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    • 4. 发明专利
    • 測定裝置及控制方法
    • 测定设备及控制方法
    • TW201625908A
    • 2016-07-16
    • TW104128621
    • 2015-08-31
    • 日本先鋒公司PIONEER CORPORATION日本先鋒自動化公司PIONEER FA CORPORATION
    • 望月學MOCHIZUKI, MANABU藤森昭一FUJIMORI, SHOICHI
    • G01J1/02G01J3/02
    • 提供一種可容易執行測量時之遮光部的位置調整之測定裝置。 測定裝置100具有支撐部1、導光部2、探針3、工作台4、遮光部6及彈簧7。於工作台4上相鄰接地載置有複數之LED晶片5。探針3係對複數之LED晶片5中的、測定對象晶片供給電力而使該測定對象晶片之LED52發光。於探針3對測定對象晶片供給電力之情況,遮光部6圍繞該測定對象晶片。支撐部1及導光部2係使遮光部6朝Z軸方向移動。彈簧7設於導光部2與遮光部6之間。並且,於探針3對測定對象晶片供給電力之前,支撐部1將遮光部6朝彈簧7收縮之方向壓入。
    • 提供一种可容易运行测量时之遮光部的位置调整之测定设备。 测定设备100具有支撑部1、导光部2、探针3、工作台4、遮光部6及弹簧7。于工作台4上相邻接地载置有复数之LED芯片5。探针3系对复数之LED芯片5中的、测定对象芯片供给电力而使该测定对象芯片之LED52发光。于探针3对测定对象芯片供给电力之情况,遮光部6围绕该测定对象芯片。支撑部1及导光部2系使遮光部6朝Z轴方向移动。弹簧7设于导光部2与遮光部6之间。并且,于探针3对测定对象芯片供给电力之前,支撑部1将遮光部6朝弹簧7收缩之方向压入。