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1. 发明专利

TW201507539A 陶瓷加熱器及其製法审中-公开
简体标题：陶瓷加热器及其制法
公开(公告)号：TW201507539A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103108966
申请日：2014-03-13
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , NOBORI, KAZUHIRO , 木村拓二 , KIMURA, TAKUJI , 中川日出海 , NAKAGAWA, HIDEMI
IPC分类号： H05B3/10
CPC分类号： C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/606 , C04B2235/6567 , C04B2235/6581 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/595 , C04B2237/68 , H01L21/67103 , H01L21/6831 , H05B3/143
摘要：本發明之改善於陶瓷基材埋設加熱器電極的陶瓷加熱器的阻抗率溫度依存性的逆轉現象，進一步抑制電阻率的面內離散。本發明之靜電吸盤10包括：圓盤狀的氧化鋁陶瓷基材12；埋設於該氧化鋁陶瓷基材12之加熱器電極14及靜電電極16。氧化鋁陶瓷基材12的表面，係晶圓載置面12a。加熱器電極14，係配線於氧化鋁陶瓷基材12的全面，例如，以一筆劃的樣式形成圖案，施加電壓會發熱而將晶圓W加熱。該加熱器電極14，係以TiSi2為主成分者。
简体摘要：本发明之改善于陶瓷基材埋设加热器电极的陶瓷加热器的阻抗率温度依存性的逆转现象，进一步抑制电阻率的面内离散。本发明之静电吸盘10包括：圆盘状的氧化铝陶瓷基材12；埋设于该氧化铝陶瓷基材12之加热器电极14及静电电极16。氧化铝陶瓷基材12的表面，系晶圆载置面12a。加热器电极14，系配线于氧化铝陶瓷基材12的全面，例如，以一笔划的样式形成图案，施加电压会发热而将晶圆W加热。该加热器电极14，系以TiSi2为主成分者。

2. 发明专利

TWI575634B 陶瓷加熱器、加熱器電極以及陶瓷加熱器之製法有权
简体标题：陶瓷加热器、加热器电极以及陶瓷加热器之制法
公开(公告)号：TWI575634B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW102110606
申请日：2013-03-26
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , 木村拓二 , 渡辺玲雄
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/6831

3. 发明专利

TW201411757A 陶瓷加熱器、加熱器電極以及陶瓷加熱器之製法审中-公开
简体标题：陶瓷加热器、加热器电极以及陶瓷加热器之制法
公开(公告)号：TW201411757A
公开(公告)日：2014-03-16
申请号：TW102110606
申请日：2013-03-26
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , 木村拓二 , 渡辺玲雄
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/6831
摘要：【課題】改善在氧化鋁陶瓷基材中埋設加熱器電極之陶瓷加熱器中，電阻溫度依存性之逆轉現象。【解決手段】靜電夾盤10，係包括圓盤狀的氧化鋁陶瓷基材12，與埋設於此氧化鋁陶瓷基材12之加熱器電極14及靜電電極16。氧化鋁陶瓷基材12之上面係成為晶圓載置面12a。加熱器電極14，係使其如分布於氧化鋁陶瓷基材12之全面配置，例如以一筆畫的要領形成圖樣，施加電壓則發熱，來加熱晶圓W。此加熱器電極14，係在鉬中，分散鈦、鋁以及鎂之複合氧化物(Ti-Al-Mg-O)者。
简体摘要：【课题】改善在氧化铝陶瓷基材中埋设加热器电极之陶瓷加热器中，电阻温度依存性之逆转现象。【解决手段】静电夹盘10，系包括圆盘状的氧化铝陶瓷基材12，与埋设于此氧化铝陶瓷基材12之加热器电极14及静电电极16。氧化铝陶瓷基材12之上面系成为晶圆载置面12a。加热器电极14，系使其如分布于氧化铝陶瓷基材12之全面配置，例如以一笔画的要领形成图样，施加电压则发热，来加热晶圆W。此加热器电极14，系在钼中，分散钛、铝以及镁之复合氧化物(Ti-Al-Mg-O)者。

