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    • 8. 发明专利
    • 半導體晶片之製造方法
    • 半导体芯片之制造方法
    • TW201501222A
    • 2015-01-01
    • TW103105230
    • 2014-02-18
    • 琳得科股份有限公司LINTEC CORPORATION
    • 米山裕之YONEYAMA, HIROYUKI市川功ICHIKAWA, ISAO若山洋司WAKAYAMA, YOJI阿久津高志AKUTSU, TAKASHI
    • H01L21/58
    • H01L2224/10
    • 提供可防止晶片以及接著薄膜之汙染,而可以簡便 的方法得到具有接著薄膜之半導體晶片之半導體晶片的製造方法。 本發明之半導體晶片之製造方法,包含:(a) 將黏晶用接著薄膜貼附於在表面形成了回路之半導體晶圓的回路面之工程;(b)層積黏晶用接著薄膜與表面保護薄片之工程;(c)研磨半導體晶圓的反面,將晶圓每個回路個片化,而得到分割後的一群的晶片之工程;(d)藉由將表面保護薄片擴張,將接著薄膜個片化成各晶片,而得到在回路面具有接著薄膜之晶片的工程;以及(e)從晶圓反面側照入雷射光,而在晶圓上形成將各回路區劃之改良領域層之工程,依照從(a)工程至(d)工程的順序進行,或是依照(b)工程、(a)工程、(c)工程、(d)工程的順序進行,在(c)工程之前進行(e)工程,而在(c)工程中以改質領域層為起點將晶圓每個回路個片化。
    • 提供可防止芯片以及接着薄膜之污染,而可以简便 的方法得到具有接着薄膜之半导体芯片之半导体芯片的制造方法。 本发明之半导体芯片之制造方法,包含:(a) 将黏晶用接着薄膜贴附于在表面形成了回路之半导体晶圆的回路面之工程;(b)层积黏晶用接着薄膜与表面保护薄片之工程;(c)研磨半导体晶圆的反面,将晶圆每个回路个片化,而得到分割后的一群的芯片之工程;(d)借由将表面保护薄片扩张,将接着薄膜个片化成各芯片,而得到在回路面具有接着薄膜之芯片的工程;以及(e)从晶圆反面侧照入激光光,而在晶圆上形成将各回路区划之改良领域层之工程,依照从(a)工程至(d)工程的顺序进行,或是依照(b)工程、(a)工程、(c)工程、(d)工程的顺序进行,在(c)工程之前进行(e)工程,而在(c)工程中以改质领域层为起点将晶圆每个回路个片化。