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    • 4. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
    • 半导体设备及其制造方法 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
    • TW201212240A
    • 2012-03-16
    • TW100125687
    • 2011-07-20
    • 新力股份有限公司
    • 石井裕二指宿勇二田中秀樹葛西憲太郎
    • H01L
    • H01L27/0705H01L21/84H01L27/1207H01L29/78
    • 本發明揭示一種半導體裝置,其包含:一第一電晶體,其形成於一半導體基板上;及一第二電晶體,其形成於該半導體基板上,一絕緣薄膜插入於其間。該第一電晶體包含一第一體區域,其形成於該半導體基板之一表面上;及一第一源極區域及一第一汲極區域,該等經形成以將該第一體區域夾在中間;該第二電晶體包含一半導體層,其形成於該絕緣薄膜上;一第二體區域,其形成於該半導體層之一部分上;一第二源極區域及一第二汲極區域,該等經形成以將該半導體層中之該第二體區域夾在中間;一閘絕緣薄膜,其形成於該半導體層之該體區域上;及一閘電極,其形成於該閘絕緣薄膜上,且該第二汲極區域係設置於該第一體區域上。
    • 本发明揭示一种半导体设备,其包含:一第一晶体管,其形成于一半导体基板上;及一第二晶体管,其形成于该半导体基板上,一绝缘薄膜插入于其间。该第一晶体管包含一第一体区域,其形成于该半导体基板之一表面上;及一第一源极区域及一第一汲极区域,该等经形成以将该第一体区域夹在中间;该第二晶体管包含一半导体层,其形成于该绝缘薄膜上;一第二体区域,其形成于该半导体层之一部分上;一第二源极区域及一第二汲极区域,该等经形成以将该半导体层中之该第二体区域夹在中间;一闸绝缘薄膜,其形成于该半导体层之该体区域上;及一闸电极,其形成于该闸绝缘薄膜上,且该第二汲极区域系设置于该第一体区域上。