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    • 4. 发明专利
    • 四烷基銨鹽水溶液的製造方法 METHOD FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM SALT SOLUTION
    • 四烷基铵盐水溶液的制造方法 METHOD FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM SALT SOLUTION
    • TW201208766A
    • 2012-03-01
    • TW100127414
    • 2011-08-02
    • 德山股份有限公司
    • 梅津直幸山下喜文平浩昭
    • B01JC02FG03FC07C
    • 〔課題〕提供一種四烷基銨(TAA)鹽水溶液的製造方法,其向填充有陽離子交換樹脂的填充塔中通入含有氫氧化TAA的顯影廢液,使TAA離子吸附於該樹脂,接著使樹脂與酸接觸,使被樹脂吸附的TAA離子脫離,獲得高濃度的TAA鹽水溶液,此時,可有效地製造高濃度的TAA鹽水溶液而不會使該顯影廢液中的TAA離子洩漏。〔解決手段〕形成由多個填充塔構成的填充塔生產線,使該填充塔生產線的塔數n為規定數量以上,即使使TAA離子吸附於最上流的填充塔生產線直至達到目標吸附率,TAA離子也不會從最下游的填充塔生產線洩漏。
    • 〔课题〕提供一种四烷基铵(TAA)盐水溶液的制造方法,其向填充有阳离子交换树脂的填充塔中通入含有氢氧化TAA的显影废液,使TAA离子吸附于该树脂,接着使树脂与酸接触,使被树脂吸附的TAA离子脱离,获得高浓度的TAA盐水溶液,此时,可有效地制造高浓度的TAA盐水溶液而不会使该显影废液中的TAA离子泄漏。〔解决手段〕形成由多个填充塔构成的填充塔生产线,使该填充塔生产线的塔数n为规定数量以上,即使使TAA离子吸附于最上流的填充塔生产线直至达到目标吸附率,TAA离子也不会从最下游的填充塔生产线泄漏。
    • 9. 发明专利
    • 四烷基銨鹽水溶液之製造方法
    • 四烷基铵盐水溶液之制造方法
    • TW201509822A
    • 2015-03-16
    • TW103126019
    • 2014-07-30
    • 德山股份有限公司TOKUYAMA CORPORATION
    • 渡邉淳WATANABE, JUN梅津直幸UMEZU, NAOYUKI山下喜文YAMASHITA, YOSHIFUMI
    • C02F1/42B01J47/14
    • B01J39/04B01J47/02B01J49/06B01J49/60
    • 四烷基銨鹽水溶液之製造方法,其係由光阻顯影廢液製造四烷基銨鹽水溶液之方法,其含有:藉由使含有四烷基銨氫氧化物之光阻顯影廢液通液於填充有氫離子型之陽離子交換樹脂的填充塔,使四烷基銨離子吸附於陽離子交換樹脂之吸附步驟;與將於吸附步驟中所吸附之四烷基銨離子,作為四烷基銨鹽之水溶液而溶離之溶離步驟,且於吸附步驟中,測定由填充塔所排出之排出液的物性值,並且於該物性值變化為特定閥值以上的時間點,將光阻顯影廢液之通液一時中斷,進行逆洗填充塔中之陽離子交換樹脂的逆洗步驟,之後重新進行光阻顯影廢液對填充塔之通液。
    • 四烷基铵盐水溶液之制造方法,其系由光阻显影废液制造四烷基铵盐水溶液之方法,其含有:借由使含有四烷基铵氢氧化物之光阻显影废液通液于填充有氢离子型之阳离子交换树脂的填充塔,使四烷基铵离子吸附于阳离子交换树脂之吸附步骤;与将于吸附步骤中所吸附之四烷基铵离子,作为四烷基铵盐之水溶液而溶离之溶离步骤,且于吸附步骤中,测定由填充塔所排出之排出液的物性值,并且于该物性值变化为特定阀值以上的时间点,将光阻显影废液之通液一时中断,进行逆洗填充塔中之阳离子交换树脂的逆洗步骤,之后重新进行光阻显影废液对填充塔之通液。