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1. 发明专利

TWI698289B 塗布裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI698289B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW107103182
申请日：2018-01-30
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 釜谷学 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05C5/02 , B05D1/26 , H01L21/31

2. 发明专利

TW201832832A 塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201832832A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW107103182
申请日：2018-01-30
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 釜谷学 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05C5/02 , B05D1/26 , H01L21/31
摘要：本發明提供一種塗布裝置，其係即便於因圍繞塗布裝置之溫度變化之影響導致塗布器與樑部以各不相同之變形量變形之情形時，亦可均一地形成塗布膜。本發明之塗布裝置具備供載置基板之載台、及對載置於上述載台之基板噴出塗布液之塗布單元，且藉由一面使上述基板與上述塗布單元相對地移動，一面自上述塗布單元噴出塗布液，而於基板上形成塗布膜；且設為如下構成，即，上述塗布單元具有：塗布器，其具有於一方向延伸之形狀且噴出塗布液；及樑部，其具有於一方向延伸之形狀且支持上述塗布器；上述塗布器與上述樑部分別相互沿著長度方向排列配置，且由容許其等在長度方向相對地位移之連結部所連結。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备，其系即便于因围绕涂布设备之温度变化之影响导致涂布器与梁部以各不相同之变形量变形之情形时，亦可均一地形成涂布膜。本发明之涂布设备具备供载置基板之载台、及对载置于上述载台之基板喷出涂布液之涂布单元，且借由一面使上述基板与上述涂布单元相对地移动，一面自上述涂布单元喷出涂布液，而于基板上形成涂布膜；且设为如下构成，即，上述涂布单元具有：涂布器，其具有于一方向延伸之形状且喷出涂布液；及梁部，其具有于一方向延伸之形状且支持上述涂布器；上述涂布器与上述梁部分别相互沿着长度方向排列配置，且由容许其等在长度方向相对地位移之链接部所链接。

3. 发明专利

TWI565526B 噴嘴清洗方法及塗佈裝置有权
简体标题：喷嘴清洗方法及涂布设备
公开(公告)号：TWI565526B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW101124833
申请日：2012-07-10
申请人：東麗股份有限公司 , TORAY INDUSTRIES, INC. , 東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO, LTD.
发明人：林田健兒 , HAYASHIDA, KENJI , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彥 , ITO, SADAHIKO , 釜谷學 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05B15/02 , B08B3/12

4. 发明专利

TW201325728A 噴嘴清洗方法及塗佈裝置审中-公开
简体标题：喷嘴清洗方法及涂布设备
公开(公告)号：TW201325728A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101124833
申请日：2012-07-10
申请人：東麗股份有限公司 , TORAY INDUSTRIES, INC. , 東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO, LTD.
发明人：林田健兒 , HAYASHIDA, KENJI , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彥 , ITO, SADAHIKO , 釜谷學 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05B15/02 , B08B3/12
摘要：本發明提供一種噴嘴清洗方法及塗佈裝置。於內部形成有在寬方向較長並於前端開口的狹縫7之噴嘴3中，可使以往振動波(由振動波所造成的空穴作用)的傳播不充足而殘留的固著物浮出，可在短時間內得到所求的清洗結果。使噴嘴前端9浸漬於清洗槽11內之帶有振動波的清洗液L中，使該清洗液L通過該狹縫7流入噴嘴內部。自此狀態中，使氣體遍及狹縫7的寬方向全長，通過狹縫7流入噴嘴內部。之後，使噴嘴前端9浸漬於清洗槽內11之帶有振動波的清洗液L中，使該清洗液L通過狹縫7流入噴嘴內部。
简体摘要：本发明提供一种喷嘴清洗方法及涂布设备。于内部形成有在宽方向较长并于前端开口的狭缝7之喷嘴3中，可使以往振动波(由振动波所造成的空穴作用)的传播不充足而残留的固着物浮出，可在短时间内得到所求的清洗结果。使喷嘴前端9浸渍于清洗槽11内之带有振动波的清洗液L中，使该清洗液L通过该狭缝7流入喷嘴内部。自此状态中，使气体遍及狭缝7的宽方向全长，通过狭缝7流入喷嘴内部。之后，使喷嘴前端9浸渍于清洗槽内11之带有振动波的清洗液L中，使该清洗液L通过狭缝7流入喷嘴内部。

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