侧之面即上述第2面贴附于黏着片;载体基板去除步骤,其系将上述载体基板自上述半导体芯片去除;黏着力降低步骤,其系使上述黏着片之黏着力降低;及安装步骤,其系借由头保持上述半导体芯片之上述第1面侧,而将上述半导体芯片自上述黏着片剥离,并将上述第2面侧接合于上述电路基板,借此将上述半导体芯片安装至上述电路基板。