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简体标题：晶圆容器清洁系统 WAFER CONTAINER CLEANING SYSTEM

公开(公告)号：TWI322044B

公开(公告)日：2010-03-21

申请号：TW092130471

申请日：2003-10-31

申请人：山米托爾公司

发明人：克特杜拉查克 , 傑夫利大衛斯

IPC分类号： B08B

CPC分类号： H01L21/67769 , B08B9/0861 , B08B9/28 , H01L21/67051 , H01L21/67379 , H01L21/67775

摘要：本發明揭示一種處理平坦媒體用盒子之清潔系統及方法，該系統包含一可旋轉地安裝在一包體內之轉子，並於該包體中具有噴嘴，用於將流體噴向該轉子。該轉子具有用於夾住一盒子之至少一盒子夾具總成。至少一固位棒係位於該轉子上，用於嚙合該盒子之一前面部分，以於該轉子之旋轉期間將該盒子固位於該盒子夾具總成中。該固位棒係最好可由該固位棒將該盒子限制在該盒子夾具總成上之第一位置移動至該固位棒由該盒子移走之第二位置。另一選擇是，該盒子夾具總成可包含一基座，在該基座上設有複數溝槽元件，該等溝槽元件被設計成適於嚙合該盒子上之一凸緣，用於將該盒子固定至該盒子夾具總成。 A system and method for cleaning boxes used for handling flat media includes a rotor rotatably mounted within an enclosure, with spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor. The rotor has at least one box holder assembly for holding a box. At least one retainer bar is located on the rotor for engaging a front section of the box to retain the box in the box holder assembly during rotation of the rotor. The retainer bar is preferably moveable from a first position where the retainer bar restrains the box on the box holder assembly, to a second position where the retainer bar is moved away from the box. The box holder assembly may alternatively include a base with a plurality of grooved elements thereon that are adapted to engage a flange on the box for securing the box to the box holder assembly. 【創作特點】於本發明之第一態樣中，一用於夾住平坦媒體或晶圓之載具清潔系統包含一可旋轉地安裝在包體內之轉子。該包體中之噴嘴將流體噴向該轉子。該轉子具有用於夾住諸如FOUP或FOSBY之盒子之至少一盒子夾具總成。至少一固位棒係位在該轉子上，用於嚙合該盒子之一前面部分，以於該轉子之旋轉期間將該盒子固位於該盒子夾具總成中。於一較佳具體實施例中，該固位棒係可由該固位棒將該盒子限制在該盒子夾具總成上之第一位置移動至該固位棒由該盒子移走之第二位置。此設計提供該盒子之快速、可靠及人體工學裝載、固定及卸載。
於本發明之第二態樣中，該盒子夾具總成包含一用於支撐盒子之基座。該基座包含複數溝槽元件，該溝槽元件被設計成適於嚙合該盒子上之一凸緣，用於將該盒子固定至該盒子夾具總成。
於本發明之第三態樣中，用於處理平坦媒體之盒子清潔方法包含最好經由該盒子上之把手將一盒子載入一轉子上之盒子夾具總成。然後一固位棒係移動至與該盒子嚙合，以在轉動及噴灑該盒子之前將該盒子固定進入該盒子夾具總成。該盒子係牢靠地固定在該轉子中。
於本發明之第四態樣中，具有一可移動門件之盒子之載具清潔方法包含由該盒子分開該門件及將該盒子載入一轉子上之盒子夾具總成。然後該門件係載入一附著至該盒子夾具總成及靠著該盒子夾具總成之門件夾具總成。既然每一門件隨時緊鄰其盒子，在清潔之後大幅簡化門件及盒子之匹配。
於本發明之第五態樣中，一於盒子之清潔期間用以夾住及轉動盒子之轉子包含一頂板及一底板。盒子夾具總成之複數圓柱或衍架係附著於該頂板及該底板之間。於每一圓柱中，該盒子夾具總成具有打開之前端，該前端係定位垂直於該附近或鄰接圓柱之盒子夾具總成。這提供用於一更小巧之裝置。
於本發明之第六態樣中，一於該盒子之清潔期間用以夾住及轉動盒子之轉子包含一頂板及一底板。複數盒子夾具總成係位於該頂板及該底板之間。每一盒子夾具總成包含一底板或其他用於夾住一盒子之機制，及一用於夾住門件之門板或其他機制，使得該門板附著至該底板。當保持毗連出自該盒子之門件時，清潔每一盒子門件。
下文將顯現本發明之其他及進一步目標、特色、及優點。本發明同樣在於所述特色之子系統及副組合件。雖然在以下之詳細敘述中討論各種額外之元件，這些元件並非本發明所必要。實際上，圖1-8所示設計之基本元件係該轉子、噴嘴或其他流體注施器、在該轉子上之至少一盒子夾具總成、及在該轉子上用於嚙合一盒子之至少一固位棒。

