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    • 2. 发明专利
    • 低雜訊半導體光感測器 LOW-NOISE SEMICONDUCTOR PHOTODETECTORS
    • 低噪声半导体光传感器 LOW-NOISE SEMICONDUCTOR PHOTODETECTORS
    • TW200717785A
    • 2007-05-01
    • TW095131023
    • 2006-08-23
    • 諾伯裝置科技公司 NOBLE DEVICE TECHNOLOGIES CORP.
    • 科諾S 雷弗堤 RAFFERTY, CONOR S.克里弗德 亞倫 金 KING, CLIFFORD ALAN
    • H01L
    • H01L31/0352H01L27/14649H01L31/03529H01L31/101H01L2924/0002Y02E10/50H01L2924/00
    • 本發明揭示一種光感測器,其係由一實質上為介電表面所包圍之半導體材料主體所形成。對至少一表面實施一鈍化處理,以減少於該表面上載子產生與復合的速率。光電流係從至少一電性接點讀出,該電性接點係形成於一摻雜區域上,其之表面全部位於一鈍化表面上。來自未經鈍化表面之不需要的洩漏電流係透過以下方法的其中一者而減輕。(a)該未經鈍化表面係以至少二接面而與該光收集接點分離;(b)使該未經鈍化表面經摻雜而達一極高之位準,其至少與該半導體狀態之導電帶或價能帶密度相等;以及(c)藉由施加一電場而於該未經鈍化表面上形成一累積或反轉層。對所有摻雜區域製造電性接點,並施加偏壓,使得一反向偏壓在全部接面上得以維持。
    • 本发明揭示一种光传感器,其系由一实质上为介电表面所包围之半导体材料主体所形成。对至少一表面实施一钝化处理,以减少于该表面上载子产生与复合的速率。光电流系从至少一电性接点读出,该电性接点系形成于一掺杂区域上,其之表面全部位于一钝化表面上。来自未经钝化表面之不需要的泄漏电流系透过以下方法的其中一者而减轻。(a)该未经钝化表面系以至少二接面而与该光收集接点分离;(b)使该未经钝化表面经掺杂而达一极高之位准,其至少与该半导体状态之导电带或价能带密度相等;以及(c)借由施加一电场而于该未经钝化表面上形成一累积或反转层。对所有掺杂区域制造电性接点,并施加偏压,使得一反向偏压在全部接面上得以维持。