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1. 发明专利

TWI641937B 壓力控制裝置及壓力控制系統有权
简体标题：压力控制设备及压力控制系统
公开(公告)号：TWI641937B
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：TW106110866
申请日：2017-03-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：野澤崇浩 , NOZAWA, TAKAHIRO , 金井良友 , KANAI, YOSHITOMO , 中村剛 , NAKAMURA, TAKESHI
IPC分类号： G05D16/02

2. 发明专利

TWI575347B 壓力控制裝置有权
简体标题：压力控制设备
公开(公告)号：TWI575347B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW105100392
申请日：2016-01-07
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：野澤崇浩 , NOZAWA, TAKAHIRO , 中村剛 , NAKAMURA, TAKESHI
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： G05D16/20 , G05B11/011 , G05B11/36 , G05D16/2013

3. 发明专利

TW201642064A 壓力控制裝置审中-公开
简体标题：压力控制设备
公开(公告)号：TW201642064A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105100392
申请日：2016-01-07
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：野澤崇浩 , NOZAWA, TAKAHIRO , 中村剛 , NAKAMURA, TAKESHI
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： G05D16/20 , G05B11/011 , G05B11/36 , G05D16/2013
摘要： [課題]可以提供一種壓力控制裝置，係即便是在相對於氣體的控制流量，腔室的容積為大的情況，或者是流量控制閥與腔室之間的配管為長的情況下，也可以把腔室內的壓力保持在一定。[解決手段]一種壓力控制裝置1，係把腔室3內的壓力保持在設定壓力，具備：頻率特性補正電路20，係把表示經由壓力感測器4所檢測出的腔室3內的壓力之壓力訊號，補正成靠近表示設定壓力之設定壓力訊號；比較電路21，係比較補正過的前述壓力訊號、與前述設定壓力訊號；以及，閥驅動電路22，係根據由比較手段21所致之比較結果，控制流量控制閥14的開關。頻率特性補正電路20乃是濾波電路，其頻率特性，係在指定的頻率具有波峰，把壓力訊號補正成拉抬壓力訊號的指定的頻率的成分。
简体摘要： [课题]可以提供一种压力控制设备，系即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管为长的情况下，也可以把腔室内的压力保持在一定。[解决手段]一种压力控制设备1，系把腔室3内的压力保持在设置压力，具备：频率特性补正电路20，系把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，补正成靠近表示设置压力之设置压力信号；比较电路21，系比较补正过的前述压力信号、与前述设置压力信号；以及，阀驱动电路22，系根据由比较手段21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开关。频率特性补正电路20乃是滤波电路，其频率特性，系在指定的频率具有波峰，把压力信号补正成拉抬压力信号的指定的频率的成分。

4. 发明专利

TW201741793A 壓力控制裝置及壓力控制系統审中-公开
简体标题：压力控制设备及压力控制系统
公开(公告)号：TW201741793A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW106110866
申请日：2017-03-30
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：野澤崇浩 , NOZAWA, TAKAHIRO , 金井良友 , KANAI, YOSHITOMO , 中村剛 , NAKAMURA, TAKESHI
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： G05D7/06 , G05D16/20
摘要：提供一種壓力控制裝置及壓力控制系統，即便是在相對於氣體的控制流量，腔室的容積為大的情況下，或是在流量控制閥與腔室之間的配管較長的情況下，仍能夠將腔室內的壓力提早保持於一定。壓力控制裝置(1)，係具備：CPU(18)，其是在為了使腔室(3)內部成為負壓而往腔室(3)內部供給氣體的情況下，從設定壓力信號中以既定的比率減去流量信號；比較電路(21)，其是比較檢測壓力信號和所減去後的設定壓力信號，該檢測壓力信號係表示藉由壓力感測器(4)所檢測出的腔室(3)內部的壓力；以及閥驅動電路(22)，其是基於藉由比較電路(21)所得的比較結果來控制流量控制閥(14)。
简体摘要：提供一种压力控制设备及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，仍能够将腔室内的压力提早保持于一定。压力控制设备(1)，系具备：CPU(18)，其是在为了使腔室(3)内部成为负压而往腔室(3)内部供给气体的情况下，从设置压力信号中以既定的比率减去流量信号；比较电路(21)，其是比较检测压力信号和所减去后的设置压力信号，该检测压力信号系表示借由压力传感器(4)所检测出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其是基于借由比较电路(21)所得的比较结果来控制流量控制阀(14)。

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