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1. 发明专利

TW201820393A 標準單元佈局、具有工程變更命令（ECO）單元的半導體裝置及方法审中-公开
简体标题：标准单元布局、具有工程变更命令（ECO）单元的半导体设备及方法
公开(公告)号：TW201820393A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106134059
申请日：2017-10-02
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：田麗鈞 , TIEN, LI-CHUN , 江庭瑋 , CHIANG, TING-WEI , 陳順利 , CHEN, SHUN-LI , 陳庭榆 , CHEN, TING-YU , 王新泳 , WANG, XIN-YONG
IPC分类号： H01L21/02 , G06F17/50
摘要：一種產生工程變更命令（ECO）基礎單元的工程變更命令佈局的方法包括：產生第一主動區域圖案及第二主動區域圖案並將其排列於第一對稱軸線的相對兩側上；產生不交疊的第一導電圖案、第二導電圖案以及第三導電圖案，並將其中的每一者排列成對應地交疊於第一主動區域圖案及第二主動區域圖案；將第一導電圖案定位於第二導電圖案與第三導電圖案之間；產生第一切割圖案，所述第一切割圖案交疊所述第二導電圖案及所述第三導電圖案之對應的中心區；將第一切割圖案相對於第一對稱軸線對齊；產生第四導電圖案；將第四導電圖案定位於由第一切割圖案限界的區域之上；以及擴張第四導電圖案以佔據由第一導電圖案的第一區段以及第二導電圖案及第三導電圖案中的一者的第一區段實質上交疊的區域，藉此得到所述工程變更命令佈局。
简体摘要：一种产生工程变更命令（ECO）基础单元的工程变更命令布局的方法包括：产生第一主动区域图案及第二主动区域图案并将其排列于第一对称轴线的相对两侧上；产生不交叠的第一导电图案、第二导电图案以及第三导电图案，并将其中的每一者排列成对应地交叠于第一主动区域图案及第二主动区域图案；将第一导电图案定位于第二导电图案与第三导电图案之间；产生第一切割图案，所述第一切割图案交叠所述第二导电图案及所述第三导电图案之对应的中心区；将第一切割图案相对于第一对称轴线对齐；产生第四导电图案；将第四导电图案定位于由第一切割图案限界的区域之上；以及扩张第四导电图案以占据由第一导电图案的第一区段以及第二导电图案及第三导电图案中的一者的第一区段实质上交叠的区域，借此得到所述工程变更命令布局。

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