简体摘要：本发明揭示一种处理平坦媒体用盒子之清洁系统及方法，该系统包含一可旋转地安装在一包体内之转子，并于该包体中具有喷嘴，用于将流体喷向该转子。该转子具有用于夹住一盒子之至少一盒子夹具总成。至少一固位棒系位于该转子上，用于啮合该盒子之一前面部分，以于该转子之旋转期间将该盒子固位于该盒子夹具总成中。该固位棒系最好可由该固位棒将该盒子限制在该盒子夹具总成上之第一位置移动至该固位棒由该盒子移走之第二位置。另一选择是，该盒子夹具总成可包含一基座，在该基座上设有复数沟槽组件，该等沟槽组件被设计成适于啮合该盒子上之一凸缘，用于将该盒子固定至该盒子夹具总成。 A system and method for cleaning boxes used for handling flat media includes a rotor rotatably mounted within an enclosure, with spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor. The rotor has at least one box holder assembly for holding a box. At least one retainer bar is located on the rotor for engaging a front section of the box to retain the box in the box holder assembly during rotation of the rotor. The retainer bar is preferably moveable from a first position where the retainer bar restrains the box on the box holder assembly, to a second position where the retainer bar is moved away from the box. The box holder assembly may alternatively include a base with a plurality of grooved elements thereon that are adapted to engage a flange on the box for securing the box to the box holder assembly. 【创作特点】于本发明之第一态样中，一用于夹住平坦媒体或晶圆之载具清洁系统包含一可旋转地安装在包体内之转子。该包体中之喷嘴将流体喷向该转子。该转子具有用于夹住诸如FOUP或FOSBY之盒子之至少一盒子夹具总成。至少一固位棒系位在该转子上，用于啮合该盒子之一前面部分，以于该转子之旋转期间将该盒子固位于该盒子夹具总成中。于一较佳具体实施例中，该固位棒系可由该固位棒将该盒子限制在该盒子夹具总成上之第一位置移动至该固位棒由该盒子移走之第二位置。此设计提供该盒子之快速、可靠及人体工学装载、固定及卸载。于本发明之第二态样中，该盒子夹具总成包含一用于支撑盒子之基座。该基座包含复数沟槽组件，该沟槽组件被设计成适于啮合该盒子上之一凸缘，用于将该盒子固定至该盒子夹具总成。于本发明之第三态样中，用于处理平坦媒体之盒子清洁方法包含最好经由该盒子上之把手将一盒子加载一转子上之盒子夹具总成。然后一固位棒系移动至与该盒子啮合，以在转动及喷洒该盒子之前将该盒子固定进入该盒子夹具总成。该盒子系牢靠地固定在该转子中。于本发明之第四态样中，具有一可移动门件之盒子之载具清洁方法包含由该盒子分开该门件及将该盒子加载一转子上之盒子夹具总成。然后该门件系加载一附着至该盒子夹具总成及靠着该盒子夹具总成之门件夹具总成。既然每一门件随时紧邻其盒子，在清洁之后大幅简化门件及盒子之匹配。于本发明之第五态样中，一于盒子之清洁期间用以夹住及转动盒子之转子包含一顶板及一底板。盒子夹具总成之复数圆柱或衍架系附着于该顶板及该底板之间。于每一圆柱中，该盒子夹具总成具有打开之前端，该前端系定位垂直于该附近或邻接圆柱之盒子夹具总成。这提供用于一更小巧之设备。于本发明之第六态样中，一于该盒子之清洁期间用以夹住及转动盒子之转子包含一顶板及一底板。复数盒子夹具总成系位于该顶板及该底板之间。每一盒子夹具总成包含一底板或其他用于夹住一盒子之机制，及一用于夹住门件之门板或其他机制，使得该门板附着至该底板。当保持毗连出自该盒子之门件时，清洁每一盒子门件。下文将显现本发明之其他及进一步目标、特色、及优点。本发明同样在于所述特色之子系统及副组合件。虽然在以下之详细叙述中讨论各种额外之组件，这些组件并非本发明所必要。实际上，图1-8所示设计之基本组件系该转子、喷嘴或其他流体注施器、在该转子上之至少一盒子夹具总成、及在该转子上用于啮合一盒子之至少一固位棒。

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