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    • 1. 发明专利
    • 氣體中微量不純物之分析裝置
    • 气体中微量不纯物之分析设备
    • TW424144B
    • 2001-03-01
    • TW088105578
    • 1999-04-08
    • 日本氧氣股份有限公司
    • 西名 明菊地 勉田中誠吉田秀俊君島 哲也
    • G01N
    • H01J49/0422G01N30/7206G01N33/0022G01N33/0032
    • 本發明之目的,在於提供一種將可有效測定各種高純度氣體中之ppb~低ppb水準之微量不純物之大氣壓離子化質量分析計與氣體色譜儀結合成為一體之結果,可以高效率測定各種高純度氣體中之各種微量不純物之氣中微量不純物之分析裝置者。本發明之裝置為具備有氣體色譜儀8,及大氣壓離子化質量分析計6,設有將試料氣體導入源所導入之試料氣體,直接導入於大氣壓離子化質量分析計6之系統10,以及藉前述氣體色譜儀8而導入於大氣壓離子化質量分析計6之系統14a,14b之同時,設有將試料氣體之流路,轉換成為前述兩系統中之任何一方用之流路轉換裝置11,13,15者。
    • 本发明之目的,在于提供一种将可有效测定各种高纯度气体中之ppb~低ppb水准之微量不纯物之大气压离子化质量分析计与气体色谱仪结合成为一体之结果,可以高效率测定各种高纯度气体中之各种微量不纯物之气中微量不纯物之分析设备者。本发明之设备为具备有气体色谱仪8,及大气压离子化质量分析计6,设有将试料气体导入源所导入之试料气体,直接导入于大气压离子化质量分析计6之系统10,以及藉前述气体色谱仪8而导入于大气压离子化质量分析计6之系统14a,14b之同时,设有将试料气体之流路,转换成为前述两系统中之任何一方用之流路转换设备11,13,15者。