专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI588635B 機台調機即時顯示裝置有权
简体标题：机台调机实时显示设备
公开(公告)号：TWI588635B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW103131926
申请日：2014-09-16
申请人：朱辛宏
发明人：朱辛宏
IPC分类号： G05B23/00 , G05B19/418 , H01L21/66
CPC分类号： Y02P90/02

2. 实用新型

TWM537307U 半導體製程快速升溫設備調機即時監控裝置之應用系統有权
简体标题：半导体制程快速升温设备调机实时监控设备之应用系统
公开(公告)号：TWM537307U
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：TW105210566
申请日：2016-07-14
申请人：朱辛宏
发明人：朱辛宏
IPC分类号： H01L21/67 , G05B19/18

3. 发明专利

TW201613003A 機差統計製程管制品質監測方法及其裝置审中-公开
简体标题：机差统计制程管制品质监测方法及其设备
公开(公告)号：TW201613003A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW103132178
申请日：2014-09-17
申请人：朱辛宏 , CHU, HSIN HUNG
发明人：朱辛宏 , CHU, HSIN HUNG
IPC分类号： H01L21/66 , G06Q50/04
CPC分类号： Y02P90/30
摘要：本發明機差統計製程管制品質監測方法，其係包括：一機差統計模組，其係以機差為基準之統計模組；以及一判斷模組，其係以基差為基準之一定倍數之變異係數之區間作為判斷區域，於該區域內為可接受之機差狀態，超過這個判斷區域則為不可接受之機差狀態；藉此，可以執行以機差為基準的統計製程管制品質監測，而能訊速過濾變異大的機台，或加以改進變異大的機台，以達到提昇產品品質的目的。
简体摘要：本发明机差统计制程管制品质监测方法，其系包括：一机差统计模块，其系以机差为基准之统计模块；以及一判断模块，其系以基差为基准之一定倍数之变异系数之区间作为判断区域，于该区域内为可接受之机差状态，超过这个判断区域则为不可接受之机差状态；借此，可以运行以机差为基准的统计制程管制品质监测，而能讯速过滤变异大的机台，或加以改进变异大的机台，以达到提升产品品质的目的。

4. 实用新型

TWM495616U 機台測機複合式顯示與監控裝置有权
简体标题：机台测机复合式显示与监控设备
公开(公告)号：TWM495616U
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：TW103218481
申请日：2014-10-17
申请人：朱辛宏
发明人：朱辛宏
IPC分类号： H01L21/66

5. 发明专利

TW201624581A 半導體或機械機台生產計數監控方法审中-公开
简体标题：半导体或机械机台生产计数监控方法
公开(公告)号：TW201624581A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW103144138
申请日：2014-12-17
申请人：朱辛宏 , CHU, HSIN HUNG
发明人：朱辛宏 , CHU, HSIN HUNG
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66
摘要：本發明揭露了一種半導體或機械機台生產計數監控方法。於一半導體機台中由多個製程工具分階段完成以處理多個半導體製程。每一個晶圓夾具將每一批載入的複數個晶圓依序於一或數個槽體內處理完成。控制單元對每一個晶圓夾具以及槽體進行晶圓處理數量的監控，將所處理的晶圓計數並累積於一計數器中。當其中任何一個製程工具的計數器累積的值達到一預設值時，即發出提示訊號或燈號，並對該製程工具進行更換或保養的工作，同時重置該製程工具的計數器。此外所有製程工具所承載過的晶圓數量累計也可以累積行軍圖的方式顯示於顯示螢幕上。
简体摘要：本发明揭露了一种半导体或机械机台生产计数监控方法。于一半导体机台中由多个制程工具分阶段完成以处理多个半导体制程。每一个晶圆夹具将每一批加载的复数个晶圆依序于一或数个槽体内处理完成。控制单元对每一个晶圆夹具以及槽体进行晶圆处理数量的监控，将所处理的晶圆计数并累积于一计数器中。当其中任何一个制程工具的计数器累积的值达到一默认值时，即发出提示信号或灯号，并对该制程工具进行更换或保养的工作，同时重置该制程工具的计数器。此外所有制程工具所承载过的晶圆数量累计也可以累积行军图的方式显示于显示屏幕上。

6. 发明专利

TW201612667A 機台調機即時顯示裝置审中-公开
简体标题：机台调机实时显示设备
公开(公告)号：TW201612667A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW103131926
申请日：2014-09-16
申请人：朱辛宏
发明人：朱辛宏
IPC分类号： G05B23/00 , G05B19/418 , H01L21/66
CPC分类号： Y02P90/02
摘要：一種機台調機即時顯示裝置，包含：至少一機台主體；至少一功能元件其具有控制該機台主體內之各種物理、化學的環境及操作參數的功能；至少一調節器，該調節器連接該至少一功能元件，操作者可利用該調節器來調控該至少一功能元件的設定值及運作模式；一紀錄器與該至少一調節器連接，該紀錄器記錄所有該功能元件的操作紀錄值與相對應的時間值，以便形成操作紀錄趨勢線圖；一伺服器主機具有一邏輯單元、一顯示單元與一操作單元，該邏輯單元可以對於該紀錄器中的資料進行各種運算處理，該顯示單元可進行顯示資料之處理，而該操作單元內建該功能元件的各種操作模式，可經由該至少一調節器來控制該至少一功能元件的運作模式及參數設定。
简体摘要：一种机台调机实时显示设备，包含：至少一机台主体；至少一功能组件其具有控制该机台主体内之各种物理、化学的环境及操作参数的功能；至少一调节器，该调节器连接该至少一功能组件，操作者可利用该调节器来调控该至少一功能组件的设置值及运作模式；一纪录器与该至少一调节器连接，该纪录器记录所有该功能组件的操作纪录值与相对应的时间值，以便形成操作纪录趋势线图；一服务器主机具有一逻辑单元、一显示单元与一操作单元，该逻辑单元可以对于该纪录器中的数据进行各种运算处理，该显示单元可进行显示数据之处理，而该操作单元内置该功能组件的各种操作模式，可经由该至少一调节器来控制该至少一功能组件的运作模式及参数设置。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式