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2. 发明专利

TW201624603A 矽片邊緣保護裝置审中-公开
简体标题：硅片边缘保护设备
公开(公告)号：TW201624603A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104144324
申请日：2015-12-29
申请人：上海微電子裝備有限公司
发明人：周旭 , ZHOU, XU , 崔海倉 , CUI, HAICANG , 倪費 , NI, FEI , 葛黎黎 , GE, LILI
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70725 , G03F7/20 , G03F7/70733 , G03F7/70758 , G03F7/70766 , G03F7/709
摘要：本發明公開了一種矽片邊緣保護裝置，包括水平運動組件、垂直運動組件、調速裝置、柔性防撞組件以及控制裝置。調速裝置與垂直運動組件訊號連接，用於調節垂直運動組件的運動速度；柔性防撞組件連接水平運動組件和垂直運動組件，以用於減小碰撞時矽片邊緣保護裝置的振動幅度；控制裝置與調速裝置訊號連接，以用於發出控制訊號至所述調速裝置，以控制所述垂直運動組件的運動。本發明提供的矽片邊緣保護裝置可以避免瞬間強烈衝擊工件台，避免壓碎矽片；當發生碰撞時，可以保護工件台和矽片，並且提高了生產效率。
简体摘要：本发明公开了一种硅片边缘保护设备，包括水平运动组件、垂直运动组件、调速设备、柔性防撞组件以及控制设备。调速设备与垂直运动组件信号连接，用于调节垂直运动组件的运动速度；柔性防撞组件连接水平运动组件和垂直运动组件，以用于减小碰撞时硅片边缘保护设备的振动幅度；控制设备与调速设备信号连接，以用于发出控制信号至所述调速设备，以控制所述垂直运动组件的运动。本发明提供的硅片边缘保护设备可以避免瞬间强烈冲击工件台，避免压碎硅片；当发生碰撞时，可以保护工件台和硅片，并且提高了生产效率。

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