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    • 3. 发明专利
    • 滑動式反壓斷開關
    • 滑动式反压断开关
    • TW201430218A
    • 2014-08-01
    • TW103101700
    • 2014-01-17
    • 有圓亞二率累全股份有限公司YOU & I SOLUTION CO., LTD愼敬順SHIN, GYEONG-SOON
    • 徐晙榮SEO, JOON-YOUNG
    • F04B49/08F04B49/22F04B37/14
    • F16K3/316F16K3/0218F16K3/0281F16K3/188F16K51/02
    • 本發明係一種反壓斷開關,該反壓斷開關可以在半導體及LCD等的半導體製造過程或化學產品製造過程等製程中維持一定壓力的、或者在將氣體等流體的流動維持正方向的配管系統突然發生大氣流入或流體反向流動現象時迅速地關斷而能夠予以防止,更具體地說,該滑動式反壓斷開關平時由於閥的流體空間通路沒有阻礙物而像直管一樣地不妨礙流體的流動,當配管內發生反壓時所述移送體水平移動到關斷位置,在所述關斷位置,安置在所述移送體的關斷板飄升而關斷流體的流動,從而在發生粉末的製程也能順暢地運行。
    • 本发明系一种反压断开关,该反压断开关可以在半导体及LCD等的半导体制造过程或化学产品制造过程等制程中维持一定压力的、或者在将气体等流体的流动维持正方向的配管系统突然发生大气流入或流体反向流动现象时迅速地关断而能够予以防止,更具体地说,该滑动式反压断开关平时由于阀的流体空间通路没有阻碍物而像直管一样地不妨碍流体的流动,当配管内发生反压时所述移送体水平移动到关断位置,在所述关断位置,安置在所述移送体的关断板飘升而关断流体的流动,从而在发生粉末的制程也能顺畅地运行。