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    • 4. 发明专利
    • 接著膜、半導體晶圓加工用帶、半導體封裝及其製造方法
    • 接着膜、半导体晶圆加工用带、半导体封装及其制造方法
    • TW201903087A
    • 2019-01-16
    • TW107114701
    • 2018-04-30
    • 日商古河電氣工業股份有限公司FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD.
    • 切替徳之KIRIKAE, NORIYUKI佐野透SANO, TORU森田稔MORITA, MINORU
    • C09J7/10C09J163/00C09J11/04C08G59/62C08G59/68C09J11/06C09J7/30H01L21/52
    • 本發明係一種接著膜、半導體晶圓加工用帶、半導體封裝及其製造方法,該接著膜係由含有熱硬化性樹脂、熱塑性樹脂及導熱填料之接著劑層所構成者,且上述導熱填料之導熱率為12W/m.K以上且於上述接著劑層中之含量為30~50體積%,上述熱塑性樹脂含有至少一種苯氧基樹脂,且關於硬化後之接著劑層,由下述數學式(1)算出之可靠性係數S1為50~220(×10-6GPa),由下述數學式(2)算出之可靠性係數S2為10~120(×10-8GPa),導熱率為0.5W/m.K以上。 S1=(Tg-25[℃])×(CTEα1[ppm/K])×(儲存彈性模數E'[GPa]260℃下)…(1) S2=S1×(飽和吸水率WA[質量%])…(2) 於數學式(1)、(2)中,S1、S2、Tg、CTEα1、儲存彈性模數E'及飽和吸水率WA係針對硬化後之接著劑層者。Tg為玻璃轉移溫度,CTEα1為在該玻璃轉移溫度以下之線膨脹係數,儲存彈性模數E'為260℃下測得之值。另外,[ ]內表示單位。
    • 本发明系一种接着膜、半导体晶圆加工用带、半导体封装及其制造方法,该接着膜系由含有热硬化性树脂、热塑性树脂及导热填料之接着剂层所构成者,且上述导热填料之导热率为12W/m.K以上且于上述接着剂层中之含量为30~50体积%,上述热塑性树脂含有至少一种苯氧基树脂,且关于硬化后之接着剂层,由下述数学式(1)算出之可靠性系数S1为50~220(×10-6GPa),由下述数学式(2)算出之可靠性系数S2为10~120(×10-8GPa),导热率为0.5W/m.K以上。 S1=(Tg-25[℃])×(CTEα1[ppm/K])×(存储弹性模数E'[GPa]260℃下)…(1) S2=S1×(饱和吸水率WA[质量%])…(2) 于数学式(1)、(2)中,S1、S2、Tg、CTEα1、存储弹性模数E'及饱和吸水率WA系针对硬化后之接着剂层者。Tg为玻璃转移温度,CTEα1为在该玻璃转移温度以下之线膨胀系数,存储弹性模数E'为260℃下测得之值。另外,[ ]内表示单位。