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1. 发明专利

TWI248984B 靜電夾盤支持機構及支持台裝置及電漿處理裝置失效
简体标题：静电夹盘支持机构及支持台设备及等离子处理设备
公开(公告)号：TWI248984B
公开(公告)日：2006-02-11
申请号：TW092119683
申请日：2003-07-18
申请人：三菱重工業股份有限公司 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：柳田尚志
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/4586 , H01L21/6831
摘要：本發明的課題：作成可容易地進行靜電夾盤板32的安裝及拆卸的靜電夾盤支持機構。
本發明的解決手段：將靜電夾盤板32以推壓固定具固定在支持台31，使得銅管34下端部的插座45抗拒依壓縮彈簧構件53的彈起固定具51的推上力而嵌合在嵌合插座47，藉由解放來自支持台31的靜電夾盤板32的固定而依壓縮彈簧構件53的彈起固定具51的推上力來推上鋼管34的插頭45，與靜電夾盤板32一起朝上方側移動鋼管34，作成可容易地進行靜電夾盤板32的安裝及拆卸的靜電夾盤支持機構。
简体摘要：本发明的课题：作成可容易地进行静电夹盘板32的安装及拆卸的静电夹盘支持机构。本发明的解决手段：将静电夹盘板32以推压固定具固定在支持台31，使得铜管34下端部的插座45抗拒依压缩弹簧构件53的弹起固定具51的推上力而嵌合在嵌合插座47，借由解放来自支持台31的静电夹盘板32的固定而依压缩弹簧构件53的弹起固定具51的推上力来推上钢管34的插头45，与静电夹盘板32一起朝上方侧移动钢管34，作成可容易地进行静电夹盘板32的安装及拆卸的静电夹盘支持机构。

2. 发明专利

TW200403355A 靜電夾盤支持機構及支持台裝置及電漿處理裝置失效
简体标题：静电夹盘支持机构及支持台设备及等离子处理设备
公开(公告)号：TW200403355A
公开(公告)日：2004-03-01
申请号：TW092119683
申请日：2003-07-18
申请人：三菱重工業股份有限公司 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：柳田尚志
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/4586 , H01L21/6831
摘要：本發明的課題：作成可容易地進行靜電夾盤板32的安裝及拆卸的靜電夾盤支持機構。本發明的解決手段：將靜電夾盤板32以推壓固定具固定在支持台31，使得銅管34下端部的插座45抗拒依壓縮彈簧構件53的彈起固定具51的推上力而嵌合在嵌合插座47，藉由解放來自支持台31的靜電夾盤板32的固定而依壓縮彈簧構件53的彈起固定具51的推上力來推上鋼管34的插頭45，與靜電夾盤板32一起朝上方側移動鋼管34，作成可容易地進行靜電夾盤板32的安裝及拆卸的靜電夾盤支持機構。
简体摘要：本发明的课题：作成可容易地进行静电夹盘板32的安装及拆卸的静电夹盘支持机构。本发明的解决手段：将静电夹盘板32以推压固定具固定在支持台31，使得铜管34下端部的插座45抗拒依压缩弹簧构件53的弹起固定具51的推上力而嵌合在嵌合插座47，借由解放来自支持台31的静电夹盘板32的固定而依压缩弹簧构件53的弹起固定具51的推上力来推上钢管34的插头45，与静电夹盘板32一起朝上方侧移动钢管34，作成可容易地进行静电夹盘板32的安装及拆卸的静电夹盘支持机构。

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