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    • 6. 发明专利
    • 玻璃基板之倒角方法及裝置
    • 玻璃基板之倒角方法及设备
    • TWI317667B
    • 2009-12-01
    • TW096105302
    • 2007-02-13
    • 旭硝子股份有限公司
    • 黑岩裕伊賀元一伊藤節郎深澤寧司渡邊滿
    • B23K
    • C03B29/08Y02P40/57
    • 本發明之目的在於提供一種可使玻璃基板之端面的彎曲強度及衝擊強度提升,以防止玻璃基板製程中的玻璃基板之破裂或缺陷,並且使生產性提升的新穎的玻璃基板之倒角方法及裝置。
      本發明之玻璃基板之倒角方法及裝置是利用雷射光線之倒角方法,其特徵為:對玻璃基板的端面照射雷射光線,同時以冷卻氣體對前述玻璃基板的雷射光線照射部進行送風。 【創作特點】 本發明是鑒於上述情況而研創者,其目的在於提供一種可使玻璃基板及顯示器用玻璃基板,尤其是平面顯示器用玻璃基板或是被用來作為遮光罩的玻璃基板之端面的彎曲強度及衝擊強度提升,以防止平面顯示器製程當中的玻璃基板之破裂或缺陷,並且使生產性提升的新穎的玻璃基板之倒角方法及裝置。
      為了達成前述目的,本發明提供一種玻璃基板之倒角方法,是利用雷射光線之照射的玻璃基板之倒角方法,其特徵為:對玻璃基板的端面照射至少一束雷射光線,同時以冷卻氣體對前述玻璃基板的雷射光線照射部進行送風。
      本發明當中,前述雷射光線的照射角度相對於前述玻璃基板之端面的垂直方向,於前述端面的長邊方向最好為70°以內,並且於板厚方向為70°以內。
      本發明當中,前述冷卻氣體的送風方向相對於前述玻璃基板之端面的垂直方向,於前述端面的長邊方向最好為70°以內,並且於板厚方向為45°以內。
      本發明當中,前述冷卻氣體的風速在雷射光線照射部最好為風速1m/秒~200m/秒。
      又,本發明當中,於前述玻璃基板之端面,以連結雷射光線照射部剖面之能量密度分布為最大的1/e 2 (e為自然對數之底。以下相同。)之部分的曲線所包圍的面之前述玻璃基板之端面的長邊方向的寬度為W(mm),前述雷射光線與前述玻璃基板的相對掃描速度為U(mm/s)時,則以W≦0.15×U+2為佳,又以0.02≦W≦0.15×U+2更佳。
      又,本發明當中,於前述玻璃基板之端面,以前述雷射光線照射部剖面之總瓦數/照射面積所定義的平均功率密度為P(W/mm 2 )時,則以(0.5×U+0.2)/0.7/(0.15×U+2)≦P≦(10×U+10)/0.005×U×0.7為佳,又以(4×U)/0.7/(0.15×U+2)≦P≦(10×U+10)/0.005×U×0.7更佳。
      又,本發明當中,在對前述玻璃基板的端面照射前述雷射光線之前,最好先預熱前述玻璃基板的端面。
      又,掃描前述雷射光線的速度相對於玻璃基板最好是0.1~200mm/秒。
      又,前述雷射光線的波長最好是3~11μm。
      又,前述雷射光線相對於玻璃基板最好是朝玻璃基板之端面的厚度方向收斂。
      本發明適合在連續性地供應熔融玻璃並利用漂浮法製造玻璃基板的生產線當中,連續性地進行玻璃基板之倒角的情況。
      又,本發明提供一種玻璃基板之倒角裝置,是進行一種照射雷射光束之前述記載的玻璃基板之倒角方法的玻璃基板之倒角裝置,其特徵為具備有:對玻璃的端面照射至少一束雷射光線的機構:以及以冷卻氣體對前述玻璃基板的雷射光線照射部進行送風的機構。
      根據本發明之方法及裝置,可提供一種玻璃基板及顯示器用玻璃基板,尤其是平面顯示器用玻璃基板或是被用來作為遮光罩之經過倒角處理的玻璃基板,以防止平面顯示器製程當中的玻璃基板之破裂或缺陷,使生產性提升。
