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    • 3. 发明专利
    • 用於一半導體封裝之基板製程、封裝方法、封裝結構及系統級封裝結構
    • 用于一半导体封装之基板制程、封装方法、封装结构及系统级封装结构
    • TW201332031A
    • 2013-08-01
    • TW101101871
    • 2012-01-18
    • 東琳精密股份有限公司DAWNING LEADING TECHNOLOGY INC.
    • 林殿方LIN, DIANN FANG
    • H01L21/60H01L21/56H01L23/488H01L23/31
    • H01L2224/48091H01L2924/19107H01L2924/00014
    • 本發明提供一種用於一半導體封裝之基板製程、封裝方法、封裝結構及系統級封裝結構。該封裝方法包含下列步驟:提供一金屬箔,該金屬箔包含一第一表面及一第二表面;分別形成一圖案化抗蝕層於該金屬箔之該第一表面及該第二表面上;形成至少一連接墊於各該圖案化抗蝕層上;壓合該金屬箔之該第二表面至一載板之一釋放層上;蝕刻該金屬箔以形成一圖案化金屬箔;設置至少一半導體元件於該圖案化金屬箔之該第一表面之該圖案化抗蝕層上;電性連接該至少一半導體元件至該第一表面之之該至少一連接墊;封裝該載板上之一空間;以及移除該載板。
    • 本发明提供一种用于一半导体封装之基板制程、封装方法、封装结构及系统级封装结构。该封装方法包含下列步骤:提供一金属箔,该金属箔包含一第一表面及一第二表面;分别形成一图案化抗蚀层于该金属箔之该第一表面及该第二表面上;形成至少一连接垫于各该图案化抗蚀层上;压合该金属箔之该第二表面至一载板之一释放层上;蚀刻该金属箔以形成一图案化金属箔;设置至少一半导体组件于该图案化金属箔之该第一表面之该图案化抗蚀层上;电性连接该至少一半导体组件至该第一表面之之该至少一连接垫;封装该载板上之一空间;以及移除该载板。