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    • 2. 发明专利
    • 薄膜高分子層積薄膜電容器的製造方法及薄膜高分子層積薄膜電容器
    • 薄膜高分子层积薄膜电容器的制造方法及薄膜高分子层积薄膜电容器
    • TW201531593A
    • 2015-08-16
    • TW104103883
    • 2015-02-05
    • 如碧空股份有限公司RUBYCON CORPORATION
    • 富本茂也TOMIMOTO, SHIGEYA加古智直KAKO, TOMONAO
    • C23C28/00C23C14/12C23C14/24C23C14/58C23C14/14C08J3/24C08F20/18B32B15/082B32B27/16B32B27/30H01G4/30H01G4/33
    • H01G4/306C09D135/02H01G4/145H01G4/18H01G13/00
    • 一種薄膜高分子層積電容器的製造方法,包含層積體製造工序,該層積體製造工序是在真空室內,通過在轉鼓上交替地重複進行對單體進行蒸鍍形成單體層後向該單體層照射電子束使得所述單體層硬化從而形成樹脂薄膜層的樹脂薄膜層形成工序、以及對金屬材料進行蒸鍍從而形成金屬薄膜層的金屬薄膜層形成工序,從而在轉鼓上製造由樹脂薄膜層與金屬薄膜層交替層積而成的層積體。在樹脂薄膜層形成工序中,使用具有以如下化學式(1)表示的脂環烴結構的二甲基丙烯酸化合物作為單體從而形成單體層。 【式1】 而在化學式(1)中,符號A表示含有脂環烴的有機基團。 根據本發明,能夠將所得到的樹脂薄膜層的硬化度充分地提高,因此,能夠製造具有所需性能的薄膜高分子層積電容器。
    • 一种薄膜高分子层积电容器的制造方法,包含层积体制造工序,该层积体制造工序是在真空室内,通过在转鼓上交替地重复进行对单体进行蒸镀形成单体层后向该单体层照射电子束使得所述单体层硬化从而形成树脂薄膜层的树脂薄膜层形成工序、以及对金属材料进行蒸镀从而形成金属薄膜层的金属薄膜层形成工序,从而在转鼓上制造由树脂薄膜层与金属薄膜层交替层积而成的层积体。在树脂薄膜层形成工序中,使用具有以如下化学式(1)表示的脂环烃结构的二甲基丙烯酸化合物作为单体从而形成单体层。 【式1】 而在化学式(1)中,符号A表示含有脂环烃的有机基团。 根据本发明,能够将所得到的树脂薄膜层的硬化度充分地提高,因此,能够制造具有所需性能的薄膜高分子层积电容器。