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2. 发明专利

TW200914818A 檢查裝置及檢查方法审中-公开
简体标题：检查设备及检查方法
公开(公告)号：TW200914818A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097127124
申请日：2008-07-17
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人：柴田浩匡 SHIBATA, HIROMASA , 口直史 SAKAGUCHI, NAOSHI
IPC分类号： G01N , H01L
CPC分类号： G01B11/306 , G01N21/9503 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/681
摘要：本發明,可供自動調整晶圓與攝影部的位置。Z載台11可變更上部水平面的高度。��載台12,係使被晶圓保持具13所吸附保持之晶圓31以既定之旋轉速度而旋轉。Apex攝影部14、上位攝影部15、及下位攝影部16,係拍攝晶圓31之端部,以取得在圖中��所示之端部側面的觀察用影像。線性CCD17,係由在縱向並排且寬度較晶圓31厚度要大得多之至少一列的CCD所構成,為了要檢測晶圓之位置或狀態,係拍攝晶圓31之側面,將攝影資料供應至後述的控制器。當在晶圓31有發生撓曲或歪斜之情形時,在攝影位置之晶圓31的位置會發生變動。檢查裝置1係根據線性CCD17之攝影資料,調整晶圓31與Apex攝影部14的相對位置。
简体摘要：本发明,可供自动调整晶圆与摄影部的位置。Z载台11可变更上部水平面的高度。��载台12,系使被晶圆保持具13所吸附保持之晶圆31以既定之旋转速度而旋转。Apex摄影部14、上位摄影部15、及下位摄影部16,系拍摄晶圆31之端部,以取得在图中��所示之端部侧面的观察用影像。线性CCD17,系由在纵向并排且宽度较晶圆31厚度要大得多之至少一列的CCD所构成,为了要检测晶圆之位置或状态,系拍摄晶圆31之侧面,将摄影数据供应至后述的控制器。当在晶圆31有发生挠曲或歪斜之情形时,在摄影位置之晶圆31的位置会发生变动。检查设备1系根据线性CCD17之摄影数据,调整晶圆31与Apex摄影部14的相对位置。

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