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    • 7. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW201515230A
    • 2015-04-16
    • TW103130826
    • 2014-09-05
    • 半導體能源研究所股份有限公司SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
    • 小林由幸KOBAYASHI, YOSHIYUKI松林大介MATSUBAYASHI, DAISUKE
    • H01L29/78H01L29/40
    • H01L29/1033H01L29/1054H01L29/66969H01L29/785H01L29/7869H01L29/78696
    • 本發明的一個方式的目的之一是提供一種具有高場效移動率的電晶體。另外,本發明的一個方式的目的之一是提供一種電特性穩定的電晶體。另外,本發明的一個方式的目的之一是提供一種關閉時(非導通時)的電流小的電晶體。另外,本發明的一個方式的目的之一是提供一種包括該電晶體的半導體裝置。本發明的一個方式是一種半導體裝置,包括:半導體;具有與半導體的頂面接觸的區域及與半導體的側面接觸的區域的源極電極和汲極電極;具有與半導體接觸的區域的閘極絕緣膜;以及具有隔著閘極絕緣膜與半導體相對的區域的閘極電極,其中,半導體不與源極電極和汲極電極接觸的區域的通道寬度方向的長度短於半導體與源極電極和汲極電極接觸的區域的通道寬度方向的長度。
    • 本发明的一个方式的目的之一是提供一种具有高场效移动率的晶体管。另外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种电特性稳定的晶体管。另外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种关闭时(非导通时)的电流小的晶体管。另外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种包括该晶体管的半导体设备。本发明的一个方式是一种半导体设备,包括:半导体;具有与半导体的顶面接触的区域及与半导体的侧面接触的区域的源极电极和汲极电极;具有与半导体接触的区域的闸极绝缘膜;以及具有隔着闸极绝缘膜与半导体相对的区域的闸极电极,其中,半导体不与源极电极和汲极电极接触的区域的信道宽度方向的长度短于半导体与源极电极和汲极电极接触的区域的信道宽度方向的长度。