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    • 2. 发明专利
    • 回收高純度矽金屬的方法 A PROCESS FOR THE RECYCLING OF HIGH PURITY SILICON METAL
    • 回收高纯度硅金属的方法 A PROCESS FOR THE RECYCLING OF HIGH PURITY SILICON METAL
    • TW200900352A
    • 2009-01-01
    • TW097114591
    • 2008-04-22
    • 挪斯克 海德羅公司 NORSK HYDRO ASA
    • 柏 貝克 BAKKE, PER羅伯特 吉貝拉 GIBALA, ROBERT喬瑞德 瑪格雷 史瓦雷斯吐恩 SVALESTUEN, JORILD MARGRETE格利特 維多 歐伊 VIDDAL OI, GRETE
    • C01B
    • H01L31/1804C01B33/10726Y02E10/547Y02P70/521
    • 一種再使用來自太陽能電池晶圓或半導體裝置製造之高純度矽之剩餘物或其他殘餘矽(諸如,鋸屑或鋸縫)的方法,其特徵在於來自晶圓製造方法或半導體裝置之乾燥鋸縫、碎片及/或其他殘餘矽與冶金級矽一起用作產生四氯化矽SiCl4之直接氯化反應器(1)中的原料。未反應之鋸縫或其他自反應區逃逸而未反應之小微粒重複地回至反應器以進一步氯化而不考慮其尺寸。該方法中所包括之設備除反應器(1)外還包含:儲存暨混合裝置(2),其用於混合及儲存矽材料/鋸縫;回收裝置(3),其用於分離及回收自反應器之反應區逃逸且藉由反饋構件(9)回至反應器之反應區的含矽微粒;凝聚單元(10),其中自反應器之反應區及回收裝置逃逸之最小尺寸微粒被收集在含有液體SiCl4之漿料中;及混合單元(13),來自晶圓製造方法或半導體裝置之額外鋸縫、碎片及其他殘餘矽添加至其中且與已存在之SiCl4/Si漿料混合,該漿料隨後直接添加至反應器之反應區用於冷卻及溫度控制。
    • 一种再使用来自太阳能电池晶圆或半导体设备制造之高纯度硅之剩余物或其他残余硅(诸如,锯屑或锯缝)的方法,其特征在于来自晶圆制造方法或半导体设备之干燥锯缝、碎片及/或其他残余硅与冶金级硅一起用作产生四氯化硅SiCl4之直接氯化反应器(1)中的原料。未反应之锯缝或其他自反应区逃逸而未反应之小微粒重复地回至反应器以进一步氯化而不考虑其尺寸。该方法中所包括之设备除反应器(1)外还包含:存储暨混合设备(2),其用于混合及存储硅材料/锯缝;回收设备(3),其用于分离及回收自反应器之反应区逃逸且借由反馈构件(9)回至反应器之反应区的含硅微粒;凝聚单元(10),其中自反应器之反应区及回收设备逃逸之最小尺寸微粒被收集在含有液体SiCl4之浆料中;及混合单元(13),来自晶圆制造方法或半导体设备之额外锯缝、碎片及其他残余硅添加至其中且与已存在之SiCl4/Si浆料混合,该浆料随后直接添加至反应器之反应区用于冷却及温度控制。