4. 发明专利

TWI687391B 氧化鋁燒結體的製法及氧化鋁燒結體有权
简体标题：氧化铝烧结体的制法及氧化铝烧结体
公开(公告)号：TWI687391B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW105109380
申请日：2016-03-25
申请人：日商日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , NOBORI, KAZUHIRO , 木村拓二 , KIMURA, TAKUJI
IPC分类号： C04B35/10 , C04B35/624 , C04B35/645

5. 发明专利

TWI589177B 陶瓷加熱器及其製法有权
简体标题：陶瓷加热器及其制法
公开(公告)号：TWI589177B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW103108966
申请日：2014-03-13
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , NOBORI, KAZUHIRO , 木村拓二 , KIMURA, TAKUJI , 中川日出海 , NAKAGAWA, HIDEMI
IPC分类号： H05B3/10
CPC分类号： C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/606 , C04B2235/6567 , C04B2235/6581 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/343 , C04B2237/36 , C04B2237/595 , C04B2237/68 , H01L21/67103 , H01L21/6831 , H05B3/143

6. 发明专利

TW201706228A 氧化鋁燒結體的製法及氧化鋁燒結體审中-公开
简体标题：氧化铝烧结体的制法及氧化铝烧结体
公开(公告)号：TW201706228A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105109380
申请日：2016-03-25
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , NOBORI, KAZUHIRO , 木村拓二 , KIMURA, TAKUJI
IPC分类号： C04B35/10 , C04B35/624 , C04B35/645
CPC分类号： B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/62625 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/634 , C04B35/638 , C04B2103/408 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/784 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/343
摘要：本發明，係氧化鋁燒結體的製法，係包含：(a)將含有Al2O3粉末、MgO粉末、MgF2粉末、溶劑、分散劑及凝膠劑之懸浮液投入成形模中，藉由在前述成形模內使前述凝膠劑化學反應而使前述懸浮液凝膠化後而得到成形體之工程、(b)藉由使該成形體乾燥後脫脂更預燒結，得到預燒結體之工程、(c)藉由在1150~1350℃熱壓燒成前述預燒結體，得到陶瓷燒結體之工程。在前述工程(a)，關於調製前述懸浮液，做為Al2O3粉末，使用純度99.9質量%以上者，對於Al2O3粉末100質量分，使用0.1~0.2質量分之MgO粉末，0.13質量分以下之MgF2粉末。
简体摘要：本发明，系氧化铝烧结体的制法，系包含：(a)将含有Al2O3粉末、MgO粉末、MgF2粉末、溶剂、分散剂及凝胶剂之悬浮液投入成形模中，借由在前述成形模内使前述凝胶剂化学反应而使前述悬浮液凝胶化后而得到成形体之工程、(b)借由使该成形体干燥后脱脂更预烧结，得到预烧结体之工程、(c)借由在1150~1350℃热压烧成前述预烧结体，得到陶瓷烧结体之工程。在前述工程(a)，关于调制前述悬浮液，做为Al2O3粉末，使用纯度99.9质量%以上者，对于Al2O3粉末100质量分，使用0.1~0.2质量分之MgO粉末，0.13质量分以下之MgF2粉末。

7. 发明专利

TWI528493B 靜電夾頭之製法及靜電夾頭有权
简体标题：静电夹头之制法及静电夹头
公开(公告)号：TWI528493B
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW101110993
申请日：2012-03-29
申请人：日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
发明人：曻和宏 , 江口正人 , 木村拓二
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/581 , C04B35/6264 , C04B35/63456 , C04B35/63488 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3232 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/661 , C04B2235/784 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , C04B2235/9638 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L21/6833 , Y10T279/23

