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1. 发明专利

TW201303953A 帶電粒子束繪圖設備及物品製造方法审中-公开
简体标题：带电粒子束绘图设备及物品制造方法
公开(公告)号：TW201303953A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101123886
申请日：2012-07-03
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：石川智規 , ISHIKAWA, TOMONORI , 是永伸茂 , KORENAGA, NOBUSHIGE
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/09
CPC分类号： H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/3177 , H01J2237/0264 , H01J2237/20221
摘要：本發明之繪圖設備包含：光學系統殼體，係配置成朝基板發射帶電粒子束；載台，係配置來保持基板並至少沿垂直於光學系統殼體之軸線的方向移動；偵測裝置，係包含偵測器及支撐件，該支撐件用以支撐偵測器，使偵測器面對載台之側表面，並配置來測量載台之位置；以及磁屏蔽構件，係設置至載台，並配置來屏蔽面對載台頂部表面之光學系統殼體之開口，以免磁場干擾。在此，該磁屏蔽構件沿軸線方向設置於載台之偵測區域，該區域異於偵測裝置設置區域。
简体摘要：本发明之绘图设备包含：光学系统壳体，系配置成朝基板发射带电粒子束；载台，系配置来保持基板并至少沿垂直于光学系统壳体之轴线的方向移动；侦测设备，系包含侦测器及支撑件，该支撑件用以支撑侦测器，使侦测器面对载台之侧表面，并配置来测量载台之位置；以及磁屏蔽构件，系设置至载台，并配置来屏蔽面对载台顶部表面之光学系统壳体之开口，以免磁场干扰。在此，该磁屏蔽构件沿轴线方向设置于载台之侦测区域，该区域异于侦测设备设置区域。

2. 发明专利

TWI638246B 定位裝置、微影裝置、和製造物品的方法有权
简体标题：定位设备、微影设备、和制造物品的方法
公开(公告)号：TWI638246B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW106113971
申请日：2017-04-26
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：鈴木健太郎 , SUZUKI, KENTARO , 是永伸茂 , KORENAGA, NOBUSHIGE , 岩谷聡 , IWATANI, SATOSHI
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/027

3. 发明专利

TW201805737A 定位裝置、微影裝置、和製造物品的方法审中-公开
简体标题：定位设备、微影设备、和制造物品的方法
公开(公告)号：TW201805737A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：TW106113971
申请日：2017-04-26
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：鈴木健太郎 , SUZUKI, KENTARO , 是永伸茂 , KORENAGA, NOBUSHIGE , 岩谷聡 , IWATANI, SATOSHI
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/0002 , G03F7/707 , G03F7/70716 , G03F7/70758
摘要：本發明提供一種定位裝置、微影裝置及製造物品的方法。用於將可移動部在與第一方向和第二方向平行的面上移動的裝置包括：單個導件，其用於約束可移動部在第二方向上的位置；以及驅動可移動部的驅動機構。可移動部包括：第一可移動構件，其能夠在被導件導引的同時沿第一方向移動；第二可移動構件，其具有第一端及第二端，第一端經由旋轉軸承而連接到第一可移動構件並且在所述面的上方移動，以及第三可移動構件，其能夠在被第二可移動構件導引的同時在第一端與第二端之間的範圍內移動。所述驅動機構包括：第一驅動器，其用於沿第一方向驅動第二可移動構件的第一端，以及第二驅動器，其用於沿第一方向驅動第二可移動構件的第二端。
简体摘要：本发明提供一种定位设备、微影设备及制造物品的方法。用于将可移动部在与第一方向和第二方向平行的面上移动的设备包括：单个导件，其用于约束可移动部在第二方向上的位置；以及驱动可移动部的驱动机构。可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被导件导引的同时沿第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，第一端经由旋转轴承而连接到第一可移动构件并且在所述面的上方移动，以及第三可移动构件，其能够在被第二可移动构件导引的同时在第一端与第二端之间的范围内移动。所述驱动机构包括：第一驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第一端，以及第二驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第二端。

4. 发明专利

TWI414419B 壓印設備和用於生產物品的方法有权
简体标题：压印设备和用于生产物品的方法
公开(公告)号：TWI414419B
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：TW099145221
申请日：2010-12-22
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：伊藤博仁 , ITO, HIROHITO , 是永伸茂 , KORENAGA, NOBUSHIGE , 宮崎真 , MIYAZAKI, MAKOTO
IPC分类号： B29C59/02
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00

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