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1. 实用新型

TWM448496U 晶體生長裝置有权
简体标题：晶体生长设备
公开(公告)号：TWM448496U
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW101217002
申请日：2012-09-04
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：于仁斌 , YU, JEN PIN , 張宸瑋 , CHANG, CHEN WEI , 謝佳穎 , HSIEH, CHIA YING
IPC分类号： C30B11/00
CPC分类号： C30B11/003

2. 发明专利

TWI438313B 用於監控晶體生長狀態的方法及探測系統與可以監控晶體生長狀態的設備有权
简体标题：用于监控晶体生长状态的方法及探测系统与可以监控晶体生长状态的设备
公开(公告)号：TWI438313B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：TW100146828
申请日：2011-12-16
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：謝佳穎 , HSIEH, CHIA YING , 張祁豪 , CHANG, CHI HAO , 扈醒華 , HU, HSIN HWA
IPC分类号： C30B35/00
CPC分类号： C30B11/003 , C30B11/006 , C30B28/06 , C30B29/06 , G01F23/226 , Y10T117/1008

3. 发明专利

TW201326478A 用於監控晶體生長狀態的方法及探測系統與可以監控晶體生長狀態的設備审中-公开
简体标题：用于监控晶体生长状态的方法及探测系统与可以监控晶体生长状态的设备
公开(公告)号：TW201326478A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW100146828
申请日：2011-12-16
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：謝佳穎 , HSIEH, CHIA YING , 張祁豪 , CHANG, CHI HAO , 扈醒華 , HU, HSIN HWA
IPC分类号： C30B35/00
CPC分类号： C30B11/003 , C30B11/006 , C30B28/06 , C30B29/06 , G01F23/226 , Y10T117/1008
摘要：一種用於監控晶體生長狀態的方法，係在晶體生長過程中即時測量固-液界面的多個量測點的高度以計算出固-液界面的形狀，並依據所得資訊優化製程參數，使固-液界面在晶體生長過程保持中央凸起的形狀並具有預定的曲率，可以提高長晶品質及排雜能力從而提高晶碇的成品良率。
简体摘要：一种用于监控晶体生长状态的方法，系在晶体生长过程中实时测量固-液界面的多个量测点的高度以计算出固-液界面的形状，并依据所得信息优化制程参数，使固-液界面在晶体生长过程保持中央凸起的形状并具有预定的曲率，可以提高长晶品质及排杂能力从而提高晶碇的成品良率。

4. 实用新型

TWM427753U 具整流器的烘烤設備有权
简体标题：具整流器的烘烤设备
公开(公告)号：TWM427753U
公开(公告)日：2012-04-21
申请号：TW100223839
申请日：2011-12-16
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：謝佳穎 , 黃朝瑜
IPC分类号： H05K
摘要：一種具整流器的烘烤設備包含一箱體、一進風管、一整流器及一抽風器。箱體包括一加熱基板、一側壁單元、一上蓋及一箱體空間。整流器位於箱體空間內的鄰近上蓋處，並包括一整流箱、一噴嘴及一出風口。整流箱供進風管容置其中，且在垂直一第一方向的截面積為A1。噴嘴自整流箱朝第一方向延伸並與整流箱相連通，且噴嘴在垂直第一方向的截面積為A2，A2小於A1。出風口位於噴嘴遠離整流箱的一端並與箱體空間相連通。抽風器位於箱體空間內的鄰近上蓋處，且與整流器在第一方向上相間隔設置，並在供電後將箱體空間內的氣體排出箱體空間外。
简体摘要：一种具整流器的烘烤设备包含一箱体、一进风管、一整流器及一抽风器。箱体包括一加热基板、一侧壁单元、一上盖及一箱体空间。整流器位于箱体空间内的邻近上盖处，并包括一整流箱、一喷嘴及一出风口。整流箱供进风管容置其中，且在垂直一第一方向的截面积为A1。喷嘴自整流箱朝第一方向延伸并与整流箱相连通，且喷嘴在垂直第一方向的截面积为A2，A2小于A1。出风口位于喷嘴远离整流箱的一端并与箱体空间相连通。抽风器位于箱体空间内的邻近上盖处，且与整流器在第一方向上相间隔设置，并在供电后将箱体空间内的气体排出箱体空间外。

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