8. 发明专利

TWI335636B 靜電夾頭及其製造方法 ELECTROSTATIC CHUCK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 有权
简体标题：静电夹头及其制造方法 ELECTROSTATIC CHUCK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TWI335636B
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW096109493
申请日：2007-03-20
申请人：日本碍子股份有限公司
发明人：森豊 , 曻和宏
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C04B35/581 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3895 , C04B2235/6565 , C04B2235/78 , C04B2235/85 , H01L21/6833
摘要：【課題】
提供：在包括了釤－鋁氧化物相之陶瓷基體中設置了埋設電極之靜電夾頭，使電氣電阻率安定化，並高度兼顧吸著及脫著特性之靜電夾頭及其製造方法。
【解決手段】
靜電夾頭1係包括：由包括釤之氮化鋁燒結體所形成之基體3、埋設在該基體中包括鉬之電極17，在前述基體3之電極17到基體表面7之部分形成介電體層21，在吸著及載置被處理物之基板載置面上構成前述基板表面7，其特徵在於：前述電極17之附近之基體部分之釤－鋁氧化物相的含有率，設定為面積比率2.5%以下。
简体摘要：【课题】提供：在包括了钐－铝氧化物相之陶瓷基体中设置了埋设电极之静电夹头，使电气电阻率安定化，并高度兼顾吸着及脱着特性之静电夹头及其制造方法。【解决手段】静电夹头1系包括：由包括钐之氮化铝烧结体所形成之基体3、埋设在该基体中包括钼之电极17，在前述基体3之电极17到基体表面7之部分形成介电体层21，在吸着及载置被处理物之基板载置面上构成前述基板表面7，其特征在于：前述电极17之附近之基体部分之钐－铝氧化物相的含有率，设置为面积比率2.5%以下。

9. 发明专利

TW201243996A 靜電夾頭之製法及靜電夾頭审中-公开
简体标题：静电夹头之制法及静电夹头
公开(公告)号：TW201243996A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101110993
申请日：2012-03-29
申请人：日本碍子股份有限公司
发明人：曻和宏 , 江口正人 , 木村拓二
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/581 , C04B35/6264 , C04B35/63456 , C04B35/63488 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3232 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/661 , C04B2235/784 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , C04B2235/9638 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L21/6833 , Y10T279/23
摘要：本發明之靜電夾頭之製造方法,包括:(a)藉由於成型模中填入包含陶瓷粉、溶劑、分散劑與膠凝劑之陶瓷漿料,於上述成型模中使上述膠凝劑進行化學反應,使上述陶瓷漿料膠狀化後進行脫膜,以製作第1與第2陶瓷成型體之步驟;(b)藉由將上述第1與第2陶瓷成型體乾燥後進行脫脂,進而進行燒,以製作第1與第2陶瓷燒體之步驟;(c)假設上述第1陶瓷燒體將形成靜電夾頭之介電層的話,於上述第1或第2陶瓷燒體之一表面上印刷靜電電極用漿料,以作為靜電電極之步驟;以及(d)藉由將上述第1與第2陶瓷燒體重疊,以夾住上述靜電電極之狀態下,進行熱壓燒成,以製作陶瓷燒結體之步驟。
简体摘要：本发明之静电夹头之制造方法,包括:(a)借由于成型模中填入包含陶瓷粉、溶剂、分散剂与胶凝剂之陶瓷浆料,于上述成型模中使上述胶凝剂进行化学反应,使上述陶瓷浆料胶状化后进行脱膜,以制作第1与第2陶瓷成型体之步骤;(b)借由将上述第1与第2陶瓷成型体干燥后进行脱脂,进而进行烧,以制作第1与第2陶瓷烧体之步骤;(c)假设上述第1陶瓷烧体将形成静电夹头之介电层的话,于上述第1或第2陶瓷烧体之一表面上印刷静电电极用浆料,以作为静电电极之步骤;以及(d)借由将上述第1与第2陶瓷烧体重叠,以夹住上述静电电极之状态下,进行热压烧成,以制作陶瓷烧结体之步骤。

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