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1. 发明专利

TW202007479A 研削裝置的原點位置設定機構以及原點位置設定方法审中-公开
简体标题：研削设备的原点位置设置机构以及原点位置设置方法
公开(公告)号：TW202007479A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126586
申请日：2019-07-26
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：木村泰一朗 , KIMURA, TAICHIRO , 原田成規 , HARADA, SHIGENORI , 山下真司 , YAMASHITA, SHINJI
IPC分类号： B24B47/22 , B24B49/10 , B24B7/00
摘要： [課題]不使用接觸感應器而高精確度地進行研削裝置的設置。[解決手段] 一種在研削裝置1設定磨石641之相對於卡盤台30的的原點位置之機構，；該研削裝置1具備：研削單元6，具備主軸60及使主軸60旋轉之馬達62，主軸60裝設有研削磨石641；及單元進給機構7，使研削單元6在垂直方向上移動，該機構9係具備：電流值檢測手段90，檢測馬達62的負載電流值；研削單元位置檢測手段91，檢測藉由單元進給機構7移動之研削單元6的位置；及控制手段92，根據從電流值檢測手段90及位置檢測手段91所得到的訊號設定原點位置，控制手段92係藉由單元進給機構7而使旋轉之磨石641垂直移動，並使磨石研削面與保持於卡盤台30之修整板B表面接觸，藉此，將在馬達負載電流值變成為閾值以上時的由位置檢測手段91所檢測出之位置減去修整板B厚度所得之位置，設定為原點位置。
简体摘要： [课题]不使用接触感应器而高精确度地进行研削设备的设置。[解决手段] 一种在研削设备1设置磨石641之相对于卡盘台30的的原点位置之机构，；该研削设备1具备：研削单元6，具备主轴60及使主轴60旋转之马达62，主轴60装设有研削磨石641；及单元进给机构7，使研削单元6在垂直方向上移动，该机构9系具备：电流值检测手段90，检测马达62的负载电流值；研削单元位置检测手段91，检测借由单元进给机构7移动之研削单元6的位置；及控制手段92，根据从电流值检测手段90及位置检测手段91所得到的信号设置原点位置，控制手段92系借由单元进给机构7而使旋转之磨石641垂直移动，并使磨石研削面与保持于卡盘台30之修整板B表面接触，借此，将在马达负载电流值变成为阈值以上时的由位置检测手段91所检测出之位置减去修整板B厚度所得之位置，设置为原点位置。

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