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    • 3. 发明专利
    • 半導體裝置及在膜層上形成系統級模組封裝之方法
    • 半导体设备及在膜层上形成系统级模块封装之方法
    • TW201903916A
    • 2019-01-16
    • TW107102626
    • 2018-01-25
    • 新加坡商星科金朋有限公司STATS CHIPPAC PTE. LTD.
    • 金五漢KIM, OHHAN金京煥KIM, KYUNGHWAN白蕓在BEAK, WOONJAE李勳擇LEE, HUNTEAK尹仁相YOON, INSANG
    • H01L21/56H01L21/683H01L23/552H01L23/58
    • 本發明提供一種有半導體晶粒或構件的半導體裝置,包含一整合式被動裝置(IPD),被設置在一可穿透膜層的貼附區上方,該半導體晶粒或構件的一部分被埋置在該可穿透膜層中。一導體層被形成在該貼附區裡面的該膜層的一部分上方以及該貼附區外面的該膜層的一部分上方。一囊封劑被沉積在該膜層、導體層、以及半導體晶粒或構件的上方。該導體層延伸在該囊封劑外面。一絕緣材料被設置在該半導體晶粒或構件下方。一屏蔽層被形成在該囊封劑上方。該屏蔽層被電連接至該導體層。該可穿透膜層被移除。被設置在該膜層上方且被該囊封劑與屏蔽層遮蓋的半導體晶粒或構件形成一沒有基板的系統級模組封裝。
    • 本发明提供一种有半导体晶粒或构件的半导体设备,包含一集成式被动设备(IPD),被设置在一可穿透膜层的贴附区上方,该半导体晶粒或构件的一部分被埋置在该可穿透膜层中。一导体层被形成在该贴附区里面的该膜层的一部分上方以及该贴附区外面的该膜层的一部分上方。一囊封剂被沉积在该膜层、导体层、以及半导体晶粒或构件的上方。该导体层延伸在该囊封剂外面。一绝缘材料被设置在该半导体晶粒或构件下方。一屏蔽层被形成在该囊封剂上方。该屏蔽层被电连接至该导体层。该可穿透膜层被移除。被设置在该膜层上方且被该囊封剂与屏蔽层遮盖的半导体晶粒或构件形成一没有基板的系统级模块封装。