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    • 4. 发明专利
    • 裝置的製造方法
    • 设备的制造方法
    • TW201907238A
    • 2019-02-16
    • TW107120372
    • 2018-06-13
    • 日商富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 児玉知啓KODAMA, TOMOHIRO大河原昂広OKAWARA, TAKAHIRO高桑英希TAKAKUWA, HIDEKI
    • G03F7/20G03F7/004B32B27/08
    • 本發明提供一種提高相對於目標光的靈敏度且能夠檢測降低雜訊之光之裝置的製造方法。裝置的製造方法包括:使用抗蝕劑組成物在支撐體上形成厚度為5 μm以上的抗蝕劑膜的圖案,接著,將抗蝕劑膜的圖案作為遮罩而對支撐體進行離子植入來製造受光元件之步驟;在受光元件的進行了離子植入之區域上的至少一部分,形成濾光器的畫素形成用組成物的層之步驟;對畫素形成用組成物的層照射波長為300 nm以下的光並以圖案狀進行曝光之步驟;及對曝光後的畫素形成用組成物的層進行顯影而形成畫素之步驟。
    • 本发明提供一种提高相对于目标光的灵敏度且能够检测降低噪声之光之设备的制造方法。设备的制造方法包括:使用抗蚀剂组成物在支撑体上形成厚度为5 μm以上的抗蚀剂膜的图案,接着,将抗蚀剂膜的图案作为遮罩而对支撑体进行离子植入来制造受光组件之步骤;在受光组件的进行了离子植入之区域上的至少一部分,形成滤光器的像素形成用组成物的层之步骤;对像素形成用组成物的层照射波长为300 nm以下的光并以图案状进行曝光之步骤;及对曝光后的像素形成用组成物的层进行显影而形成像素之步骤。
    • 8. 发明专利
    • 濾光器之製造方法
    • 滤光器之制造方法
    • TW201921158A
    • 2019-06-01
    • TW107133635
    • 2018-09-25
    • 日商富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 奈良裕樹NARA, YUKI大河原昂広OKAWARA, TAKAHIRO
    • G03F7/20
    • 本發明提供一種能夠在由隔壁劃分之區域內或與由隔壁劃分之區域對應之位置精度良好地形成矩形性良好的像素之濾光器之製造方法。該濾光器之製造方法包括:在具有隔壁且設置有由隔壁劃分之複數個區域之支撐體上塗佈包含色材及硬化性化合物且在總固體成分中含有10質量%以上的色材的著色感光性組成物來形成著色感光性組成物層之步驟;使用掃描式曝光機對著色感光性組成物層照射波長為300 nm以下的光而以圖案狀對著色感光性組成物層進行曝光之步驟;及顯影去除未曝光部的著色感光性組成物層,而在由隔壁劃分之區域內或與由隔壁劃分之區域對應之位置形成像素之步驟。
    • 本发明提供一种能够在由隔壁划分之区域内或与由隔壁划分之区域对应之位置精度良好地形成矩形性良好的像素之滤光器之制造方法。该滤光器之制造方法包括:在具有隔壁且设置有由隔壁划分之复数个区域之支撑体上涂布包含色材及硬化性化合物且在总固体成分中含有10质量%以上的色材的着色感光性组成物来形成着色感光性组成物层之步骤;使用扫描式曝光机对着色感光性组成物层照射波长为300 nm以下的光而以图案状对着色感光性组成物层进行曝光之步骤;及显影去除未曝光部的着色感光性组成物层,而在由隔壁划分之区域内或与由隔壁划分之区域对应之位置形成像素之步骤。