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    • 3. 发明专利
    • 基板檢查裝置
    • 基板检查设备
    • TW538245B
    • 2003-06-21
    • TW089126515
    • 2000-12-13
    • 太洋工業股份有限公司
    • 橋爪 茂
    • G01R
    • 本發明提供一種,檢查對象領域狹窄時,或相鄰接時,仍可將導電性之橡膠確實擠壓在各個檢查對象領域之基板檢查裝置,係將基板之配線圖型領域至少分成兩處檢查對象領域,而將檢查用工具擠壓在至少一方之檢查對象領域R1,進行該基板之電氣檢查。構成槓桿T,其支點T2及力點T3設定在該檢查對象領域R1外,作用點T1設定在上述領域內,而將上述檢查用工具8、R安裝在上述作用點T1,同時,以驅動構件7驅動上述力點T3,藉此將安裝在作用點T1之檢查用工具8、R擠壓在檢查對象領域R1。
    • 本发明提供一种,检查对象领域狭窄时,或相邻接时,仍可将导电性之橡胶确实挤压在各个检查对象领域之基板检查设备,系将基板之配线图型领域至少分成两处检查对象领域,而将检查用工具挤压在至少一方之检查对象领域R1,进行该基板之电气检查。构成杠杆T,其支点T2及力点T3设置在该检查对象领域R1外,作用点T1设置在上述领域内,而将上述检查用工具8、R安装在上述作用点T1,同时,以驱动构件7驱动上述力点T3,借此将安装在作用点T1之检查用工具8、R挤压在检查对象领域R1。