    • 本发明之目的在于提供一种可使玻璃基板之端面的弯曲强度及冲击强度提升,以防止玻璃基板制程中的玻璃基板之破裂或缺陷,并且使生产性提升的新颖的玻璃基板之倒角方法及设备。 本发明之玻璃基板之倒角方法及设备是利用激光光线之倒角方法,其特征为:对玻璃基板的端面照射激光光线,同时以冷却气体对前述玻璃基板的激光光线照射部进行送风。 【创作特点】 本发明是鉴于上述情况而研创者,其目的在于提供一种可使玻璃基板及显示器用玻璃基板,尤其是平面显示器用玻璃基板或是被用来作为遮光罩的玻璃基板之端面的弯曲强度及冲击强度提升,以防止平面显示器制程当中的玻璃基板之破裂或缺陷,并且使生产性提升的新颖的玻璃基板之倒角方法及设备。 为了达成前述目的,本发明提供一种玻璃基板之倒角方法,是利用激光光线之照射的玻璃基板之倒角方法,其特征为:对玻璃基板的端面照射至少一束激光光线,同时以冷却气体对前述玻璃基板的激光光线照射部进行送风。 本发明当中,前述激光光线的照射角度相对于前述玻璃基板之端面的垂直方向,于前述端面的长边方向最好为70°以内,并且于板厚方向为70°以内。 本发明当中,前述冷却气体的送风方向相对于前述玻璃基板之端面的垂直方向,于前述端面的长边方向最好为70°以内,并且于板厚方向为45°以内。 本发明当中,前述冷却气体的风速在激光光线照射部最好为风速1m/秒~200m/秒。 又,本发明当中,于前述玻璃基板之端面,以链接激光光线照射部剖面之能量密度分布为最大的1/e 2 (e为自然对数之底。以下相同。)之部分的曲线所包围的面之前述玻璃基板之端面的长边方向的宽度为W(mm),前述激光光线与前述玻璃基板的相对扫描速度为U(mm/s)时,则以W≦0.15×U+2为佳,又以0.02≦W≦0.15×U+2更佳。 又,本发明当中,于前述玻璃基板之端面,以前述激光光线照射部剖面之总瓦数/照射面积所定义的平均功率密度为P(W/mm 2 )时,则以(0.5×U+0.2)/0.7/(0.15×U+2)≦P≦(10×U+10)/0.005×U×0.7为佳,又以(4×U)/0.7/(0.15×U+2)≦P≦(10×U+10)/0.005×U×0.7更佳。 又,本发明当中,在对前述玻璃基板的端面照射前述激光光线之前,最好先预热前述玻璃基板的端面。 又,扫描前述激光光线的速度相对于玻璃基板最好是0.1~200mm/秒。 又,前述激光光线的波长最好是3~11μm。 又,前述激光光线相对于玻璃基板最好是朝玻璃基板之端面的厚度方向收敛。 本发明适合在连续性地供应熔融玻璃并利用漂浮法制造玻璃基板的生产线当中,连续性地进行玻璃基板之倒角的情况。 又,本发明提供一种玻璃基板之倒角设备,是进行一种照射激光光束之前述记载的玻璃基板之倒角方法的玻璃基板之倒角设备,其特征为具备有:对玻璃的端面照射至少一束激光光线的机构:以及以冷却气体对前述玻璃基板的激光光线照射部进行送风的机构。 根据本发明之方法及设备,可提供一种玻璃基板及显示器用玻璃基板,尤其是平面显示器用玻璃基板或是被用来作为遮光罩之经过倒角处理的玻璃基板,以防止平面显示器制程当中的玻璃基板之破裂或缺陷,使生产性提升。
    • 8. 发明专利
    • 具有碳化矽被膜之半導體熱處理構件
    • 具有碳化硅被膜之半导体热处理构件
    • TW201101405A
    • 2011-01-01
    • TW099112855
    • 2010-04-23
    • 旭硝子股份有限公司
    • 川口將德紙透洋一深澤寧司
    • H01L
    • C23C16/325C23C16/4404Y10T428/24355
    • 本發明係提供一種能使清洗步驟的頻度降低,而可明顯提升晶圓處理之生產能力的具有CVD-SiC被膜之半導體熱處理構件。本發明所提供的半導體熱處理構件,其特徵在於:具有SiC被膜如下,即,將利用雷射顯微鏡依400~600倍倍率觀測CVD-SiC被膜而獲得的截面輪廓之傅立葉頻譜,分別以0.01≦���≦0.02與0.05≦���≦0.2範圍進行積分的値,各自設為I1與I2後,製膜於半導體熱處理構件上的CVD-SiC被膜的表面性狀為I1達0.9以上的SiC被膜、以及表面性狀為I1在0.9以下,且I2達1.6以上的SiC被膜。
    • 本发明系提供一种能使清洗步骤的频度降低,而可明显提升晶圆处理之生产能力的具有CVD-SiC被膜之半导体热处理构件。本发明所提供的半导体热处理构件,其特征在于:具有SiC被膜如下,即,将利用激光显微镜依400~600倍倍率观测CVD-SiC被膜而获得的截面轮廓之傅里叶频谱,分别以0.01≦���≦0.02与0.05≦���≦0.2范围进行积分的値,各自设为I1与I2后,制膜于半导体热处理构件上的CVD-SiC被膜的表面性状为I1达0.9以上的SiC被膜、以及表面性状为I1在0.9以下,且I2达1.6以上的SiC被膜。