专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI674168B 升降杆致動器、基板材支撐組件、及利用基板材支撐組件的方法有权
简体标题：升降杆致动器、基板材支撑组件、及利用基板材支撑组件的方法
公开(公告)号：TWI674168B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW105112165
申请日：2016-04-19
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：威沃斯麥克D , WILLWERTH, MICHAEL D. , 寇雷亞羅伯托西薩 , COTLEAR, ROBERTO CESAR
IPC分类号： B23Q1/25 , H01L21/683

2. 发明专利

TW201703918A 基板材升降杆致動器审中-公开
简体标题：基板材升降杆致动器
公开(公告)号：TW201703918A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105112165
申请日：2016-04-19
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：威沃斯麥克D , WILLWERTH, MICHAEL D. , 寇雷亞羅伯托西薩 , COTLEAR, ROBERTO CESAR
IPC分类号： B23Q1/25 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68742 , B66F3/25 , H01L21/6831
摘要：本文中描述的實施方案提供一種升降杆致動器。所述升降杆致動器具有外殼。所述外殼具有內部容積。軌道設置在所述內部容積中並耦接到所述外殼。中心軸至少部分設置在所述外殼的所述內部容積中。導向件可移動地耦接到所述軌道。至少一個內波紋管設置在所述內部容積中，所述內波紋管在所述中心軸與所述外殼之間形成密封。彈性構件設置在所述內部容積中，並配置用於施加使所述中心軸回縮到所述外殼中的力。入口埠被配置成引導流體在所述內波紋管與所述外殼之間進入所述內部容積。所述流體產生反作用於所述彈性構件以使所述中心軸相對於所述外殼伸展的力。
简体摘要：本文中描述的实施方案提供一种升降杆致动器。所述升降杆致动器具有外壳。所述外壳具有内部容积。轨道设置在所述内部容积中并耦接到所述外壳。中心轴至少部分设置在所述外壳的所述内部容积中。导向件可移动地耦接到所述轨道。至少一个内波纹管设置在所述内部容积中，所述内波纹管在所述中心轴与所述外壳之间形成密封。弹性构件设置在所述内部容积中，并配置用于施加使所述中心轴回缩到所述外壳中的力。入口端口被配置成引导流体在所述内波纹管与所述外壳之间进入所述内部容积。所述流体产生反作用于所述弹性构件以使所述中心轴相对于所述外壳伸展的力。

3. 实用新型

TWM539571U 基板材升降杆致動器有权
简体标题：基板材升降杆致动器
公开(公告)号：TWM539571U
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：TW105205493
申请日：2016-04-19
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：威沃斯麥克D , WILLWERTH, MICHAEL D. , 寇雷亞羅伯托西薩 , COTLEAR, ROBERTO CESAR
IPC分类号： F16D63/00 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/68742 , B66F3/25 , H01L21/6831

4. 发明专利

TW201521521A 應用具有可移除介面之介電導管組件之電漿產生源及相關組件及方法审中-公开
简体标题：应用具有可移除界面之介电导管组件之等离子产生源及相关组件及方法
公开(公告)号：TW201521521A
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW103139593
申请日：2014-11-14
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：吳兆騰 , NG, SIU TANG , 李昌憲 , LEE, CHANGHUN , 道慧奇 , DAO, HUUTRI , 寇雷亞羅伯托西薩 , COTLEAR, ROBERTO CESAR
IPC分类号： H05H1/24 , H01J37/32
CPC分类号： H05H1/46 , H05H2001/4652
摘要：具有可移除介面的採用介電質導管組件之電漿產生源及相關組件及方法被揭示。該電漿產生源(PGS)包含具有多個內部表面的封閉主體，該等內部表面形成內部腔室，該腔室具有輸入端及輸出端以分別接收用於產生電漿的前驅氣體及卸載該電漿。介電質管組件可導引該氣體及電漿遠離粒子可能被產生的該內部表面。該介電質導管組件包含第一及第二交叉導管區段。該介電質管組件進一步包含平行導管區段，該等平行導管區段從該第二交叉導管區段延伸至遠端，該等遠端不留下縫隙地且可移除地與該第一交叉導管區段的第一交叉導管介面對準。如此，該介電質導管組件簡易地服務，且減少並牽制粒子之產生遠離該輸出端。
简体摘要：具有可移除界面的采用介电质导管组件之等离子产生源及相关组件及方法被揭示。该等离子产生源(PGS)包含具有多个内部表面的封闭主体，该等内部表面形成内部腔室，该腔室具有输入端及输出端以分别接收用于产生等离子的前驱气体及卸载该等离子。介电质管组件可导引该气体及等离子远离粒子可能被产生的该内部表面。该介电质导管组件包含第一及第二交叉导管区段。该介电质管组件进一步包含平行导管区段，该等平行导管区段从该第二交叉导管区段延伸至远程，该等远程不留下缝隙地且可移除地与该第一交叉导管区段的第一交叉导管界面对准。如此，该介电质导管组件简易地服务，且减少并牵制粒子之产生远离该输出端。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式