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    • 3. 发明专利
    • 低溫泵
    • 低温泵
    • TW201829915A
    • 2018-08-16
    • TW107101986
    • 2018-01-19
    • 日商住友重機械工業股份有限公司SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
    • □橋走TAKAHASHI, KAKERU
    • F04B37/08
    • 本發明可減少低溫低溫板的熱負載並且提高基於低溫低溫板之排氣速度。低溫泵(10)具備:冷凍機(16),其具備高溫冷卻台及低溫冷卻台;放射屏蔽件(30),其熱耦合於高溫冷卻台,且從低溫泵進氣口沿軸向延伸為筒狀;低溫低溫板部,熱耦合於低溫冷卻台且被放射屏蔽件(30)包圍,該低溫低溫板部具備包括最靠近低溫泵進氣口配置之頂部低溫板(60a)之沿軸向排列之複數個低溫板(60);及入口低溫板(32),熱耦合於高溫冷卻台,並且配置於低溫泵進氣口且形成頂部低溫板收容分區(74)。
    • 本发明可减少低温低温板的热负载并且提高基于低温低温板之排气速度。低温泵(10)具备:冷冻机(16),其具备高温冷却台及低温冷却台;放射屏蔽件(30),其热耦合于高温冷却台,且从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状;低温低温板部,热耦合于低温冷却台且被放射屏蔽件(30)包围,该低温低温板部具备包括最靠近低温泵进气口配置之顶部低温板(60a)之沿轴向排列之复数个低温板(60);及入口低温板(32),热耦合于高温冷却台,并且配置于低温泵进气口且形成顶部低温板收容分区(74)。