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    • 7. 发明专利
    • 捲取成模裝置
    • 卷取成模设备
    • TW201408815A
    • 2014-03-01
    • TW102118338
    • 2013-05-24
    • 凸版印刷股份有限公司TOPPAN PRINTING CO., LTD.
    • 佐佐木康裕SASAKI, YASUHIRO加納滿KANO, MITSURU
    • C23C16/54
    • B05B13/0221B65H20/02B65H2301/51145C23C14/562C23C16/45551C23C16/545
    • 本發明之捲取成膜裝置,係具備:第一真空氣室,第一前驅物係導入其中;第二真空氣室,第二前驅物係導入其中;第三真空氣室,用以沖洗前述第一前驅物及前述第二前驅物的沖淨氣體係導入其中;及移送滾筒部,具有一對滾筒對,用以將可捲取之基材移送到前述第一真空氣室、前述第二真空氣室、及前述第三真空氣室,並在前述基材之厚度方向挾持前述基材,且該滾筒對具有第1滾筒及第2滾筒,前述第1滾筒及前述第2滾筒中,至少一方的外周面形成有凹凸形狀,而藉由使用前述移送滾筒部來使前述基材往返於前述第一真空氣室及前述第二真空氣室,使原子層沉積於前述基材的表面以形成原子層沉積膜。
    • 本发明之卷取成膜设备,系具备:第一真空气室,第一前驱物系导入其中;第二真空气室,第二前驱物系导入其中;第三真空气室,用以冲洗前述第一前驱物及前述第二前驱物的冲净气体系导入其中;及移送滚筒部,具有一对滚筒对,用以将可卷取之基材移送到前述第一真空气室、前述第二真空气室、及前述第三真空气室,并在前述基材之厚度方向挟持前述基材,且该滚筒对具有第1滚筒及第2滚筒,前述第1滚筒及前述第2滚筒中,至少一方的外周面形成有凹凸形状,而借由使用前述移送滚筒部来使前述基材往返于前述第一真空气室及前述第二真空气室,使原子层沉积于前述基材的表面以形成原子层沉积膜。